Tucano大气常压等离子清洗系统

Tucano是一种台式等离子系统，专为表面清洁，改性和活化而设计。

系统特别设计用于等离子体表面处理包括光刻胶灰化, 有机物去除, 清洗, 活化, 改性, 沉积和刻蚀, 具有功能多, 易操作性强, 全自动化无需调试, 可靠性高, 低成本等优点, 广泛应用于半导体制造, 微电子加工, 生命科学制造和前处理等。

用户友好的图形界面与高效的RF系统相结合，使Tucano成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。

应用程序示例

1.半导体制造

?光刻胶去除（剥离）及其残留物（去除浮渣）。
?有机焚烧（灰化），各向同性去除有机聚合物（如聚酰胺等）和氧化硅/氮化物。
?引线键合前的清洁或表面改性（粘合剂广告和芯片载体）
?各向同性蚀刻

2.光学和眼科

工业洗涤后的原子水平清洗和预处理，以提高防眩涂层的附着力，耐刮擦; 聚合层划伤和防雾。

3.纺织工业

清洁和表面改性，以便在天然或合成纤维上染色或印花之前获得亲水表面。（仅用于研发目的，不适用于大规模生产）

4.生物医药

表面清洁和改性适用于以下应用：

?植入装置（增加润滑性，加快骨整合）

?不同材料（如注射器针头，导管等）之间的粘接

?在典型的工业清洁循环后，从有机残留物中进行最终的超细原子级清洁

?接触式和人工晶状体。

?支架

?样品瓶

?对敏感塑料材料进行灭菌

5.精密机械

工业洗涤后在金属和陶瓷表面的原子水平进行清洁以改善可涂漆性或其他类型的涂层（例如PVD）。

6.塑料工业

用于润湿性和不可润湿性的表面清洁和改性

?粘接，焊接或涂装/印刷前的表面清洁

?喷漆，印刷前表面活化

?表面氟化，增强功能

?交联和表面聚合

工作原理

Tucano采用先进的PLC和LCD彩色触摸屏显示器实现全自动化。 使用该系统，可以直接在系统组件上操作，或让PLC根据用户可编辑的配方执行过程。通过使用质量流量控制器（MFC）将一种或多种处理气体引入处理室。 RF射频被引入腔室; 与气体分子相互作用，该信号产生等离子体。产生的等离子体提供作用于待处理的基板表面的单层的反应性离子物质。 可以通过影响等离子体状态的参数（气体流量和频率强度）来改变所得到的过程。

产品功能

台式等离子系统，简单而通用
?最多可处理十种不同的可编辑配方
?一致结果的一致性
?数据记录功能
?长期可靠性
?使用的主要品牌组件，如真空泵、仪表和质量流量控制器（MKS仪器）

?可调节的RF功率水平，范围为1W至200W