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400-860-5168转3827
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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： 1~12000RPM**，
旋转精度： ±1rpm steps；
最大加速度： 30000RPM/S
基片直径： 10-160mm直径的材料，4英寸方片
腔体直径： 8英寸 (202 毫米)；
400-860-5168转3827
一、产品概述：
SPIN150i型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动，可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性，这正是SPIN150i型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理：
匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标：
1、腔体直径：8英寸 (202 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-160mm直径的材料，4英寸方片；
3、转速范围: 1~12000RPM**，±1rpm steps；
4、最大加速度：30000RPM/S；
5、转速精度: ±0.1rpm；
6、程序段数：无限制；
7、操作步数：无限制；
8、旋转时间：无限制*，±0.1 Second steps；
9、旋转方向：顺时针，逆时针，交换摆动；
10、扩展接口：1个USB接口；
11、马达保护：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm（可关闭）；
12、排废连接：1” M-NPT；
13、触屏控制：全彩触摸屏控制界面；
| 产品相关关键字： 匀胶机 旋涂仪 镀膜机 匀胶台 甩胶机 |
迈可诺技术有限公司
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