核心参数
仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 2.45GHz
功率: 100 Watts 至 750 Watts
设备尺寸: 8英寸(长)x6英寸(宽)x2英寸(高)
样品腔容积: 0
样品腔材质: 材质为铝质舱,可选配派瑞克斯玻璃舱
工作气体: 氧气,氢气,氩气,氮气以及其他混合气体
控制方式: PLC
wafer plasma: 6英寸
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