Luc Van de hove博士（imce总裁&首席执行官）与Sang-il Park博士（Park原子力显微镜公司总裁）有着先进计量学解决方案的创新型原子力显微镜公司Park以及全球领先的纳米电子研发与创新中心的imec，于2020年2月17日在比利时鲁汶的imec总部正式举行了签约仪式。这是合作双方在4年内签署的第二个联合开发项目（JDP），双方都致力于加大力度研发下一代的在线AFM计量解决方案。 新的JDP扩展了合作关系，以探索适用于晶圆半导体领域的AFM计量解决方案的新领域。第一个JDP成功探索出在线自动原子力显微镜在半导体研究中的强大性能，例如表面粗糙度，临界尺寸（CD）和侧壁粗糙度；而第二个JDP则适用于多个战略性发展，以应对不断缩小规模的当前计量挑战设备和3D组件堆叠的几何尺寸。 “与imec等领先的研究中心合作，对我们能够提供满足研究和工业市场需求的最佳技术解决方案至关重要。我很高兴再次与imec合作，进行此项探索。我也期待着进一步的合作卓有成效。”Park原子力显微镜公司首席执行官Sang-il Park博士评论道。 Kristof Paredis博士（imec研发经理）补充说：“Park公司在过去几年里取得了长足发展，这无疑对我们与Park的共同开发工作有很大帮助。我们刚签署的联合开发项目也展现了我们之间最真诚美好的合作关系。”。 在2015年签署首个JDP后，Park原子力显微镜公司正式加入了imec的工业联盟计划（IIAP），并成为IIAP的重要成员。从那时起，Park和imec中以研究员和工程师为主的跨学科团队夜以继日研发，旨在提高半导体行业的生产良率和器件性能。为了应对越来越精巧化的半导体器件的市场挑战，合作双方将重点放在新型JDP的实际问题解决应用程序上，创新的3D计量学功能将应运而生。微信公众号：帕克原子力显微镜ParkB站学习视频：ParkAFM

讲座时间：北京时间3月12日（周四）上午11:00-12:003月19日（周四）上午11:00-12:003月26日（周四）上午11:00-12:00如何报名？1. 关注微信公众号：帕克原子力显微镜Park2. 打开2月13日发布的文章“AFM网络讲座系列：原子力探针显微术基础及其研究进展”摘要：纳米科学与技术是当今前沿基础科学和高新技术研究中最具有发展潜力的领域之一，也是国际科技竞争的战略制高点。在纳米科技发展过程中，以电子显微术，扫描探针显微术及超分辨光学显微术为核心的纳米表征与测量技术起到了关键性的作用。目前，以扫描隧道显微术、原子力显微术为核心的一系列扫描探针显微术已经发展成为基础科学及技术应用研究中探测微纳米尺度物质结构、性质及功能的核心工具之一。目前，原子力显微术是使用最为广泛的扫描探针显微技术；它也可以作为微纳米尺度下的“眼”和“手”与其他表征和测量技术相结合，具有非常广阔的发展和应用空间。在本讲座（共三次）中，我们将在（1）介绍扫描探针显微技术的基础上，进一步介绍原子力探针显微技术的基础理论、仪器与方法基础，（2）基本工作模式及其应用，最新技术和方法进展等。（3）在此基础上，我们将进一步介绍原子力显微技术的功能化探测模式及其微纳米尺度物性研究与测量中的应用。最后，我们将简要探讨原子力显微术的进一步研究发展方向等。讲座人简介：  程志海，中国人民大学物理学系教授，博士生导师，基金委优青，中国仪器仪表学会显微仪器分会理事，中国硅酸盐学会微纳米分会理事。  2002年毕业于大连理工大学物理与光电工程学院应用物理系。2002-2007年，在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室硕博连读，获凝聚态物理博士学位。2004年7月至2005年1月，在德国柏林自由大学物理系及实验物理研究所做访问学者，2007年8月-2011年7月，在美国加州大学Riverside分校化学系及纳米科学与工程中心从事博士后研究。2011年8月-2017年月，国家纳米科学中心(中科院纳米标准与检测重点实验室)，任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”（技术百人计划）和首届“卓越青年科学家”，卢嘉锡青年人才奖获得者，青年创新促进会会员并获首届“学科交叉与创新奖”等。目前，主要工作集中在先进原子力探针显微分析技术及其在低维与表面物理、纳米科技等领域的应用基础研究。

　　当下，随着各国对5G技术的探索与应用，国内外企业和协会正在积极布局5G解决方案和开发相关产品，独立产品已在2019年开始逐步上市。　　据中国信息通信研究院统计，2019 年1月-12月，国内市场已推出24款5G手机，且最低售价达到1999元。近日，戴尔宣布推出5G笔记本电脑Latitude 9510，电池续航时间高达30个小时，将于3月26日在全球发售，起步价为 1799 美元等。　　　　5G新技术应用的推广，将带动车载显示等多场景OLED的需求，缓解目前OLED供过于求的现状，带动面板价格企稳和企业盈利能力回升。三星显示器公司(Samsung Display)在2019年10月 10 日宣布，到 2025 年，三星显示器公司将投资13.1 万亿韩元(779 亿元人民币)在牙山工厂建造 8.5 代 QD-OLED 生产线。在OLED整体供过于求的情况下，三星 QD-OLED 产线扩产招标订单投放，表明行业对于新型面板工艺仍有较大的需求。面板新工艺是带动设备端资本开支的关键所在，OLED 新产线和新工艺必将带动相关检测设备的需求。　　近日，三星显示器公司QD-OLED产业投资加速，与十四家设备厂商集中签订设备供应合同。测量检测设备供应商Park Systems（帕克原子力显微镜）、K-Mac（科美）荣幸中标。　　2019年12月31日，Park Systems公司（帕克原子力显微镜）与三星显示器公司签订超千万人民币原子力显微镜供应合同。届时，帕克原子力显微镜产品将装配三星显示器公司QD-OLED产线并帮助客户进行产品测量。　　Park Systems公司1997年成立，致力于原子力显微镜技术的开发与应用，作为纳米显微镜和计量技术领域的知名研发制造商，一直致力于新兴技术的开发。其总部分部遍及中国大陆，台湾，韩国，美国，日本，新加坡和德国等地，为研究领域和工业界提供精确、高效的原子力显微镜。2020年1月2日，韩国显示设备厂商K-mac公司公示，与三星显示签订了156亿韩元(约合9388万人民币)规模的面板制造设备供应合同。公示显示合同签约日期为12月31日，合同期限为2019年12月31日至2020年08月31日。本次签订合约金额为156亿韩元(约合9388万人民币)，占公司年销售额的14.6% 。　　韩国K-MAC成立于1996年，专注研发和生产光学测量仪器设备，产品包括光学薄膜测厚仪、微型紫外/可见分光光度计、表面等离子共振仪等，广泛运用于半导体、平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析　　三星显示器公司的一位代表说：“新生产线(Q1)将于 2021 年投入生产，月产能 30000 张玻璃基板，并将生产65 英寸或更大尺寸 QD-OLED，后续三星显示器公司将逐步增加产能。”三星显示器公司将投资10万亿韩元用于QD-OLED产线投资，另外3.1万亿韩元用于下一代显示技术的研发(R&D)。

　　一年前，青岛，AsiaNANO 2018现场，仪器信息网采访了Park Systems(帕克原子力显微镜)创始人兼CEO Sang-il, Park博士(以下简称‘Park博士’)，Park博士讲述了其与AFM之间30余年的故事，以及辗转创业历程。让笔者进一步认识了这家AFM领域的独特公司：技术起源于AFM发明人之一的Calvin Quate教授实验室、最初AFM商业化创业源于美国硅谷、二次再创业于韩国水原市，传承、成长与创新，赋予其传奇色彩。Park Systems韩国总部——Korea Advanced Nano Fab Center大厦一角　　近日，仪器信息网受邀走进韩国水原Korea Advanced Nano Fab Center (KANC)大厦，走进帕克(Park)原子力显微镜韩国总部，零距离感受其历史传承与现代创新的碰撞、31年的逐步成长。走访受到了帕克(Park)原子力显微镜全球销售副总裁James Woo, 全球销售本部长YG Lee，亚洲区销售总经理Terry Yang, 全球市场部总经理Kenneth Kang等人的接待与欢迎。企业历程：31年，伴AFM发展史共成长　　AFM技术诞生与商用AFM问世——Park博士初次创业　　1981年，G. Binning 与H. Rohrer 共同发明 STM。1985年， Gerd Binnig (IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)共同发明了原子力显微镜，并共同在1986年3月的“物理评论快报”上发表了该成果。斯坦福大学 Calvin Quate 实验室成功发表全球首台AFM。AFM三位发明人(左至右：Gerd Binnig、Christoph Gerber、Calvin Quate)Calvin Quate教授与Park博士(1982年在读期间合影)　　同时，作为Calvin Quate教授实验室的在读研究生，Park博士意识到AFM技术的广泛应用潜力，开始初次创业，于1988年在美国硅谷创立Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为世界上最初的商业化AFM公司获得了巨大成功。1988年，世界首家AFM商业公司PSI在美国硅谷森尼维尔市成立　　回韩国创立Park Systems，Veeco并购——Park博士二次创业　　1997年，Park博士将正在良好发展的PSI出售给Thermo Spectra，回到韩国，开启归国第二次创业，创立其第二家AFM公司——PSIA(2007年，在公司10周年纪念日将公司名称更名为Park Systems(Park原子力显微镜)，并一直沿用至今，以下统称Park原子力显微镜)。1997年，Park博士回韩国第二家AFM公司Park Systems(Park原子力显微镜公司)成立　　1998-2001年间，Veeco先后并购当时三家AFM知名品牌：DI AFM，IBM AFM，Thermo Spectra/ Thermo Micro，一时间形成AFM垄断局面。2010年，Veeco出售给布鲁克，就此尘埃落地。　　艰难初期到共同成长——Park原子力显微镜之发展　　Park 原子力显微镜创立初期，James Woo回忆道，Park博士带着AFM技术回到韩国，公司首先面临AFM从零配件到最终成品整个环节的产业配套问题。Park原子力显微镜的供应商主要为数十家纳米领域公司，虽然有一定纳米产品加工基础。但作为当时引进的最新技术、纳米级精密表征仪器产品——AFM对相关零配件精度要求很高，当时相关产业链配套薄弱，本地供应商无法在短时间内完全满足需求。此背景下，1997年创立初，部分零配件需要从美国Thermo Micro等公司引进。与此同时，Park原子力显微镜也逐渐引导培养当地供应商的相关生产技术与能力，并着手开发部分自己独有的技术。2001年，随着Veeco对Thermo Micro等完成并购，公司从美国引进配件的通道就此中断，四年的技术积累及与本地供应商的共同成长之下，Park原子力显微镜就此开启了零配件的完全国内供应。　　Terry Yang补充道，公司能度过艰难初期，除了得益于与供应商们的共同成长，也离不开与客户们的互助合作及新应用新技术的不断开发。Park原子力显微镜建立初期，回到韩国面对全新的AFM生产基础、全新的市场环境，公司需要开拓新的用户市场，重新获得市场的认可。在最初四年技术积累沉淀的基础上，利用韩国纳米技术领域的优势，公司不断开发新的产品技术。同时，与韩国诸多纳米科技领域高端用户展开多种形式技术合作，不断拓展一系列新的产品技术与解决方案，尤其在半导体等工业应用领域，逐渐积累了自身的优势。2015年，Park原子力显微镜在韩国证券交易所KOSDAQ上市　　2015年，Park原子力显微镜成功在韩国证券交易所KOSDAQ上市，成为首个依靠AFM单一产品上市的公司。韩国KOSDAQ对申请上市公司主要从销售额或技术创新两方面之一进行横向对比考量，一般会邀请两到三家第三方专业机构进行评估。Park原子力显微镜是按照技术创新进行评估考核的，且Park原子力显微镜也成为KOSDAQ评估上市以来，首个获得两家评估机构全部给出“AA”的最高评价。走进Park原子力显微镜总部：感受年轻AFM公司的成长活力6分29秒视频，走进原子力显微镜微观世界，走进Park原子力显微镜Park原子力显微镜韩国总部坐落于韩国水原市，位于Korea Advanced Nano Fab Center (KANC)大厦中的四个楼层。KANC为韩国先进纳米技术工厂中心，入驻公司皆为纳米科技创新型企业单位，包括国家纳米研究所、先进半导体公司等。韩国国家在纳米科技领域的发展优势，以及KANC入驻单位的纳米科技属性，也为Park原子力显微镜的纳米级AFM研究与开发提供了得天独厚的创新沃土。Terry Yang举例说，创新的环境获得的一些支持与便利诸如韩国政府对纳米技术项目的基金支持、KANC入驻单位之间设备共享与最新信息互通等。Park原子力显微镜科研与工业级AFM产品系列　　而全球各地用户在世界各地实验室安装使用的超过2000台/套的Park品牌AFM产品，便全部是在这座大厦中完成研发、设计、装配、测试，及最终的打包并发往全球各地。公司荣誉墙一角　　生产管理——总部技术研发及生产+全球六大分公司共同应用开发　　为支持全球用户对AFM先进技术的需求，Park原子力显微镜全球市场布局，除韩国总部，还分别在美国、德国、日本、新加坡、台湾、北京等设置了六大分公司，全球各地区办事处30余个。　　AFM作为高度集成的纳米级精密仪器，为使其产品精确可靠性得到进一步保证，Park原子力显微镜的AFM研发、生产全部在韩国总部完成。全球六大分公司则与总部同时进行针对各地区用户的应用开发，以使产品技术不断创新，实时满足广大用户的最新需求。　　AFM包含诸多专业配件，需要对应专业供应商提供。1997年在韩国创立，Park原子力显微镜在20余年里，逐渐共同成长出数十家零配件供应合作伙伴，这些供应商主要为纳米科技产品领域，各自负责供应不同的配件。而作为纳米级表征工具，AFM零配件的检测也更加严格，负责产品质量的品保部对配件将实施100%检测。　　AFM的生产装配，主要在KANC大厦的一层中完成，生产团队达50人，因为AFM生产需要多种相关技术人才。而根据客户领域与需求特点的不同，Park原子力显微镜将产品的研发和生产都划分为科研与工业两个部门。如生产类的客户更看重重复性和准确性，科研类的客户则往往有许多特殊的需求，应用领域也比较广泛。所以针对不同的需求，科研与工业研发生产部门为不同用户提供了二十余项可选模块，基本可涵盖70-80%的用户需求。而针对一些特殊的需求，也会额外提供更多的可能选项。而关于库存管理，每种选型都有一定的库存，库存的数量，则会根据一定时期内对市场需求情况的分析，对不同产品进行动态调整，以最大限度节省生产资源。研发中心与生产制造中心一角　　市场推广——资深专家领衔，30余办事处下沉全球用户市场　　市场推广与服务方面，如上所述，公司主要是通过总部与六大分公司领衔，指导全球30余办事处与当地经销商，对全球用户进行产品推广和技术支持。　　在人才储备方面，Park原子力显微镜可谓是卧虎藏龙，除了产品研发方面的诸多业界大牛，各大分公司负责人也是全球AFM领域内深耕二十余年的风云人物。　　Terry Yang介绍说，比如在大中华地区，该区总经理张家荣已经进入AFM领域超过20年，在业界以出色的市场营销能力而闻名。在其带领下，迎合中国政府对科研多元化的倡导，及半导体等行业的兴起，Park原子力显微镜在中国市场的业绩在近几年取得了迅速发展。在台湾已经设立分公司的基础上，2018年，北京办事处也实现升级为北京分公司，以更好地支援服务中国市场，并对中国主要科学实验室以及研究设施提供强有力支持。　　Terry Yang补充道，AFM作为高精密仪器，专业的技术支持工作同样重要。为保证专业的技术服务，各分公司的员工在入职后，都需要到韩国总部进修一个月，对Park原子力显微镜产品技术进行系统学习。同时，全球所有地区的经销商筛选，除了营销能力，专业技术能力也是一个重要考核。AFM技术进阶发展：研究领域领衔，工业领域后程助力　　AFM技术——市场潜力巨大，纳米技术发展带动需求　　据一份国外研究机构数据，在2012-2018年间，虽然AFM相比光学显微镜、电子显微镜的市场份额更低，但是AFM的年复合增长率达到了最高的10%，高于光镜的4.7%和电镜的6.8%，该数据展现了AFM更高的市场增长潜力。研发中心一角James Woo认为，AFM的高增长潜力主要缘于以下几方面：使用方便;常用测量设备的基本限制(电镜、光镜、轮廓仪等已不能满足日益小型化的下一代电子器件制造工艺的要求);所有科学和工业技术对微型计算机的需求;生命科学的发展对纳米尺度研究的需要等。产品技术讨论　　Park原子力显微镜十分重视AFM技术的研发，除了根据产品特征分设了科研型产品研发部和生产型产品研发部，另外公司研发人员占比与研发投入占比都分别达到30%以上。同时，Park原子力显微镜开发了三轴分离技术、非接触模式、自适应扫描系统(Adaptive Scan)等创新技术，以应对AFM的未来市场增长需求。三轴分离技术相对传统压电扫描管克服了产生明显图像失真、测量精度下降、反应慢等不足;非接触模式技术则避免了传统接触模式或轻敲模式探针针尖易磨损、样品表面容易被损坏，大大提高了探针寿命和测试结果的精确性;Adaptive Scan合理利用扫描分辨率与扫描速度两者此消彼长的反相关关系，实现“适应性”智能扫描，SmartScan软件更是让用户简单三步获得自己更倾向需求的测试结果。　　AFM技术应用——科研型领衔，半导体等工业型需求凸显　　AFM的诞生，最初主要服务于科研领域，应用研究方向广泛，包括纳米光学设备、癌细胞、干细胞、石墨烯、纳米器件、纳米-光刻技术、固体物理等与微观表界面研究相关领域，这些领域对AFM的需求更倾向与高性能、多功能等，体积也相对工业型AFM要小一些。　　随着纳米科技的快速发展，半导体、电池、IT设备、高端平板玻璃等工业领域向微观尺度不断进阶，在光学显微镜、电子显微镜等以往测量手段无法完全满足需求的基础上，工业型AFM的需求日益凸显。Park原子力显微镜顺应市场需求，陆续发布迎合各类需求工业型-NX系列AFM产品，并逐渐在工业领域获得用户广泛认可。工业型NX-系列AFM最终安装调试　　例如在半导体行业，该领域表现明显龙头企业示范效应。IMEC(欧洲微电子研究中心)是欧洲领先的独立研究中心，研究方向主要集中在微电子、纳米技术、辅助设计方法等。最初，IMEC并不认可AFM在半导体领域的应用，即便一些安装了AFM的企业使用率也比较低。示范效应下，一定程度阻碍了AFM在半导体领域的应用推广。随着半导体向着测试半导体、人工智能半导体、感应器等方向的发展，半导体制程向着纳米级进发，AFM原子级三维表征能力便受到这些工业领域的逐渐关注。看到Park原子力显微镜与一些半导体企业的成功合作，IMEC开始重新考虑AFM这种测试工具，对不同AFM品牌经过近两年的评估，最终摒弃对AFM的成见，肯定了其在半导体应用中的可靠性，选择了与Park原子力显微镜合作。在IMEC与韩国三星诸多竞争交叉背景下，Park原子力显微镜也成为唯一进入IMEC工厂的韩国品牌产品。IMEC首席执行官Luc Van den hove与Park Systems首席执行官Sang-il Park在首尔洲际交易所签署JDP协议　　2015年2月3日，IMEC与Park原子力显微镜在首尔签署JDP协议，协议包括建立表面粗糙度、厚度、临界尺寸和侧壁粗糙度在内的在线AFM计量体系。此次合作获得多方媒体报道，并起到积极示范效应，AFM在半导体领域的应用得到了广泛的推广。IMEC首席执行官在2018年访问韩国时，接受韩国KBS采访中谈Park原子力显微镜是IMEC工厂为数不多的韩国品牌　　伴随Park原子力显微镜在工业型产品领域十余年的研发技术积累，对工业型NX-系列、全自动AFM的逐代改进升级，逐渐形成其品牌在工业领域的优势。工业型用户涵盖了IMEC、三星、IBM、NASA、LG、夏普等全球知名品牌。　　在工业领域的带动下，AFM的市场份额逐渐走高，开始走进更广泛微观检测、测试领域，AFM也开始在更广的应用领域承担起与电子显微镜、光学显微镜交叉互补作用。面对AFM的未来发展，James Woo表示，Park原子力显微镜对AFM未来持续增长潜力持乐观态度，也坚信始终专注于AFM技术的Park原子力显微镜将会成长为AFM、乃至测量领域的伟大品牌。合影留念(左至右：Park原子力显微镜全球销售本部长YG Lee，亚洲区销售总经理Terry Yang, 仪器信息网编辑，全球销售副总裁James Woo, 全球市场部总经理Kenneth Kang)后记　　相对电镜、光镜等其他检测表征技术手段，AFM的30余年发展史，并不久远，甚至很年轻。另一个角度，AFM这类年轻的技术尚有很长的发展之路要走，这也使得我们这代人有幸成为AFM技术诞生、成长的见证者，AFM的发展，我们将共同见证。　　作为只专注于AFM技术的公司，Park原子力显微镜具有独特的公司文化，呈现出美洲文化与亚洲文化的融合，既承接了Park博士早期在美国初次创业时期的勇于创新、开放与冒险精神，也保留了亚洲本土的团队合作、人文、友善文化，在这种东西融合企业文化背景下，“移植”的AFM创新技术的传承与坚守更显珍贵，31年的专注是Park原子力显微镜当下的真实写照，未来，Park原子力显微镜将继续续写AFM传奇!

讲座时间：北京时间10月31日（周四）下午15:00-16:00 导电原子力显微镜（C-AFM）是一种非常有用的扫描探针显微镜（SPA）纳米表征技术，它不仅可以对样品的形貌进行表征，更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象，比如：局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。  目前，随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减，纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式；其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。  具体内容是利用C-AFM技术：1.研究化学气相沉积法制备的六方氮化硼（h-BN）的电学性质：介质击穿特性和厚度及电学性质均一性；2.在不同环境（大气和真空）下探测h-BN基忆阻器的阻变特性及导电细丝的形态表征；3.通过与其它电学设备相结合，实现更高性能的技术表征。最后，探讨未来多探针SPA技术的发展概念，有望实现在真空环境下对材料或器件的原位制备和表征。主讲人介绍： 惠飞博士，现以色列理工学院博士后，2018年7月获得巴塞罗那大学和苏州大学双博士学位。在攻读博士期间，她曾先后到世界顶级名校美国麻省理工学院和英国剑桥大学进行为期12个月和6个月的访学。在科研方面，5年时间内，她共参与发表SCI期刊学术论文38篇，其中，一作论文11篇，包括顶级期刊Nature Electronics, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, 2D Materials, Nanoscale等。另外，她还参与德国Wiley出版的专著篇章一部，获批国家发明专利一项，申请国际专利两项，参与申请国际间/国家自然科学基金项目等8项。曾获得2019 ParkAFM博后奖学金、英国皇家化学会学者奖学金等。她的主要研究领域是化学气相沉积法制备二维材料及其在电子器件领域内的应用。请扫码免费申请网络讲座

  韩国帕克原子力显微镜于2018年在大中华区推出“帕克AFM奖学金”计划，由帕克原子力显微镜公司赞助，希望可以通过此次计划为年轻的科学家提供崭露头角的机会，并在纳米科学领域研究中注入新鲜的血液！2018年Park AFM奖学金的获得者是来自浙江大学物理系的王震博士，王博士通过使用Park NX10得到的相关研究成果写成论文“Defects controlled hole doping and multivalley transport in SnSe single crystals”发表于> [9,47 (2018)]。  2019年，在众多使用Park AFM发出研究成果论文的申请者中，以色列理工学院博士后惠飞博士在提及Park NX-Hivac的论文"Scanning probe microscopy for advanced nanoelectronics"被Nature Electronics>>收录，成为2019 Park AFM奖学金的第一位获得者。Park NX-Hivac于2018年12月10日被首次引进广东以色列理工学院（GTIIT），惠飞博士后的导师Mario Lanza教授是利用SPM进行纳米电学测试方面公认的专家。 在论文中，惠飞博士后指出“随着电子器件尺寸的不断缩小，具有能够精确探测局部性质的表征方法变得越来越重要。扫描探针显微镜技术可以检测局部现象，尤其是导电原子力显微镜可以研究材料的局部机电性质。这些表征已经在纳米电子学的发展中起到了重要的作用，但是在于探针台（通常用于测试电子器件）相比，它们的能力仍然相对有限。在此论文中，讨论了导电原子力显微镜在纳米电子学中的潜能，并探索可能的表征策略，增强的电子学技术以及改进的多探针测试方法。同时，作者还提出了一种多探针扫描探针显微镜系统，它结合了不同类型的探针，可以在真空条件下同时进行纳米加工和表征实验。”   惠飞博士后的个人专访即将被收录到最新一期的NanoScientific杂志中，以下为惠飞博士后的专访原文：  Fei Hui is currently a postdoctoral fellow inTechnion-Israel Institute of Technology, she received her PhD degree from the Universityof Barcelona in 2018. During her PhD, Dr. Hui was a visiting scholar atMassachusetts Institute of Technology (USA) for 12 months, where she learnedchemical vapor deposition two-dimensional (2D) materials (e.g. hexagonal boronnitride, graphene) on different substrates (i.e. Cu, Pt, Fe and Ni). She alsoreceived the Researcher Mobility Grant from Royal Society of Chemistry, whichsupported her studies at the University of Cambridge (UK) for 6 months. In theCambridge Graphene Center, she learned how to synthesize graphene oxide thinfilms and, more interestingly, how to cover nanoprobes with thin films of thismaterial via spray technique. She has published over 40 research papers (11papers are as first-author) on top journals of Nature Electronic, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials and Interfaces, 2D Materials (amongothers), and with more than 811 citations indicated by Google Scholar (https://scholar.google.com/citations?user=Ht0HvKYAAAAJ&hl=en&oi=ao). She has applied for two internationalpatents, and one of them (cost-effective fabrication of ultra-durable graphenecoated nanoprobes) attracted around $1 million investment.  Interview questions采访问题: 1.     Please summarize theresearch you do and explain why it is significant?My research topic is the development oftwo-dimensional (2D) materials based electronic devices. We are aiming tointegrate 2D materials (e.g. hexagonal boron nitride, graphene or molybdenumdisulfide) into electronic devices (e.g. memristors or field effecttransistors). Due to the atomic thin layer and extraordinary properties (e.g.high thermal and electrical conductivity, flexibility and transparency) of 2Dmaterials, it allows us to design miniaturized devices, which exhibit someexotic performances that conventional transition metal oxides (e.g. HfO2)-baseddevices do not show. More specifically, I firstly synthesis monolayer ormultilayer 2D materials using chemical vapor deposition (CVD) methodology. Aftergrowth I used several techniques to analyze the quality of these materials,mainly Raman Spectroscopy and cross-sectional transmission electron microscopy(X-TEM), but the technique that provided me best results was conductive atomicforce microscopy (CAFM). Using this technique, I explored the dielectricproperties of hexagonal boron nitride (h-BN) and graphene oxide (GO), includingtunneling current, charge trapping, trap-assisted tunneling, stress-inducedleakage current, dielectric breakdown and resistive switching (RS). I also usedthese 2D materials to fabricate memristive devices, and analyzed them using aprobestation connected to a semiconductor parameter analyzer (working indifferent atmospheres). 2.     How might yourresearch be used?In my work, I employed a scalable CVD technique tosynthesis large size of 2D materials, which allow us to fabricate high-yield electronicdevices and study their device-to-device variability. Moreover, this methodologyis more compatible with and useful for the industry than single/few devicesfabricated by mechanical exfoliation. In our previous work, we have proved thath-BN can be used as a RS medium and the metal/h-BN/metal devices showed both volatileand non-volatile RS behaviors, enabling the emulation of a range of synaptic-likebehavior, including both short- and long- term plasticity. Therefore, ourresearch would accelerate the use of 2D materials for building futurewafer-scale and high-density electronic memories and/or artificial neuralnetworks. 3.     What features of Park AFMare the most beneficial and why?Park AFM system is a powerful tool that provides uswith more accurate and reliable information under different conditions (ambientand vacuum conditions), which is extremely important for the research field ofnanoscience. First of all, the true non-contact mode allows us to acquire thetopographic information, such as the wrinkles of 2D materials or some tinyparticles, without the damage of probes and surface modification of specimens. Second,the image/position drift is negligible, we can perform spectroscopymeasurements (e.g. current vs. voltage, force vs. distance) at specificlocation or in a matrix pattern and then go back to them exactly. Moreover, thenavigation and the software interface are quite user-friendly, which save usmuch more time. 4.     Why is the Park AFMimportant for your research? This Park NX-Hivac system is able to simultaneouslyperform four tasks that are essential to study RS reliably: i) measure currentsin tapping mode (to avoid premature tip wearing and material damage), ii)measure high currents from picoamperes to miliamperes in both polarities byusing a logarithmic preamplifier (to monitor the set/reset transitions insitu), iii) measure in high vacuum up to 10-6 torr (to avoid localanodic oxidation and unwanted moisture-related reactions), and iv) measure athigh temperatures up to 600 oC (not only to study reliability, but also toevaporate all water molecules on the materials after pumping the vacuum). Theneed of these four features to reliably measure RS at the nanoscale isextensively described in the book (Conductive Atomic Force Microscopy:Applications in Nanomaterials, ISBN: 978-3-527-69978-0, Wiley-VCH Weinheim,Germany, 2017) edited by Prof. Mario Lanza, who is aleading expert in CAFM science, and there is no other equipment in the worldthat can carry out all these actions simultaneously. The use of this tool willbe a high advantage compared to other groups.  Park另一位奖学金获得者是来自天津大学纳米材料与技术研究中心研究团队的王燕燕研究员，王燕燕研究员通过使用Park NX10写出以“One-Step Fabrication of Ultralow Pt Loading High Efficiency Proton Exchange Membrane for Water Electrolysis by Conventional E-Beam Metal Deposition”为标题的论文并收录在“Advanced Sustainable Systems”期刊中。

  2019年10月11日，帕克原子力显微镜公司（Park Systems）的技术讲座在厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院顺利召开。本次技术讲座重点介绍韩国Park公司原子力显微镜独特的技术特色，包括平板扫描器技术，非接触式测量技术，高分辨率成像技术，快速扫描技术，电流快速扫描模式，缺陷快速识别技术等，同时Park原子力显微镜在电学，力学，磁学等方面的应用实例也都被介绍。本次技术讲座吸引了厦门大学的老师和同学们近40余人参与。技术讲座现场讲座主题：Park原子力显微镜介绍及其在半导体和二维材料领域中的应用主讲人张菲博士针对老师和同学在平时使用原子力显微镜中所遇到的技术问题进行了现场解答。Park近期技术讲座报道：  在此前的9月27-28日，由精密科学仪器安徽普通高校重点实验室主办的“第十一届中国扫描探针显微术学术交流会（SPM2019）”在中国科学技术大学成功举办。Park原子力显微镜公司也参与了本次会议，并与参会的来自北京大学、香港中文大学、中国科学技术大学、上海交通大学、厦门大学、中国计量科学研究院、中国科学院物理研究所，沈阳自动化所等80多位专家学者共同参与此次会议，并讨论了我国SPM技术和SPM一起产业发展战略，中科院上海高等研究院胡钧教授作会议总结。艳阳高照的8月18日-22日在陕西省西安市成功召开了“第十届环太平洋先进材料与工艺国际会议"(PRICM 10)。PRICM会议是全世界材料与工艺材料领域规模最大、影响力最高的综合性学术会议之一。Park原子力显微镜张菲博士被PRICM会议组邀请在19日上午作了关于“原子力显微镜在二维材料的应用”的邀请报告。主讲人介绍：张菲，2012年毕业于北京航空航天大学，获得材料科学与工程博士学位，博士学习期间主要从事材料的先进表征研究。博士毕业后一直从事原子力显微镜设备的应用。维护等相关工作。现任韩国Park原子力显微镜公司中国区原子力显微镜的产品推广与应用工作。

 ICPT 2019于9月16-18号在台湾新竹举行。 此次会议是化学抛光（CMP)和平坦化技术国际交流的盛会，来自世界各地的科研工作者和工程师五百多人齐聚一堂，共同探讨CMP/平坦化过程中的关键问题，进行广泛的技术信息共享和交流。9月16日，展会第一天，来自清华大学，中国科学院，河北工业大学，西南交通大学，台北科技大学，韩国成均馆大学，汉阳大学，韩国三星电子，澳大利亚欣南威尔士大学，IMEC, 因特尔等各国的CMP专业人士在开幕式当天作了大会口头报告。ICPT作为一年一度的国际会议和国际交流论坛，致力于CMP相关专家和研究人员之间的交流。 Park NX-Wafer原子力显微镜提供精准的形貌量测，可用来监控化学机械研磨平面化制程，检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷（dishing）效应与浸蚀（errosion)效应。同时NX-Wafer还具有原子力形貌量测能力，可用以检测毫米横向尺度范围以及纳米级纵向尺度的高度变化。9月17日，来自汉阳大学的Tae-gon Kim教授在使用Park NX-Wafer原子力显微镜基础上在大会上给以“Automated In-line AFM for Surface Profiling in CMP Applications”为主题的大会报告。请下拉查看Prof. Tae-gon Kim大会报告的extended abstract. －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－Automated In-line AFM for Surface Profiling in CMP Applications Tae-Gon Kim1*, Sang-Joon Cho2, Ahjin Jo2, Byung-Woon Ahn21 Department of Smart Convergence Engineering, Hanyang University ERICA, Ansan, South Korea, 155882 Park Systems Corp, KANC 4F, Gwanggyo-ro 109 Suwon, South Korea 16229  *Corresponding e-mail: tgon@hanyang.ac.krKeywords: AFM, Profiling, In-line metrology  ABSTRACT – In advanced interconnect, CMP processes are becoming important and proper metrology solutions need to be introduced in order to fulfill the requirement of interconnect technology and their CMP processes. Automated in-line AFM with a sliding stage was demonstrated to show the capabilities of narrow trench measurement in large-scale profiling. Decoupled XY scanner and a sliding stage hybrid AFM system provides good measurement capabilities in dishing and erosion of narrow trench with wide range of scan distance. Therefore, in-line AFM with sliding stage could provide a non-destructive and direct metrology solution for CMP process developments of advanced interconnect.INTRODUCTIONAs devices are being scaled down to 7, 5 and 3 nm and the complexity of their architecture increases, the local and global flatness of wafer are becoming utmost important. Not only the flatness of layer and the erosion and dishing characteristics in narrow trench after CMP processes are critical to measure for better CMP process quality. Unfortunately, conventional metrology solution based on either optic or e-beam techniques does not fulfil the requirement of advanced CMP process control due to poor resolution in either vertical or lateral directions in large-scale area. It means that a metrology solution for better CMP process variation control requires a capability of narrow trench measurement in wide range distance and it should perform in non-destructive way.In traditional, surface profilometry and ellipsometry are being used to measure height change and CMP nonuniformity, but height offset between device structure and measurement structure is always present due to the difference of pattern size and density. The offset needs to be evaluated by SEM or TEM, but those e-beam based techniques could also damage sample while measuring or preparing sample even though those techniques provide high resolution cross-section image. Therefore, it would be favourable to have a metrology solution, which could measure an atomic scale depth of a narrow trench with large-scale profiling. Even though conventional profilometry provides a quick step height measurement solution in large-scale, it is being used less and less in advanced CMP process due to the inaccessibility of narrow trench of the stylus probe. On the other hands, atomic force microscopy (AFM) utilizes a fine probe, which could access fine trench smaller than the trench size the stylus probe is not accessible. In this paper, we evaluated a fully automated in-line AFM system in terms of trench accessibility with a wide range of scan distance to provide a better CMP metrology solution in local and global height variation.ATOMIC FORCE PROFILERIn order to achieve the higher resolution of AFM and the larger measurement range of surface profilers, AFM and long-range profiler hybrid system (Park Systems, NX-Wafer) was used. The AFM system is based on decoupled XY and Z scanner design to eliminate the cross-talk between the scanners and provide better positioning capabilities, which conventional tube based [1] AFM systems could not achieve.Measurements were done in non-contact mode, which is performed by oscillating the AFM cantilever at its resonance frequency and modulating the oscillation amplitude by changing the position of the tip such that the tip-sample interaction remains in the attractive regime [2]. The advanced in-line AFM system utilizes non-contact mode to improve data consistency and preserves tip lifetime.SMALL SCALE PROFILINGThe new scanner design, decoupled flexure guided XY scanner is moved by two pairs of stacked piezo actuator in two in-plane directions. The background out-of-plane motion (OPM) for the XY scanner is below 2 nm for 100x100 μm scanner range. The reduced background OPM of XY scanner allows surface profiling of up to 100 μm ranges using only the XY scanner. Figure 1 shows an example of small-scale profiling using only the AFM XY scanner. Figure 1 Small-scale profiling using AFM decoupled XY scanner. The scan range is 100 μm and the step height is 160 nm. The insert shows a magnified section of the same profile.LONG-SCALE PROFILINGLong range profiling capability has become possible by the additional of a sliding stage underneath the XY scanner in the system. The sliding stage provides surface profiling using decoupled Z scanner over longer mm-scale ranges up to 50 mm comparing to μm-scale range for AFM scanner. Figure 2 shows a result of the long-scale profiling using the AFM system. Upper image is the optical sample image where the profile obtained and the profiling range is 30 mm and the step height is 400 nm. The profile data shows topography changes across the profiling range of 30 mm with minimum OPM. One of the applications of long-scale profiling is monitoring dishing and erosion in CMP process. Dishing and erosion could differ at different locations due to different polishing rate caused by differences of local loading pressure, pattern density, so on. CMP metrology solution should provide the information of nano-scale dishing and erosion in long-scale profiling. Figure 3 shows nano-scale profile difference at the center, middle and edge of wafer. It shows high wafer non-uniformity across the wafer, which is a big difference in dishing and erosion from center to edge. It also shows that AFM with sliding stage provides a high-resolution profile with small noise. Figure 2 Long-scale profiling using AFP scanner. Upper image is the optical sample image where the profile obtained. The range is 30 mm and the step height is 400 nm. The inset (down) shows an AFM image of the specific part of the profile. Figure 3 Comparison of erosion and dishing profiles measured at center, middle and edge of wafer after CMP. Upper image is the optical sample image where the profile obtained.NARROW Trench MeasurementIn advance interconnect technology, beyond N10, the metal pitch dramatically decreases and Cu might need to be replaced by Co, Mo and Ru, which have lower resistivity at smaller CD than Cu. It means that CMP metrology for advanced interconnect technology should provide a solution of depth measurement at narrow trench, smaller than 50 nm [3]. In order to provide the narrow trench measurement capabilities, the narrow trench mode has been developed and introduced in the AFM system. Figure 4 shows comparison of trench measurement capabilities between the non-contact mode and the narrow trench mode at various trench width. The narrow trench mode shows good measurement capabilities at a trench with of 21 nm and a probe could reach a depth of 30 nm at a trench width of 16 nm. Figure 4 Comparison of trench measurement capabilities between non-contact mode and narrow trench mode at various trench width.ConclusionsAutomated AFM with a sliding stage provides several capabilities of the dishing and erosion measurement in the narrow trench after CMP processes for advanced interconnect technologies. Unique design of decoupled XY and Z scanner allows to measure good profile information with ultra-low noise and minimum out-of-plane motion. Automated AFM metrology is suitable solution for in-line monitoring of CMP development and their performance.REFERENCEST. Cunningham, et al., (2000) "Atomic force profilometry and long scan atomic force microscopy: new techniques for characterisation of surfaces," Surface Engineering, 16(4) 295-298.A. Zandiatashbar, et al., (2015) “Automatic defect review for EUV photomask reticles by atomic force microscope” Proc. SPIE 9635, Photomask Technology, 23 October, 2015, 96351A.A. Sekiguchi, (2016) “Patterning technology for N5”, IEDM Short Course, 4 December, 2016.

　　对于韩国汉阳大学李海元教授(Haiwon Lee，以下简称“Lee”)的第一印象是在去年青岛AsiaNANO 2018大会开幕式上，Lee教授携手刘忠范院士、Masatsugu Shimomura教授，三位大会发起人分别作了开幕致辞。机缘之下，仪器信息网编辑此次有幸走进汉阳大学OTFL实验中心，近距离采访了Lee教授。这位纳米学人朴实、善谈，容易让人亲近，短短的下午时光，Lee教授为笔者分享了他与纳米科学的不解之缘、他眼中的纳米科学，以及对未来纳米科学的看法。篇幅有限，以下将交谈中印象深刻的部分与大家分享，共同走进Lee教授与纳米科学的那些故事。韩国汉阳大学李海元教授情怀篇——出身农民家庭，力促亚洲纳米科学的共同繁荣　　1950-1953年，三年的韩国战争结束后，韩国面临被战争破坏的不毛之地及众多与贫穷抗争的人口。在此历史背景下，1954年，李海元教授出生在一个拥有八七个兄弟姐妹的普通的农民家庭。父母为养育八个子女，辛劳工作，倾尽所有在子女的教育上，在父母强大不懈的支持下，八个子女中培养出4位博士，以及其中3位成为了教授。正是在这样的家庭氛围下，Lee谈到，“我十分幸运，从父母那里获得了无限的爱。虽然父母已经过世，但父母在生活和为人处世方面给予的言传身教是我一身生的财富，我很想把得到的这些分享给大家，把得到的幸运和爱分享给别人。”于是，感恩回报便成为Lee学业初期埋在心底的一个愿望。　　1980年，Lee在韩国西江大学化学系完成获得学士学位后，留学美国，1986年，在美国休斯敦大学与德克萨斯大学物理化学系完成硕士及博士学位，后又在德克萨斯大学奥斯汀分校化学系担任助理研究员2年。1988年正式回国，开启曾经感恩回报愿望，先后在韩国化学技术研究所(KRICT，1988-1993年，高级材料司首席研究员)、汉阳大学(1993年-至今，化学系教授)从事教育与科研工作。关于归国这31年，Lee表示：“当时在美国，学习了美国式的先进教育与生活工作方式，自己想把亚太地区的文化与西方的先进模式相结合，回来多做一些事情，所以选择了回国。回首这31年，曾经的付出看到了许多成效，自己也从未后悔当初的决定”。Lee的学生们，包括来自中日韩印尼等，他们回顾道，李教授时常为大家分享一句话，“做人最重要是要有一颗爱国心，首先对自己的国家热爱、忠诚，然后是其他国家，这样才能为更多的人带来和平。”Lee也始终坚守在并践行着自己当初的愿望，感恩回报，为和平发展多做一些事情。　　感恩回报，结合自身纳米科学专业，充当亚洲纳米科学共同发展的“搭桥”人。这份热心，除了教育事业，积极组织亚洲范围纳米科学高端学术论坛活动也是一例。目前，Lee已经成功创立或参与发起的国际会议包括：IC ME&D会议(于1990年创立，2019年成功举办了第30届会议)、NANO KOREA会展(于2001年创立，2019年成功举办了第18届)、AsiaNANO会议(于2002年，由刘忠范院士、Haiwon Lee教授、Masatsugu Shimomura教授发起，两年一届，2018年第九届会议在青岛举办)等。这些会议经过十余年甚至二十余年举办积累，获得了亚洲纳米科学学者的广泛认可，并成为国际间学术交流、友谊联络的平台。Lee办公室一角与部分友谊交互的见证　　对于多年来热心奔走的这些会议，Lee有着自己独特的解读——那就是参会背后的“友谊”，尤其是在十年、二十年时间维度上建立起来的“友谊”。Lee举例道，比如，在AsiaNANO 2002上，北京大学当时的一个博士在会上发表报告让我们相互得以认识，十六年后，在AsiaNANO 2018上，我们再次相遇，他会给我打招呼：“ Lee教授您好，我现在已经成长为北京大学的教授了”，“ 我也会感到非常开心，就像我自己的学生一样，这种友谊是非常重要的。”“通过这样的会议，多年的朋友再次相遇，相互拥抱，彼此开怀畅聊，无所避讳，这比会议本身内容更加有意义”。　　Lee回顾道，21世纪初前后，韩国呈现留学热潮，许多到欧美的学子，最终归来的只有不足30%，出现大量人才流失，亚洲其他国家也出现类似现象。在此背景下，亚洲人民就更加需要团结起来，共同促进亚洲圈的科技繁荣。组织和发起亚洲范围内的纳米科学学术活动，也有这样的初衷。个人成果成就的实现，只需独自发表成果，但共同的科技进步，大家友谊互助便更显珍贵。“友谊互助在亚洲文化中有着先天优势，通过这些线下活动，也是期望能将亚洲文化融入到先进纳米科学的快速发展之中。如此，便不仅仅是人与人的友谊网，更是机构与机构、国家与国家之间的友谊网。政治有国界，但学术无国界，希望亚洲国家的学者能够互爱互助，协力合作，在无间友谊的基础上实现纳米科学的共同繁荣。“科研篇——与OTFL的26年：创建、成长、不舍　　1988年,Lee回到韩国,首先在韩国化学技术研究院先进材料部(KRICT)任首席研究员，5年后，1993年，正式加入汉阳大学。同时，意识到薄膜技术的广泛应用潜力及前景,Lee创立了OTFL研究中心(Organic Thin Films Laboratory)。OTFL的主要研究领域包括分子自组装，电子和光子学的有机材料，纳米制造，光刻等，具体研究内容包括原子力显微镜的应用、碳纳米管合成与应用、半导体光刻技术等。OTFL创立26年来，共培养了包括研究生101位，博士10位，由于研究课题与应用结合紧密，完成毕业的学生多数走进了三星、LG等全球知名企业。OTFL历史照片墙一角日本首相麻生太郎访问OTFL合影　　采访间隙，Lee带着笔者参观了这所陪伴了自己26年的OTFL中心，从最初三星集团赞助整栋实验楼的建设，到前韩国总统李明博、日本首相、诺奖获得者、白春礼院士、刘忠范院士等重要来访人物曾经留影纪念的实验室合影一角，到每一个实验室与对应研究内容，到每一个仪器设备，再到墙上挂满的研究成果与一幅幅留下历史印记的照片。实验室的每一个细节，Lee都如如数家珍，就像介绍着自己的一位位老友。让笔者印象深刻的是一张论坛会议的合影，这是2013年，汉阳大学为纪念Lee教授来校20周年而举办的论坛，合影中有Lee的来自中日韩等地的学生、全球纳米学术届好友、还有Lee自己的一家人，照片的欢乐气氛让笔者感受到生活与工作的亲密融合与温暖。纪念Lee教授来校20周年论坛欢快合影　　工欲善其事必先利其器，作为科研道路上的必备工具，Lee对OTFL配置的科学仪器有着特殊的理解与热爱。OTFL围绕材料合成、表面改性、表征和传感器应用等配置了Thermal CVD、PECVD、ALD、自组装，以及应用于光刻技术的AFM、DUV、EUV、电子束、X射线、FIB等。其中，应用比较多且比较重要的是Thermal CVD、PECVD、AFM，分别配置了两台。Lee在交流中重点介绍了实验室配置的AFM及应用情况。OTFL中心部分仪器设备　　由于原子力显微镜(AFM)不同于扫描隧道显微镜(STM)，不需要样品表面导电，且相比光学显微镜、电子显微镜，具有允许以亚纳米分辨率对材料表面、纳米颗粒进行3D表征等优点。Lee对于AFM有着独特的钟爱。Lee使用AFM集中进行一系列研究，要追溯到1998年，那时Lee主要围绕AFM光刻技术展开。控制AFM探针针尖释放的微量电子，作用于对光电子敏感的高分子光刻胶薄膜表面，在纳米尺度，完成精密图案的刻蚀研究，相关研究也正是半导体工业晶圆光刻技术的基础。Lee将此研究过程做了一个比喻：“假如面前桌面这个大概100cmx60cm的区域是要研究的基底，我们要观察测绘这桌面上大概一本书范围内厚度约2-3cm的凸起的形貌图案。然后将整个长宽尺度缩小1000万倍，此时，cm单位变成了nm，人的肉眼已无法观察到，此时，AFM就充当了我们的眼睛和操纵的双手”。当时，OTFL利用AFM光刻技术，获得了一系列些列比较好的成果，这些成果都离不开AFM这项优秀的微观表征手段。由于当时，OTFL从事这项研究在韩国差不多是最早的，实验室安装了5套AFM设备，在当时韩国所有相关研究中心中堪称“豪华配置”。5套AFM也基本涵盖了当时的几个主流品牌，到目前，实验室还在使用的是2套韩国帕克AFM。Lee表示，除了经久耐用与扫描快速精确，喜欢帕克AFM的另一个原因是其xy轴与z轴的三轴分离技术，这项技术促成了AFM的非接触扫描模式，通过探针与样品表面原子间作用力控制扫描间距，避免了接触模式或轻敲模式的“盲人摸象”，大大减小了大量检测过程中对AFM探针针尖的磨损以及对样品表面的损坏，而这对探针寿命以及表征结果的准确性是十分重要的。实验室中的帕克原子力显微镜XE-100(左)与NX10(右)　　同时，对于AFM技术的未来发展，Lee也给出高度评价——“Game Change”。并以纳米科技走在前沿的半导体工业领域应用做了举例说明。随着半导体制程的不断提高，对半导体表面的检测技术要求更精密、更快速、更高质量，而纳米级的制程，以往光学显微镜手段已经逐渐不能满足需求，此时具备快速扫描功能的AFM便登上历史舞台(主流AFM品牌在近几年也逐渐加大了对快速AFM技术的研发投入)，时下，帕克AFM产品已经逐渐开始在韩国三星、LG、SK hynix等世界领头半导体企业使用。相信不远的未来，在更多的主流半导体集团，将会在行业引领效应下，逐渐将AFM技术引入到半导体生产线，而当AFM技术被应用之后，在半导体行业的替代可能性很大。因为欧美、中日韩等半导体企业已经在尝试将AFM应用于生产线，此后一两年时间内，针对AFM的研究也会增加，当相关研究成果形成一定量级效应后，AFM的“Game Change”时代便不仅仅是一句空话。　　参观完OTFL中心，Lee言语间流露出些许不舍，因为Lee刚刚达到了韩国规定的退休年龄，退休仪式已于采访前一日举行，陪伴了自己26年余载余的OTFL中心也即将关闭。不舍之余，Lee也补充道，距真正退休还有一段时间，自己的研究生涯暂时还不会停止，OTFL的相关研究也将会以另一种形式延续。展望篇——纳米科技交叉发展，美日中韩四国格局　　交流最后， Lee谈了对自己一直所从事的纳米科技的看法。　　首先，Lee从宏观到微观与微观到宏观两个角度解释了纳米科技的定义。宏观到微观方面，比如我们使用的手机的像素，从之前的几千到目前的几千万像素，随着单位面积上像素单元数目的不断增多，像素单元的划分被逐渐细化，单元面积也逐渐变小，从宏观到微观逐级细化划分过程便是纳米科学的一种呈现形式。微观到宏观方面，比如从细胞的分化，到大的分子基团、到功能器官，再到生物个体，此过程则是纳米科学呈现的另一种形式。这两种形式下，纳米科学的研究范畴则包括大的物质是如何由小的物质组成?分子到基团是如何转变的?人类大脑组成的网络是如何具体工作的?等等。　　纳米科学的重要意义，除了其广泛应用，还有一点重要原因便是其与其他多学科的高度融合交叉，当下的物理学、化学、生物学、材料科学、信息科学、环境科学、生命科学等都与纳米科技息息相关，都不能独立存在，这也体现了纳米科技的重要性。比如，时下各个国家都在关注的人类脑科学，其中通过纳米科技研究脑电路就是一项重要研究内容;环境雾霾研究，需要纳米科技的滤膜技术;近来火热的新能源汽车，其电池研究需要用到纳米科技研究其实现高效储能的微观机理;被称为第四次工业革命的物联网技术，为实现更快的交互速度，纳米技术就可以协助研究出更快更灵敏的各类传感器等等。　　纳米科技对于人类发展如此重要，时下纳米科技全球发展格局如何呢?Lee介绍道，随着全球对纳米科技领域的重视，各国家都在积极加大投入布局，并逐渐呈现头部国家优势明显，各自分领域优势突出等特点。总体而言，10年前，全球纳米科技综合实力的排名，依次是美国第一，日本第二，韩国第三，中国第四;而当下，中国通过在10年里在材料科学等优势领域的快速发展，排位升至第三，韩国则变成第四，其他不变。各个国家充分结合自身发展优势，也逐渐发展了各自纳米科技领先领域。美国主要在生物-纳米科技领域发展领先(简称BT-NT领域，值得关注的是中国近来在BT-NT领域也有显著的快速发展);日本在环境-纳米科技领域优势突出(简称ET-NT领域);中国在材料科学-纳米科技领域优势明显(简称MT-NT领域);韩国则在信息化-纳米科技领域最为强势(简称IT-NT领域)。李海元教授受访中　　采访后记　　采访交流不觉中持续到了下午五点，从战争年代出生，到美国求学，到归国回馈家乡，再到热爱的纳米科学事业、与OTFL中心26年的朝暮相处…浏览着一张张老照片，3个多小时，仿佛穿过Lee教授数十年与纳米科学之间的那些精彩瞬间。　　谈到即将从汉阳大学退休，亲手创建的OTFL中心即将关闭，“您可以生活稍微放慢一点节奏，放松一下了”，“不，今年我已经为新的事业做了一些准备，预计在10月份开一家公司，虽然不容易，但希望能结合以往纳米科学研究成果做出一些有意义的产品出来”。这位热爱纳米科学的Lee教授的脚步还未停下来，他与纳米科学的故事还在继续。　　附：李海元教授简介　　Prof. HAIWON LEE　　李海元 教授　　1954年7月7日 出生于韩国首尔市　　学历　　1973-1980 西江大学化学系(学士)，韩国　　1981-1985 休斯顿大学化学系(博士)，美国　　职历　　2018年至今 韩国国家工程院成员院士(Member, The National Academy of Engineering of Korea)　　2017年-2018年 韩国化学技术研究所兼职教授(KRICT)　　2015年-2017年 韩国科学技术研究院教授(KIST)　　2014年至今 科学和信息通信技术部(MSIT)国际合作促进委员会主席　　2014年-2016年 韩国纳米技术研究会会长　　2011年-2014年 导师，韩国领导指导网络，韩国学生援助基金会　　2012年至今 韩国亚洲研究网络主席　　2012年-2015年 亚洲纳米论坛财务主管　　2011年-2014年 韩国纳米技术研究会执行副主席　　2011年-2017年 韩国国家工程院候选成员　　2011年至今 Park Systems总监　　2009年-2012年 国家荣誉计划主任　　2009年-2010年 《Journal of Nanoparticle Research》副主编　　2008年至今 汉阳大学HYU杰出教授　　2008年-2010年 汉阳大学融合技术中心主任　　2008年-2010年 汉阳大学自然科学学院院长　　2008年-2010年 德克萨斯大学达拉斯分校化学系兼职教授　　2006年至今 亚洲研究网络项目主任　　2006年-2008年 汉阳大学大学研究院院长　　2006年-2008年 汉阳大学产学合作基金会主席　　2004年-2012年 汉阳大学纳米科学与技术研究所所长　　2003年-2005年 汉阳大学纳米技术项目主任　　2002年-2003年 美国宾夕法尼亚州立大学客座教授　　2000年-2007年 前沿研究系统，研究顾问;日本物理和化学研究所(RIKEN)　　1997年 德国Max-Planck高分子研究所客座教授　　1996年 日本物理和化学研究所(RIKEN)前沿研究员　　1993年至今 汉阳大学化学系教授　　1988年-1993年 韩国化学技术研究所(KRICT)先进材料部首席研究员　　1986年至1988年 美国德克萨斯大学奥斯汀分校化学系研究员　　获奖与荣誉　　2019年 韩国纳米技术研究会表彰　　2016年 Doyak奖章，韩国政府的科学技术勋章　　2008年 汉阳大学HYU杰出教授奖　　2005/2010年 优秀奖，NANOKOREA组委会　　2004年 汉阳大学Paiknam学术奖　　2001/2007 汉阳大学杰出教授奖　　学术活动　　2016年-2018年《Nano Convergence Journal》主编　　2014年至今 亚洲科技创新论坛主席　　2011年至今 韩国国家工程院国际合作委员会委员　　2010年-2015年 韩国-印度联合研讨会主席　　2010年 研讨会项目主席，IEEE NANO 2010　　2007年至今 德克萨斯州-韩国纳米技术研讨会联合主席　　2007年 “2007年SPM，传感器和纳米结构”大会主席　　2003年-2004年 研讨会项目主席，NANO KOREA 2003,2004　　2011年-2015年 NANO KOREA研讨会主席　　2004年 至今 联合主席，亚洲研究网络研讨会　　2002年至2013年 AsiaNano会议联合主席　　2002年 第一届美韩纳米加工研讨会大会主席

中国国际纳米科学技术会议(ChinaNANO)已经成为国际纳米科技交流的一个重要平台，收到国内外科学家的广泛关注。在科技部，教育部，基金委和科学院的大力支持下，已经成功举办了七次会议，即ChinaNANO 2005, ChinaNANO 2007, ChinaNANO 2009, ChinaNANO 2011, ChinaNANO 2013, ChinaNANO 2015, ChinaNANO 2017, 在国内外学术界引起了较大的反响。ChinaNANO已经发展成为纳米科学技术领域的里程碑品牌会议，成为中日韩等亚洲科学家所代表的国际学术界相互交流沟通的桥梁。  Park自1989年起只致力于发明制造高分辨率，高品质的易用型原子力显微镜(AFM), 本次会议Park将在展位为广大用户展出Park NX10机台，诚邀各位老师研究者们到205,206展位参观讨论。* 会议日期：2019年8月17日（周六）-8月19日（周一）* 会议地点： 北京国际会议中心 （北京市朝阳区北辰东路8号院）* Park展位：205,206Park NX10原子力显微镜机台Chinanano 3D展位

　　仪器信息网讯 2019年8月5-6日，由天津大学颗粒与纳米系统国际研究中心(TICNN)主办的津京冀纳米科学青年科学家论坛(NSSC 2019)在天津大学如期召开。会议邀请到多名石墨烯、器件相关领域世界顶尖科学家与国内青年科学家，大家齐聚一堂，不分国界，共同探讨石墨烯等二维材料合成、制备以及相关电子学器件的研发、物理机制及纳米技术的前沿科学问题和未来发展方向。论坛现场　　天津大学颗粒与纳米系统国际研究中心的本次论坛活动，得到多位顶尖科学家参加，包括美国佐治亚理工学院董事教授、美国国家工程院院士、中国工程院外籍院士、香港科学院创院院士，被业界广泛誉为“现代半导体封装之父”的汪正平教授;美国佐治亚理工学院董事会教授、石墨烯电子学的开拓者和奠基人Walter A. de Heer教授等。天津大学纳米中心执行主任马雷教授主持会议美国佐治亚理工学院董事教授汪正平演讲题目：Composition Tuned Hybrid Perovskites: From Materials Engineering & Device Design for Efficient,Stable Perovskite Solar Cells　　钙钛矿太阳能电池组成包括钙钛矿结构化合物等。钙钛矿材料如甲基铵卤化铅和全无机铯铅卤化物，生产成本低，制造简单。　　(1)在传统的顺序沉积中，致密的PbI2薄膜可能阻碍MAI溶液在整个PbI2薄膜上的扩散，从而导致钙钛矿和TiO2之间界面中未反应的PbI2残留。为解决PbI2残留问题，汪正平团队开发了一种合成多孔PbI2薄膜的新方法。从PbAc2和MAI的前体开始，摩尔比1：2，在加热条件下释放热不稳定的CH3NH3(CH3COO)，从而由于体积收缩而在PbI2膜中产生孔隙。加载MAI溶液后，p-PbI2将改善PbI2向钙钛矿的转化。　　(2)另外，spiro会引起不稳定，也是这种器件结构中最昂贵的材料。研究人员已经做出一些努力来开发新的HTL来代替spiro，它主要分为两类：合成更新的有机材料和开发低成本的无机材料。然而，复杂的合成过程可能阻碍有机材料的大规模生产。另一方面，含有PbS和CuI HTL的PSC存在低效率的问题，并且CuSCN可以与钙钛矿反应。在这方面，汪正平团队提出一种替代的p型材料：NiO。低温溶液处理的NiOx HTL可以显着提高整个器件的稳定性。天津大学颗粒与纳米系统国际研究中心、美国佐治亚理工学院董事会教授Walter A. de Heer 演讲题目：Epigraphene for Graphene Based Nanoelectronics　　外延石墨烯，其研究的主要原因是外延石墨烯有望在一些关键领域(速度、能源效率和器件密度)成功替代硅电子技术。高目标的定位向世界上最先进的技术提出了挑战，显然需要很长的时间才能实现。从一开始，佐治亚理工学院的石墨烯项目(在石墨烯剥离之前的几年)的开拓性工作就专注于这一目标，并取得了系列成功。它是唯一符合可行纳米电子平台最基本要求的石墨烯电子平台：它必须基于单晶衬底，并且工艺必须是可扩展的。这些条件是超高规模集成和再现性所必需的，正如过去70年硅电子产品奇迹般的发展所表明的那样。　　事实上，外延的缺乏最终导致剥落的纳米图案器件是绝缘体，而外延石墨烯纳米结构可以在微米尺度上弹射，即使边缘在结晶学上不完美。报告中，佐治亚理工学院Walter A. de Heer团队，与天津大学颗粒与纳米系统国际研究中心马雷团队合作，在SiC的非极性面上的外延石墨烯的发展，其具有与在碳化硅中蚀刻的沟槽的侧壁上生长的石墨烯纳米带非常类似的边缘状态传输特性。电子传输由单通道边缘状态支配，平均自由程超过15μm，是石墨烯层的约1000倍。观察到涉及边缘态的异常量子霍尔效应。同时，天津大学颗粒与纳米系统国际研究中心的石墨烯小组，在近期已经实现了从碳化硅晶柱到300微米晶体的全套工艺流程。　　非极性外延石墨烯平台允许相互连接的纳米结构按照传统模式形成一维网络。在低温下，法布里 - 珀罗振荡明显，表明在很大距离上的相位相干性可以用于未来互连的相位相干器件。尽管传输的物理性质尚未完全了解，但很明显，这一发现为非传统石墨烯纳米电子技术提供了一条独特而可行的途径。天津大学李小英教授演讲题目：SU(1,1) nonlinear interferometer and its Application　　近年来，一种新型的非线性干涉仪(NLI)引起了人们的广泛关注。与传统干涉仪不同，NLI利用光参量放大器进行波的分裂和组合。结果表明，NLIs在许多方面都优于传统干涉仪。特别地，非线性光学过程对波混合的参与允许不同类型的波的相干叠加。这种混合方式是传统干涉仪无法实现的，传统干涉仪的相干组合依赖于线性分束器。李小英介绍NLIs在原子自旋波、光波、声波等各种波中的性质，以及在量子计量、量子信息和量子态工程中的应用。奥地利约翰开普勒大学孙立东副教授演讲题目：Real Time Monitoring of the Growth of Nano-Structures　　差示光谱学是一种用于探测表面和界面结构的通用技术。相比传统表面分析技术，这种技术具有表面敏感、非破坏性、不受真空条件的限制等优势。因此，这些方法非常适合于各种环境条件下的地表过程的原位研究。报告中，孙立东讨论了差示光谱学技术在监测和精确控制包括金属团簇、有机薄膜和二维过渡金属双卤代烷在内的纳米结构中的应用。最后，还介绍了荧光显微镜作为实时监测有机薄膜生长的原位探针的新应用。韩国帕克原子力显微镜副总裁Sang-Joon Cho 演讲题目：Non-contact AFM with Self-Optimizing and Pinpoint Scan Control for Quantitative Nano-Metrology　　与光镜、电镜等显微镜相比，原子力显微镜(AFM)测量绝对尺寸时缺乏准确性和重复性、操作参数设置的复杂等限制了其被广泛采用。然而，由于研究和表征创新纳米材料的强烈需求，AFM分析的重要性日益增加。非接触模式AFM，采用前馈算法、Hann函数和双伺服系统，提高了x-y扫描的精度，保持了尖锐的尖端，针对非接触模式的扫描参数，帕克原子力显微镜开发了自优化算法，很大限度地减小了用户技能变化和用户对AFM测量的影响。此外，精确扫描控制可最大限度地减少磁性和电气测量的地形影响，并有助于定量表征纳米材料。Sang-Joon Cho在报告中演示了生物材料的定量纳米力学映射，以及半导体和光伏材料的纳米电子映射。表明，AFM的定量分析为控制材料各方面的发展开辟了新的途径，有助于提高效率、降低失效和成本。复旦大学包文中教授演讲题目：Wafer-Scale Devices and Circuits Based on 2D Transition Metal Dichalcogenides　　广泛研究的TMDs材料，如MoS2和WSe2，由于其二维特性和良好的电子输运特性，可通过大规模的合成方法获得，非常稳定，并具有优越的门控性能，显示了数字和射频电子的光明前景。报告中，包文中首先介绍了大规模控制合成MoS2, MoTe2和PtSe2的各种方法，以及为实际电子应用实现晶片级，均匀和高质量连续薄膜必须克服的主要障碍。并重点讨论了晶圆级TMD薄膜的兼容器件制造工艺，主要是关于场效应晶体管的电接触层和介电层的形成。日本产业技术综合研究所前副所长Kiyoshi Yokogawa 演讲题目：Application of SPM for Surface Science　　由于利用扫描探针显微技术(SPM)在原子尺度上表征表面结构的创新工作，Bennig和Rohrer于1986年获得诺贝尔物理学奖。该方法为纳米技术的建立奠定了基础。Kiyoshi Yokogawa介绍了其实验室利用SPM在表面科学中的应用：1)新碳——利用STM方法在大气中发现了由六边形和五边形组成的热处理富勒烯碳五边形，并发现了碳的新表面相石墨的环状上层结构;2)特高压下金属表面清洁——通过UHV-STM观察到Nb的1x1结构，即干净的表面，只有这样才能制造出干净的表面，因为Nb是非常活跃的氧或氢的金属。在清洁表面后，喷射氢气，观察气体对表面的影响;3) MFM的金属相——应变诱发的马氏体是HE形成的原因，但在电镜下不易识别，因此使用MFM对该相进行观察，发现双晶界处形成了马氏体，从而引起HE。日本丰田工业大学Masamichi Yoshimura教授演讲题目：Alcohol Assisted Thermal Reduction of Graphene Oxide　　通过还原氧化石墨烯(GO)制备石墨烯是一个快速发展的研究领域，因为它能够大量生产石墨烯以用于广泛的应用。然而，由于GO的固有缺陷，利用GO制备原始石墨烯类材料仍然有许多挑战。到目前为止，有很多相关克服挑战的研究工作，如在非常高的温度下退火(约1800摄氏度)，或在外部碳源存在下还原等。Masamichi Yoshimura介绍了在醇存在下GO(通过改进的Hummers方法合成)的退火导致石墨烯，或更精确地恢复还原的氧化石墨烯(RGO)，具有改善的电性质。南开大学何明教授演讲题目：High Temperature Superconducting Microwave Devices and Systems　　高温超导器件和系统具有插入损耗低、噪声低、选择性高等优点，具有较高的灵敏度和抗干扰性能。它们在无线通信、国家安全、医学、材料科学、卫星通信等诸多领域有着广泛的应用。目前，高温超导微波接收机前端子系统已成功应用于深空探测、卫星通信、雷达系统等领域。何明介绍了薄层超导薄膜、高温超导滤波器及其在微波系统中的应用进展。还分享了高温超导微波系统的小型化及单芯片集成技术等。云南大学杨鹏教授演讲题目：Few Layered PtS 2 and its Properties　　近年来，MoS2和WS2(Group 6)等层状过渡金属二卤代烃(TMDs)的研究取得了很大的进展。然而，对于属于其他TMDs的研究却很少。杨鹏报告中介绍到，采用化学气相沉积法制备了大面积少层析的pt2(Group 10)。然后分别用原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱(Raman)、极化拉曼光谱(偏振拉曼光谱)、光致发光(PL)、场效应晶体管(FET)和范德堡(van der Pauw)等方法对这些层数较少的PtS 2进行了表征。结果表明，pt2具有很高的载流子迁移率和温度依赖性拉曼光谱，在先进的光电器件中具有潜在的应用前景。（实验过程，得到天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心相关表征设备的协助）　　天津大学孙志祥副教授　　演讲题目：Nanoscale Defect Effects in Sr2IrO4 Probed by Low-Temperature Scanning Tunneling Microscopy　　Sr2IrO4作为莫特绝缘体与铜酸盐的母体化合物具有许多相似之处。有许多预测认为适当掺杂可能会产生高温超导相。然而，缺陷/掺杂诱导绝缘子向金属过渡(IMT)的机理还有待进一步研究。报告中，孙志祥介绍了利用低温扫描隧道显微镜针对Sr2IrO4的相关研究，利用原子分辨表面形貌，识别出不同类型的内在表面缺陷。在隧穿光谱中还观察到电荷转移行为。同时，通过比较其他类似化合物的结果，也讨论了IMT的一般机理。首都师范大学王贺演讲题目：Ferromagnetic Tip Induced Unconventional Superconductivity in Weyl Semimetal　　王贺于2016年在北京大学获得博士学位，随后在天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心马雷教授团队进行博士后工作，2018年加入首都师范大学。本次报告内容主要介绍了其博士和博士后期间的相关研究内容。外尔半金属表面诱导超导性为研究拓扑超导性提供了一个很有前途的平台，这是目前凝聚态物理研究的一个热点。通过实验发现，在TaAs单晶中，铁磁尖的硬点接触法可以诱导非常规的超导性。铁磁尖诱导超导态的磁输运测量显示出量子振荡，揭示了点接触的拓扑性质，并显示出铁磁与诱导超导态的相容性。进一步证明显示，铁磁尖诱导的超导态隧穿输运的点接触谱可以用拓扑超导机制来解释。考虑到新型超导电性外尔半金属材料在实验中难以实现，研究结果为通过硬点接触法将拓扑半金属材料与铁磁性材料结合起来研究非常规超导电性提供了一条新的途径。帕克原子力显微镜美国分部总裁Keibock Lee 　　Keibock Lee简单分享了帕克原子力显微镜公司“Enable nanoscle advances for the betterment of our world”的愿景，公益基金方面，除了Park AFM Scholarships奖学金，还透露即将面向年轻教授推出Startup Professorship Award。会上讨论　　继会议首日13个精彩报告后，会议第二日，接着进行了16个主题报告，继续就石墨烯等二维材料合成、制备以及相关电子学器件等纳米科学问题进行了进一步讨论。　　本次会议，由于正值天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心(以下简称：TICNN)全面运行一周年之际。于是，会议间隙，在马雷老师的讲解下，与会者共同参观了纳米中心，切身体会到纳米中心一年来的建设成果。纳米中心参观花絮一　　天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心由天津大学于2015年10月批准建立，次年，马雷教授回国全身心投入到中心的建设。2018 年 7 月 22 日，TICNN正式全面运行。与传统研究中心不同，天津大学纳米中心在整个创建过程中，实现了诸多原创性仪器设备的搭建，并形成一系列自主知识产权。中心目标为力求建设成为世界一流的石墨烯电子学、团簇物理学和柔性电子学的国际化研究平台。三个主要研究方向分别为外延石墨烯电子学，团簇物理学，先进功能性碳材料及柔性可穿戴电子学。　　在短短一年时间里，在马雷老师的带领及其团队的共同努力下，纳米中心现已建设成为功能日益完善的国际化研究中心，纳米中心各类大型实验设备的调试安装已经进入尾声，在为校内外科研同行提供了丰富便捷的公共测试服务的同时，实现了设备仪器与技术工艺的全面共享。其次，纳米中心自主设计并建造了 3 套自由团簇研究系统用以深入系统地研究自由团簇的电子结构、高激发态寿命及其内壳层的电子结构......　　更多关于“天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心”的建立背景、快速发展现状，请点击以下视频全面了解：纳米中心参观花絮二Coffee Break 合影留念

2019 NanoScientific Symposium China津京冀纳米科技青年科学家论坛2019年津京冀纳米科技青年科学家论坛（NSSC2019）将于2019年8月5-6日在天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心（TICNN）举行。中心的主要研究方向为解决后莫尔时代电子学器件和材料问题的外延石墨烯基电子学器件的研发和相关物理的研究、自由空间中纳米颗粒电子结构演化机理研究以及相关仪器设备和测量方法的研究、纳米系统的物理化学性质研究。本次论坛将邀请国内的青年专家学者，聚焦石墨烯等二维材料，利用扫描探针显微镜（SPM）等最先进的研究手段，深入探讨石墨烯等二维材料合成、制备以及相关电子学器件的研发、物理机制及纳米技术的前沿科学问题和未来发展方向。大会日期：2019年8月5日-6日大会地点：天津大学，天津市南开区卫津路92号，天津大学第二十教学楼西配楼大会报告人Walter A. de Heer乔治亚理工学院物理学教授，天津大学纳米颗粒与纳米系统国际研究中心主任，世界石墨烯电子学奠基人和开拓者，荷兰著名物理学家、纳米科学研究者，因发现金属团簇的电子壳结构、过渡金属团簇中的磁性、碳纳米管中的场发射和弹道传导以及石墨烯电子学而闻名。被评为“科学美国人50强”之一，他在石墨烯晶体管方面的工作被《技术评论》评为2008年“最有可能改变我们生活方式”的十大新兴技术之一。2009年9月被授予ACSIN纳米科学奖。H因子是71.C.P. Wong 汪正平美国国家工程院院士、中国工程院外籍院士、香港科学院创院院士、香港中文大学工程学院院长及卓敏电子工程学讲座教授。在封装材料领域已发表学术论文1000多篇，申请美国专利60余项，被IEEE授予电子封装领域最高荣誉奖——IEEE元件、封装和制造技术奖。以第一作者和通讯作者共发表研究论文1000余篇（其中SCI收录论文335篇，EI收录625篇），其中包括发表于Science（科学）文章2篇，Journal of the American Chemical Society（美国化学会志）文章5篇，Nano Letters （纳米快报）文章6篇，以及发表于ACS Nano（ACS纳米）、Advanced Materials（先进材料）等电子材料领域顶级期刊论文多篇。撰写了《Polymers for Electronic and Photonic Applications》（美国高校常用的材料和电子专业教科书）、《Electronic Packaging, Design, Materials, Process and Reliability》等12本学术专著，其中的多部著作已被翻译成中文在中国国内出版。分会报告胡名列天津大学周期量级光纤飞秒激光及其应用包文中复旦大学Wafer-scale devices and circuits based on 2D transition metal dichalcogenides向东南开大学Atomic switches and anstrom gaps controlled by light张文凯北京师范大学超快激光和X射线光谱及其应用杨天新天津大学利用窄带缝隙双层石墨烯实现THz波无粒子数反转光放大的新方法李志青天津大学Hopping conductance and macroscopic quantum tunneling effect in Pbx(SiO2)1-x nanogranular films李荣金天津大学2D Molecular Crystals: Rational Molecular Design, Controllable Self-Assembly, and Unique Optoelectronic Properties米文博天津大学专家报告王德强中科院CAS专家报告吴孝松北京大学专家报告王培杰首都师范大学专家报告李志鹏北京师范大学专家报告惠飞以色列理工学院基于SPM技术的二维材料表征王贺首都师范大学专家报告李小英天津大学专家报告于曦天津大学专家报告何明南开大学专家报告侯峰天津大学专家报告如有任何问题，请与会务组联系纪梅：mei.ji@tju.edu.cn马丽娜: linama@parksystems.com

　　仪器信息网讯 2019年7月10日，由中国物理学会半导体物理专业委员会主办的第二十二届全国半导体物理学术会议(SPC2019)在杭州第一世界大酒店盛大开幕。朱邦芬院士、黄如院士、杜瑞瑞教授、段镶锋教授、熊启华教授、彭笑刚教授、陆卫教授、陆朝阳教授等业界知名学者莅临大会并作大会特邀报告，大会同时吸引半导体物理学领域逾千名专家学者同聚杭州，共议半导体物理学国际重大前沿领域的发展动向。会议签名墙　　全国半导体物理学术会议最早由已故世界著名物理学家、国家最高科学技术奖获奖者黄昆院士于1978年倡导召开，每两年举行一次(奇数年召开)，与两年一次的国际半导体物理会议(偶数年召开)交错进行。会议宗旨是促进国内半导体物理研究领域的学术交流，把握国际重大前沿领域的发展动向，提升国内半导体物理及相关学科的国际影响力。大会现场　　本届会议由浙江大学物理学系和浙江大学硅材料国家重点实验室承办。会议将由9个特邀大会报告以及九大主题分会场的分会报告组成，同时，本届会议期间，还将公布2017-2018年度黄昆物理学奖(两年一度)的获奖人，获奖学者将就获奖工作做专题报告。　　大会首日上午，首先进行了大会开幕式和大会报告上半部分的5个大会邀请报告。浙江大学物理系吴惠桢教授主持大会浙江大学副校长严建华致辞大会主席中国科学院院士杨德仁致辞大会报告人：中国科学院院士 清华大学物理系 朱邦芬报告题目：一个大写的人和中国固体物理的奠基人——纪念黄昆先生百年诞辰　　报告中，朱邦芬谈到自己与黄昆先生在一个办公室研究达15年之久，每天都跟他讨论问题，无拘无束，有幸成为世上受他教诲最多的一个人。黄昆先生离开我们已有 14 年了，离开越久，越感到他人格的伟大，越觉得他做事站在全国的高度而不是从本单位本领域出发精神的可贵，越思念他一生奋战在教学和科研第一线的大师风范及科学精神，这些都是我国当前最欠缺和急需的。随之，朱邦芬与大家共同追忆了黄昆先生如何做人、做事、做学问，并期待他的大师风范为更多的年青一代半导体物理和技术专家学习继承。大会报告人：中国科学院院士 北京大学 黄如报告题目：后摩尔时代微电子技术发展——探索与思考　　随着微电子技术和信息系统的飞速发展，后摩尔时代算力瓶颈问题日渐突出，系统面临着功耗墙、存储墙等关键难题，报告中黄如分享讨论了后摩尔时代面临的核心技术挑战，接着对不同算力需求下的微电子器件技术发展进行探讨，并展望了适于算存融合范式的新器件技术。大会报告人：美国加州大学洛杉矶分校段镶峰教授报告题目：Van der Waals Integration a New Pathway to Artificial Heterostructures and High Performance Devices　　不同材料的异构集成是材料科学界的长期追求，为现代电子学和光电子学奠定了物质基础。典型的材料集成策略(例如化学外延生长)通常涉及强化学键，并且通常限于具有严格的结构匹配和处理兼容性的材料。报告中，段镶峰介绍了范德瓦尔斯集成作为一种通用材料集成策略，用于创建具有最小集成引起的损伤和界面状态的各种异质结构，从而使用传统难以实现的“化学集成”方法实现高性能。近来亮点工作包括形成没有费米能级钉扎以达到肖特基-莫特极限的范德华金属/半导体触点，用于高性能大面积电子设备新型薄膜的开发。并且创建了一类新的范德瓦尔斯二维超晶格，每层具有完全不同的层，同时具有原子精度等。最后，段镶峰展望了这种异构结构的潜力，以逐渐接近物理极限，使设备具有前所未有的性能或现有材料无法达到的全新功能，以及相关的挑战。大会报告人：浙江大学化学系 彭笑刚教授报告题目：溶液半导体纳米晶：激发态合成控制与应用　　溶液半导体纳米晶是在溶液中合成与加工的纳米尺寸无机半导体单晶。如果半导体纳米晶尺寸在半导体激子半径范围内，那么纳米晶将表现出尺寸相关的光学、电学、化学特性，因而得名为溶液量子点(Colloidal Quantum Dots)。由于它们尺寸相关的光学性质、高发光纯度、高化学与光化学稳定性、溶液加工性，溶液半导体纳米晶可能是人类至今为止发现的最优秀发光材料和光电材料。彭笑刚报告中介绍到，溶液半导体纳米晶已经被研究了40余年，但它们潜在的应有价值直到最近才部分得以实现。与体相晶体不同，溶液半导体纳米晶拥有大量的表面。大量表面的存在，是溶液量子点灵活性的基础，但也会带来大量的表面电子态。接着为绕发光和光电材料的核心——激发态，进行了一系列相关讨论，如：怎样把合成化学与激发态性质紧密结合?有可能结合吗?激发态合成化学意味着怎样的基础研究机会?激发态合成化学与应用关系如何?大会报告人：帕克原子力显微镜(Park Systems)创始人&CEO Sang-il Park博士报告题目：Advanced Atomic Force Microscopy for Semiconductor Metrology　　Sang-il Park博士在报告中讲到，在人类科学进入纳米级研究和开发世界背景下，原子力显微镜(AFM)已被广泛使用，因为它可以在多种类型样品和多种环境条件下提供纳米级的各种物理性质参数。随着近来AFM自动化技术的发展，AFM的应用正在扩展延伸至硬盘制造、半导体工业等工业领域。特别是由于半导体器件尺寸的减小及其对器件性能的直接影响，微、纳米结构的精确测量和分析正成为一个极其重要的问题。此外，用于微观结构测量的设备(CD-SEM、TEM、OCD等)的局限性也在不断增加(如分辨率限制、试样制备和测量造成的试样损伤等)。为克服这些挑战， AFM的无损纳米结构测量和广泛利用的能力正在引起关注，并正在成为下一代在线测量解决方案之一。接着分享了帕克原子力显微镜根据这些需求开发的一系列半导体AFM解决方案，以及相应的关键AFM技术，也介绍了一些半导体计量成功案例。同时透露，测量高分辨率3D AFM计量的新应用也正在探索中，且半导体行业也正在开发一种新协议，以提高产量和器件性能。各分会场掠影　　同天下午，九个主题分会场报告同时上演，来自全国各地的半导体物理学专家们在各个会场纷纷进行了现场报告及互动交流。更多会议后续内容，请关注仪器信息网后续报道。展商一角会场合影

  全国半导体物理学术会议是由中国物理学会半导体物理专业委员会主办的全国性会议，最早由已故世界著名物理学家、国家最高科学技术奖获奖者黄昆院士于1978年倡导召开，每两年举行一次（奇数年召开），与两年一次的国际半导体物理会议（偶数年召开）交错进行。  会议宗旨是促进国内半导体物理研究领域的学术交流，把握国际重大前沿领域的发展动向，提升国内半导体物理及相关学科的国际影响力。帕克原子力显微镜的品牌创始人及CEO Sang-il Park博士受邀在大会开幕式当天参加这次物理学术会议的大会报告。Park博士的报告主题为“Advanced Atomic Force Microscopy for Semiconductor Metrology“日期 : 7月10日-12日 （周三-周五）时间: 8:30-18:00 地点 : 杭州市萧山区湘湖路92号，杭州第一世界大酒店帕克原子力显微镜展位：A1SPC 2019的介绍:本届会议由浙江大学物理学系和浙江大学硅材料国家重点实验室承办，将于2019年7月9 ~ 12日在杭州第一世界大酒店召开。朱邦芬院士、黄如院士、杜瑞瑞教授、段镶锋教授、熊启华教授、彭笑刚教授、陆卫教授、陆朝阳教授等知名学者将莅临本届会议并作大会特邀报告。本届会议期间，还将公布2017-2018年度黄昆物理学奖（两年一度）的获奖人，获奖学者将就获奖工作做专题报告。会议地址 :http://www.spc2019.org/END欢迎关注Park帕克原子力显微镜

帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一，将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行，帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。                                              日期：2019年3月20日-22日地点：上海新国际博览中心（SNIEC）展位号：E7馆 7330帕克原子力显微镜与您相约Semicon China 2019Semicon China作为中国首要的半导体行业盛事之一，将于2019年3月20日到3月22日在上海新国际博览中心隆重举行，帕克原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。                                               日期：2019年3月20日-22日地点：上海新国际博览中心（SNIEC）展位号：E7馆 7330帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪，还可满足VCSEL的一些应用，可提供从2寸到4，6，8，12寸的全自动化测量！帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临！帕克原子力显微镜公司帕克的NX-Wafer不仅是可以用于高级5G器件设计的最佳原子力轮廓仪，还可满足VCSEL的一些应用，可提供从2寸到4，6，8，12寸的全自动化测量！帕克公司的应用专家们会在7330展位现场进行技术答疑。 恭候您的光临！帕克原子力显微镜公司

                                        郑 毅 浙江大学物理学系本次网络讲堂，报告人将和听众分享一下个人在Park AFM（XE 100和NX 10）使用上的一些心得和经验。报告人从2011年开始使用Park AFM作为主要的研究工具，在二维材料物性研究、光电器件性能表征、以及新奇低维物理现象探索上做了一些有趣的尝试[1-5]。目前报告人的实验室里，Park AFM也是非常重要的研究平台[6]。我们将通过这些具体的研究案例来介绍Park AFM的使用技巧和其出色的科研性能。[1]. Yi ZHENG et al., Phys. Rev. Lett. 114, 065501 (2015).[2]. Yi ZHENG et al., Angew. Chem. Int. Ed. 52, 8708-8712 (2013).[3]. Y. Wang, Yi ZHENG, et al., ACS Nano 5, 9927-9933 (2011).[4]. S. W. Tong, Y. Wang, Yi ZHENG, et al., Adv. Funct. Mater. 21, 4430-4435 (2011).[5]. C. L. Su et al., Nature Commun. 3, 1298 (2012).[6]. Z. Wang et al., Nature Commun. 9, 47 (2018).郑 毅 特聘百人研究员／青年千人。2000年和2003年获得浙江大学学士和硕士学位；2008年新加坡国立大学博士学位；2008年至2013年在新加坡国立大学做博士后研究人员；2014年在中组部青年千人计划资助下回浙大物理系工作。博士后期间，是石墨烯-铁电电子器件方向研究的创始人之一，其研究在非挥发性存储器件，透明电极，触摸屏以及低电压晶体管等方面均有潜在的应用前景。申请人在二维晶体及石墨烯-铁电电子器件研究领域发表高质量论文20多篇，论文他引数超过2500次。在石墨烯-铁电电子器件领域拥有发明专利16项，其中3项为国际专利。相关研究被科技媒体广泛报道，并且多次在国际会议上做邀请报告。   目前的研究领域：(1) 二维材料的物性与新型电子器件；(2) 强自旋－轨道耦合的拓扑量子材料。回国后，其研究小组已经在外尔半金属和类黑磷材料方向发表了两篇ESI高引用论文: Phys. Rev. B 93, 121112(R) (2016); ESI Highly Cited；Nature Communications 9, 47 (2018); ESI Highly Cited. 其指导的学生一人获得2011协同创新中心博士生英才奖学金二等奖，二人获得协同创新中心博士生入学奖一等奖。讲座时间：北京时间3月29日上午10:00-11:00 请扫描下方二维码进行报名 

　　原子力显微镜(atomic force microscope, AFM)是一种通过探针与被测样品之间的相互作用力来获得物质表面形貌信息的纳米级高分辨率的扫描探针显微镜。自1985年在美国斯坦福大学发明出首台AFM以来，30余年里，由于AFM具有前所未有的高空间分辨率，并且可以测量纳米级的多种物理性质，因此得到广泛使用。　　当下AFM全球3亿美元的市场份额相对SEM20亿美元的市场份额显得逊色，而作为亲历见证AFM的发展，并创建首个AFM商业化公司PSI的Sang-il, Park博士则十分看好AFM未来市场的增长，认为AFM的一些不足也在被新的技术逐一改善，更大AFM潜力市场只待大家发掘。帕克原子力显微镜创始人兼CEO Sang-il, Park博士　　2018年10月19日，亚洲地区重要的纳米学术会议“第九届亚洲纳米科学和纳米技术会议”(AsiaNANO 2018)在青岛隆重召开。作为大会特邀专家，帕克原子力显微镜(Park Systems)创始人兼CEO Sang-il, Park博士(以下简称‘Park博士’)在上午做大会报告。会间，仪器信息网编辑荣幸现场采访了Park博士，采访中，Park博士回顾并讲述了AFM的30余年发展历程，分享了时下AFM最新技术动向及未来展望，并谈论了对中国市场的看法。忆历史——AFM的30余年发展史&帕克原子力显微镜的前世今身AFM诞生地——美国斯坦福大学　　1985年， Gerd Binnig(IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)共同发明了原子力显微镜，并共同在1986年3月的“物理评论快报”上发表了该成果。此时，Park博士是Calvin Quate教授实验室的在读研究生，参与并见证了首台AFM的诞生。获得博士学位之后，Park博士意识到AFM技术的广泛应用潜力，并于1988年创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为世界上最初的商业化AFM公司在硅谷获得了巨大成功。同时，Calvin Quate教授作为PSI联合创始人之一，也是公司董事会成员。　　原子力显微镜的发明是量测技术和纳米刻蚀的一大突破，推动着纳米科学和技术的发展。为表彰此技术发明者作出的巨大贡献，被誉为第二诺贝尔奖的2016年卡夫利奖纳米科学奖颁发给了Gerd Binnig、Christoph Gerber和 Calvin Quate，上图为颁奖现场留念：Calvin Quate(中)，Park博士(左)。　　1997年，在美国已度过了15年后，Park博士认为是时候回到祖国了，于是，将正在良好发展的PSI出售给Thermo Spectra。回到韩国，Park博士创立了其第二家AFM公司——PSIA,开启自己第二职业生涯，也在四十岁实现了自己儿时的梦想。2007年，在公司10周年纪念日将公司名称正式更名为Park Systems，并一直沿用至今。首家AFM公司PSI(左)及之后韩国创立的Park Systems(右)　　2015年，帕克原子力显微镜成功在韩国证券交易所KOSDAQ上市。IPO也加速了其快速增长。2016年，在第8届KOSDAQ颁奖典礼上，帕克原子力显微镜荣获“最佳下一代公司奖”，表彰其悠久的历史、在纳米尺度上的贡献、在原子力显微镜领域的世界领先技术和产品，以及其坚实的商业表现。2015年，帕克原子力显微镜成功在韩国证券交易所KOSDAQ上市　　1999年，Topometrix也被Thermo Spetra收购，于是，Park Scientific和Topometrix合并成为Thermo Microscopes(原名Thermo Spetra)。另外，Veeco Metrology(Veeco计量业务)于1998年收购了Digital Instruments，紧接着2001年又收购了Thermo Microscope。如此，Veeco Metrology通过收购所有3家主要AFM公司，资本加持之下短时间内形成一家独大的垄断局面。 2010年，Veeco Metrology以2.29亿美元出售给布鲁克，就此尘埃落地。AFM部分商业品牌演化树状图谈当下——传统AFM技术局限&帕克原子力显微镜的系列技术革新　　成像/计量工具的本质为准确性、速度和易用性，而传统AFM在这三方面的表现似乎都不那么尽如人意。如管式扫描器常导致响应慢、图像失真;轻敲模式导致探针尖端磨损、样品损坏;众多参数设置、激光聚焦等繁琐操作更是被圈内人士所诟病，这些都严重影响了AFM的进一步应用拓展。　　Park博士表示：“我在AFM领域已经做了30余年，帕克原子力显微镜的漫长发展历程中，我们始终在践行最初的想法，就是为广大客户制造出最精确且极具易用性的AFM。针对传统AFM的一些不足，帕克原子力显微镜不断推出True Non-Contact™模式和众多自动化软件等创新产品功能。希望通过我们不断的努力，让AFM成为一个更加友好，任何人都可以操作的通用型成像/计量工具。”　　30余年的技术沉淀与20余年的再创业发展，帕克原子力显微镜始终专注AFM领域，并针对传统AFM的技术局限，开创出一系列AFM新产品、新技术，大大提升了传统AFM的分辨率、检测速度，及操作便捷性。　　革新技术之“三轴分离扫描器技术”　　传统的AFM采用压电扫描管进行x-y-z三轴的扫描，由于水平扫描是通过压电扫描管的弯曲运动来实现，势必会在x-y-z轴之间产生背景起伏和串扰。即使使用软件校正，总会有残留的背景起伏。管式扫描器与压电非线性和滞后相结合，产生明显的图像失真和测量精度下降。此外，管式扫描器是中空结构，壁薄，机械力弱，反应慢。传统压电扫描管(左)，帕克原子力显微镜三轴分离扫描器(右)　　针对传统管式扫描管的缺点，帕克原子力显微镜将AFM结构进行了重新设计，将x-y扫描器和z扫描器分离，两组独立的柔性扫描器分别移动样品和探针，两组扫描器都配置柔性铰链和大功率叠层压电驱动器。且全新z扫描器反馈频率达到9 kHz，比传统的管式扫描器快10倍。新型x-y扫描器对平滑的样品会有更明显的突出表现，当对光学平面成像时，在80*80微米区域的背景起伏小于1nm。闭环的x-y扫描器还具有出色的线性和正交性，提供无失真的图像。而快速z扫描器则为真正的非接触模式提供了可能。　　革新技术之“非接触模式”　　传统AFM压电陶瓷管垂直方向的反馈频率只有几百Hz，而垂直响应速度低会使探针不时接触到样品表面，甚至被黏在样品表面而无法进行振动。为了解决这个问题，出现了轻敲模式，使探针大幅振动，不断地敲击样品表面。但这种敲击的力比通常的接触力大很多，探针针尖容易磨损，极大降低了探针寿命，且样品表面也容易被损坏而影响测量结果。轻敲模式与非接触模式对比：扫描图像随扫描次数变化对比(左);多次扫描后探针尖端直径变化对比(右)　　而基于三轴分离扫描器技术，帕克原子力显微镜实现了真正的非接触模式，此模式下便显现出明显优势。上图呈现了CrN针尖检查样品的不同次数重复扫描图像及探针尖端直径变化曲线。可以看到，轻敲模式10次扫描后图像已经变得模糊，扫描探针尖端直径也在10到20次扫描后逐渐磨损，直径增加至10nm。而非接触模式在100次扫描后图像依旧清晰，且扫描探针尖端直径也始终保持在5nm。　　革新技术之“扫描速度与扫描分辨率两者优化处理技术”(鱼和熊掌不可兼得)　　扫描分辨率及扫描速度直接关乎AFM的性能和使用体验，也是广大用户关注的两项参数，但两者之间存在什么关系却鲜为人知。Park博士表示，这两者并没有像大家所愿望的那样可以兼得，而是此消彼长的关系。　　扫描速度的限制是受一种傅里叶变换函数关系决定的，扫描过快便会失去一些有意义的细节，获得图像分辨率就会降低。具体来讲，根据传感器响应速度瓶颈，标准悬臂极限为3Hz左右，高频悬臂为10Hz左右。因为为保证图像质量，探针每一行的往复扫描至少需要获取100个有意义的数据点。而扫描速度超过那个极限，获得的图像就会严重退化。　　更直接来讲，存在这样一个函数关系：扫描速度x斜率=增益x误差(与z轴伺服精度、各轴扫描速度、误差信号、对时间微分等有关，推导过程不再赘述)。即对于给定的样本斜率和优化增益，扫描速度与误差成正比。更快的扫描不可避免地增加z轴伺服误差!因此，扫描速度应该是有限的，以便误差信号不超过我们可以容忍的一定水平。　　基于以上理论，帕克原子力显微镜开发了一套智能的、拥有自适应能力的自适应扫描系统(Adaptive Scan)，以便根据用户对扫描速度或扫描分辨率的不同需求，更充分的发挥AFM在研究或生产中的效率。Adaptive Scan的工作原理如下：对于一个未知表面形貌的样品，第一次进行慢速扫描，获得表面信息并预估计算下一次相邻扫描的线轮廓(根据范德瓦耳斯力相互作用的共享区域效应，相邻两次扫描线的轮廓是比较相近的)，然后对预算的扫描轮廓曲线微分计算获得斜率，进而就可以再次根据“扫描速度x斜率=增益x误差”计算出下一次相邻扫描的扫描速度，从而智能控制扫描速度，进行“适应性扫描”。随之，在比较平坦的样品部位，扫描速度自动加快，在较粗糙的部位，扫描速度自动变慢。最终，用户需要做的就是只需在扫描速度与扫描分辨率中做好倾向选择，而不用设定或猜测真正的扫描速率是多少。如果只是看个大致就可以，则选择较高扫描速度来节省时间;如果你对图像质量要求更高，请选择高分辨率。基于通过这种比较智能的方法，帕克原子力显微镜也开发了一套软件系统“Park SmartScan”，三次鼠标点击即可得到一个完整的形貌图：首先找到目标感兴趣区域，然后设置需求的像素、扫描尺寸、精度/速度倾向选择，最后点击IMAGE出图。“Park SmartScan”操作视频演示：三步完成AFM智能测试观未来——帕克原子力显微镜之发展：稳定投资技术为更广市场做准备　　根据交易所数据，截至2018年9月30日，Park 原子力显微镜股票价格从IPO时的9000韩元上涨到43500韩元，上涨达4.8倍，预估市值2.6亿美元(这与当年布鲁克收购veeco时的2.29亿美元的收购价，也是一个有趣的对比)。据悉，2018年帕克原子力显微镜营收预计将超过4500万美元。　　同时，作为技术特例唯一一家在KOSDAQ上市的公司，帕克原子力显微镜获得了“AA”级的技术评分。Park博士表示：“获得AA级评价是对我们专利技术以及优秀专业人才的肯定，获得这项荣誉对于我们这种技术公司来说是非常荣誉的事情!公司上市以后，不仅在德国设立了欧洲法人，在北京，中国台湾，墨西哥，美国奥尔巴尼也都相继设立分公司和办事处，引进相关人才，在全世界建成紧密的营业网。公司上市以来，帕克原子力显微镜每年的营业额和利润率都呈飞速增长趋势。今后我们也会在符合市场发展需求的技术发展上多加努力并争取获得更多认可。”　　全球范围内，AFM品牌间的竞争日益激烈。对于此，Park博士认为，对创新技术的持续投入是企业发展的不竭动力。“面对竞争，我们始终把产品技术放在首位，通过稳定投资技术发展为未来市场做准备。为了技术的长久创新发展，帕克原子力显微镜全体员工中技术研发人员占到35%以上，同时，公司每年也会有不断增长的资金投入应用在技术研发上。产品技术方面，除了刚才介绍的一些针对传统AFM缺陷提出的三轴分离技术、非接触模式技术、Adaptive Scan等新技术，最近，我们也对PinPoint模式进行了全面升级，使得样品的物性和电性测量变得更加精确且方便。另外，为了拓宽AFM应用解决方案，帕克原子力显微镜也在基于AFM的本身优势，研究和开发AFM与其他检测设备装置的一些联用技术。”　　关于AFM的未来应用及发展潜力，Park博士认为：最初，AFM主要用于大学或者研究机构的基础研究中，在癌细胞，纳米光学，干细胞，聚合物，石墨烯和固体物理等自然科学领域的研究中都取得了非常不错的成果，并被许多优秀论文广泛引用。随着纳米技术的进步，对AFM的需求也持续增加，将来，不仅仅在材料，化学，生命科学和制药领域，在半导体等工业领域以及各种跨领域研究中也会逐渐应用到AFM。同时，帕克原子力显微镜顺应时下对AFM增长的新需求，不断针对科学研究及工业生产等开发出不同针对性AFM新产品及新技术。比如，在半导体领域，全球范围内都在为研发出更小更有效率的半导体元器件而激烈竞争，可以预想未来对细微工程和自动化装备的需求将逐年增长。帕克原子力显微镜针对这种需求，就可以提供工业型的NX-Wafer和NX-3DM等AFM型号及技术方案。　　在中国——帕克原子力显微镜市场拓展正加速　　笔者问及此次来到青岛的感受，Park博士谈到：“很开心参加这次中国纳米会，非常荣幸收到亚洲纳米2018主办方的邀请来进行大会开幕式主题报告演讲，青岛作为一个滨海城市，和韩国隔海相望，中国有句古话叫‘百闻不如一见’，两次访问中国，中国的发展速度让我惊艳。今天大会报告之后和中国各所高校的教授以及院士们谈话让我对中国纳米市场的未来更加充满期待，并且在这个场合还见到了许久未见的老友，非常开心。希望以后可以和各位院士教授们多多交流，并实时了解他们的研究需求，也希望帕克原子力显微镜可以为中国的纳米研究贡献出一份力量!”　　据悉，在中国市场，帕克原子力显微镜起初主要以代理商推广为主，并未大举着力进行品牌推广，公司的品牌认知度也并不如产品性能一样优质。如今，身处“酒香也怕巷子深”时代，加之中国市场需求的快速发展，近两年，帕克原子力显微镜逐渐将对中国市场的重视付之实际行动，今年在北京分公司的成立就足见帕克原子力显微镜对中国市场的重视。对此，Park博士表示：“众所周知，中国现在拥有世界数一数二的投资市场，无论半导体工业市场还是高校院所等研究机构的研究型市场都备受中国政府的关注，帕克原子力显微镜将与时俱进，跟进中国国情，进一步拓展与中国用户的深度合作，且目前帕克原子力显微镜已经在相关领域、一些著名高校及半导体工厂等开展了一系列相互的合作。”　　值得一提的是，最近受中国大规模半导体投资的影响，帕克原子力显微镜面向中国的AFM订单骤增，为满足中国市场迅速增加的需求，帕克原子力显微镜在2017年2月在台湾设立了代表办事处，2018年11月，帕克原子力显微镜北京分公司正式成立。同时，上海App lab (应用中心)预计也将在2018年成立。根据客户需求，也会逐步在华南等地区设立代表办事处等。　　采访后记　　回忆此次采访过程，更像是一次一对一的专家授课，从亲历历史的回顾、到AFM原理、到其内部结构布局及改进、再到未来发展，细微处也不乏傅里叶变换关系、微分函数的推导推演。倾听一位亲历并参与AFM发明及商业化专家的娓娓道来，何其荣幸，而Park博士对此则严谨表示，首先要真正了解AFM，这是采访的基础，也是整个交谈的背景。　　在采访结束，自由交流环节，对笔者提出关于对AFM和SEM市场容量差距的看法，Park博士认为，“相比SEM，AFM具有可以在气液固任何相、无需样品处理、获得3D信息、机械性能、电学热性能等优势。而目前SEM有更大的市场份额(20亿美元)，AFM(3亿美元)，这是因为AFM较低的效率(准确性、易操作性)。而这也正是我们帕克原子力显微镜要改变的，我们的目标是让AFM更高效，准确度更高、更快、操作更简便，让AFM市场进一步成长。大家都知道，赛默飞、日立高新、日本电子都是电镜界很大的集团公司，而帕克原子力显微镜有朝一日也将会成长为与他们一样规模的集团公司，这也是我创建帕克原子力显微镜公司的一个vision。”有朝一日，Park博士的“Vision”若将实现，那时，AFM将真正成为一款简易操作的通用工具。　　【附】：Park博士简历讲解中的Park博士　　Sang-il Park博士是Park Systems公司的创始人兼首席执行官，Park Systems公司自1997年创立以来一直是原子力显微镜(AFM)解决方案的领先制造商。目前，Park Systems有超过1000个AFM系统设备在30多个国家安装使用。早些时候，Park博士创立了Park Scientific Instruments，这是第一家原子力显微镜商业制造商，在1988年至1997年期间担任了9年的董事长兼首席执行官。在创立Park Scientific之前，他曾与Cal Quate教授合作(2016年Kavli奖获得者)在斯坦福大学担任研究生和研究助理。1981年Park博士获得首尔国立大学物理系博士学位，1987年在斯坦福大学获得博士学位。他还拥Stanford-AEA Executive Institute (Mini MBA)学位。Park博士的研究领域包括纳米技术、纳米计量学和扫描探针显微镜及其应用等。他在原子力显微镜领域撰写并与他人合作撰写了大量研究论文、教科书和20多项美国专利。　　Park博士获得了许多奖项。Park博士于2007年获得韩国国家工程院颁发的青年工程师奖，2009年获得Peter Drucker Society颁发的Peter Drucker创新奖，2010年和2012年分别获得韩国知识部颁发的十大新创新奖和工业纳米技术奖。分别于2011年和2014年，被韩国重要日报《东亚日报》评选为“未来10年最具影响力的100名韩国人”。最近，Park System Corp.获得了Frost & Sullivan 2016全球授权技术领导奖。2014年至2015年，Park博士担任总统科技顾问委员会委员。2015年被提升为韩国国家工程院的高级会员。

仔细控制反馈力：高分辨原子力显微镜成像的物理原理，参数选择和优化  这届讲座是我们成像技巧和诀窍系列讲座的第一讲，参数选择的原理和优化技巧。 原子力显微镜在许多领域里有着广泛的应用，这是一种非常多样化的仪器， 和电子显微镜相比有着制备样品简易，对环境和保养要求不高的优点。但是很多原子力显微镜使用者都有这样的经历：当他们选用他们所熟悉的针尖和参数去研究一个未知的样品时，往往会遇到许多困难。仪器说明书并没有仔细描述如何对实验参数的优化。这期讲座我们将讨论原子力显微镜高分辨成像中最重要的参数的物理意义和参数系统性优化的步骤。 原子力显微镜利用针尖和样品之间的力作为反馈作用来成像。针尖和样品之间的作用力有范德华力，远程静电力和近程排斥力。利用对针尖和样品作用力梯度，我们可以选用不同的成像参数来控制针尖和样品之间在不同的力区间反馈。我们可以控制的这些参数包括驱动电压，驱动频率，反馈设定点。这届讲座我们将从物理和数学角度分析讨论参数选择和针尖作用力的关系，从而决定如何系统地选择参数来达到最好分辨率成像。徐  松  博士 帕克原子力显微镜徐松博士现任帕克原子力显微镜高级应用科学家。徐博士于1991毕业于中国科技大学近代化学系并获得学士学位，他在1999年毕业与美国底特律韦恩州立大学化学系并获得博士学位。 徐博士的论文研究方向为原子力显微镜在单分子自组膜形成机理的观察应用, 他在许多原子力显微镜的应用领域有着丰富的实践经验并发表了三十多篇论文并拥有多项专利。 有着二十年的原子力显微镜的应用研究经验。

2018年11月22日，全球知名原子力显微镜制造商——帕克科学仪器公司（下简称帕克）的北京分公司正式成立，开幕典礼在北京中关村皇冠假日酒店隆重举办。帕克全球销售总经理James Woo、大中华区总经理张家荣、帕克原子力显微镜研发组总负责人Sang-joon Cho博士等公司高层及R&D技术研发部专家们出席。活动还邀请了天津大学纳米颗粒与纳米系统国际研究中心马雷教授等帕克产品的资深用户做了应用报告，参会总人数近50人。开幕式现场帕克科学仪器公司市场部马丽娜主持James Woo致辞张家荣致辞James Woo和张家荣相继做了精彩的开幕致辞。帕克是一家专注于纳米显微镜和计量技术领域的原子力显微镜制造商，其产品在半导体、光电、LCD、LED、太阳能等化学、材料、物理、生命科学等行业领域应用广泛，并长期为研究人员和工业工程师们提供全自动的定制化产品，享誉卓著。公司总部设在韩国水原，美国总部设在加利福尼亚州的圣克拉拉，在德国、印度、新加坡、日本、中国台湾等地区都设立有子公司，经销商遍布世界各地。2018年是帕克开拓中国市场的重要一年，公司高层在致辞中强调，随着近三十年中国原子力显微镜市场的快速增长，帕克在中国市场天时、地利、人和三方面因缘俱足，正是直挂云帆之时。一方面，中国政府近来提倡科研多元化，给帕克的创新仪器带来了更多机遇；另一方面，随着近年来中国半导体等行业对欧美的敏感，具有地缘优势的帕克也进一步提升了中国市场竞争力。除此之外，中国用户在购买仪器时也更加看重严谨调研和自主选择，也让技术至上的帕克原子力显微镜有了更多展示的机遇。切蛋糕仪式Sang-joon Cho博士汇报马雷教授做应用报告首都师范大学曾卓老师做应用报告随着帕克公司四位高层领导共同切开印有帕克logo和主打原子力显微镜NX10的精美蛋糕，帕克科学仪器公司（下简称帕克）北京分公司正式成立。随后Sang-joon Cho博士汇报了帕克原子力显微镜（AFM）最新研发技术，马雷教授和曾卓老师作为用户代表，分享了帕克AFM在EPI-石墨烯、纳米表面结构等方面的应用研究报告。据了解，帕克在北京的办事处实际直营已超过两年，营业额逐年实现近10倍的增长，随着2018年公司在整个中国区注入了大量高精尖人才的新鲜血液，帕克在中国的销售、售后及服务基础已经准备完善，并形成了相当程度的客户认知度，选择这样的节点正式成立北京分公司，正是要为了更好地支援服务中国市场，并对中国主要科学实验室以及研究设施提供强有力支持。张家荣作《帕克原子力显微镜的独有优势》报告帕克高级技术专家谢佳哲做《基于AFM的最新PinPoint模式与SCIM-SECM》报告剪彩仪式帕克NX10 Live Demo培训帕克NX10原子力显微镜下午，在张家荣和谢佳哲的学术报告之后，参会用户来到了帕克北京分公司本部。参观了帕克北京分公司剪彩仪式，并参加了帕克NX10 原子力显微镜的Live Demo培训。明亮的光线与帕克工程师们的精彩讲解相映衬，让用户切身感受到了帕克在原子力显微镜领域的专业与活力。帕克的产品主要分工业界和学术界两条产品线。今年针对工业界的主推产品型号为NX-Wafer 原子力显微镜，针对学术界的主推产品型号正是NX10。活动的最后，张家荣接受了仪器信息网的简访，对帕克原子力显微镜进行了介绍。张家荣表示，帕克原子力显微镜的一大优势就是对误差极小化的追求。AFM由于扫描管变形、探针形状等基本技术机理原因，容易产生误差。而帕克原子力显微镜花了30年积累并改善由于仪器设计问题而产生的误差，力争用最短时间得到最好的测量结果，并且每一次测量都能得出最好结果。据张家荣介绍，探针力量的控制和带动探针的压电陶瓷管是AFM的两大核心技术，而帕克在这两方面的核心部件都是自主生产的。特别是压电陶瓷平板扫描器，可以针对半导体工业等领域用户的高需求，采用XYZ三轴独立设计，而且使用更线性的堆迭压电陶瓷(Stack Piezo)取代传统的管状压电陶瓷(Tube Piezo)，保证了仪器高解析度的准确成像和高水平的再现性、重复性。帕克原子力显微镜的第二大优势是多样性。张家荣告诉笔者，帕克AFM的样品台可以实现整个转动，因此可以测量样品的侧壁，这项特性在AI晶片等领域有重要的应用意义。另外，张家荣还表示，帕克非常愿意投入资源，去根据用户特征性需求开发仪器的多样性规格。“只要有实际意义，哪怕需求量不大，我们也愿意去为提升用户满意度投入最大程度的精力。”张家荣说。开幕式参会人员集体合影展望未来，张家荣强调，中国市场是帕克下一步大力投入的主战场之一，公司继续吸纳最专业的人才，深耕产业应用，广泛开展与高校研究院所的合作，共建联合实验室。追根溯源钻技术，因缘汇聚展宏图。北京分公司的成立是帕克公司2018年的重要里程碑，也是帕克公司“星辰大海”征程的全新起点。我们也期待在原子显微镜的中国未来，看到帕克更多的优异表现。

  世界领先的原子力显微镜制造商帕克股份有限公司将于2018年10月26日到10月28日参加由中国化工学会储能工程专业委员会和中国电机工程学会电力储能专业委员会主办的第五届全国储能科学与技术大会。帕克AFM致力于满足您的研究和行业应用需求，请加入我们并了解更多关于最新原子力显微镜解决方案的信息。大会日期:  20182018年10月26日（周五）- 2018年10月28日（周日）.场所: 中国·武汉·华中科技大学 关于全国储能科学与技术大会:  中国化工学会储能工程专委会的年会——“全国储能科学与技术大会”自2014年召开以来，以“促进储能科学与技术交流、推动基础研究与应用对接、提升储能科技创新能力、培养储能青年才俊”为宗旨，越来越得到学术界、工业界和政府的认可和支持，已经成为我国储能科学与技术领域学术性交流平台。在连续成功举办4届大会、3000余人次参会的基础上，中国化工学会储能工程专业委员会和中国电机工程学会电力储能专业委员会将联合举办第五届全国储能科学与技术大会，会议定于2018年10月26-28日在华中科技大学举行，届时将同时举办面向研究生和工程技术人员的“储能科学技术讲习班”，举行“青年储能科学家论坛”，发布“储能技术学科方向预测及技术路线图”项目最新研究成果及《储能科学与技术》高被引论文奖，并评选优秀墙报。

     世界领先的原子力显微镜制造商帕克股份有限公司将于2018年10月18日到10月21日参加由国家纳米中心科学中心举办的第九届亚洲纳米会。第九届亚洲纳米科学和纳米技术会议”（英文名称：Asian Conference on Nanoscience & Nanotechnology。缩写：AsiaNANO 2018）将于2018年10月18-21日（18日报到）在青岛红树林国际会议会展中心召开。AsiaNANO 2018是亚洲纳米科学与纳米技术大会系列会议中的第九届会议。 帕克公司的CEO兼创始人Sang-il, Park博士将作为大会报告人在10月19日上午十点四十五分进行关于“原子力显微镜及相关技术的最新进展”为主题的发言。park原子力显微镜致力于满足您的研究和行业应用需求，请加入我们并了解更多关于最新原子力显微镜解决方案的信息。大会日期: 2018年10月18日（周四）- 2018年10月21日（周日）地点: 中国青岛红树林国际会议中心帕克展位号: #5 关于第九届亚洲纳米科学和纳米技术会议 （AsiaNANO）:  AsiaNANO 2018是亚洲纳米科学与纳米技术大会系列会议中的第九届会议。该系列会议2002年在日本由刘忠范院士、Haiwon Lee教授、Masatsugu Shimomura教授发起，分别由中国、日本、韩国、新加坡等亚洲地区国家轮流主办，每两年举办一次，是亚洲地区重要的纳米学术会议。会议聚焦于纳米化学与纳米材料领域的创新与挑战，尤其致力于促进亚洲纳米科学与技术研究领域的创新与合作。历经六年等待，AsiaNANO 2018再次回到中国，本届会议由国家纳米科学中心、北京科技大学与中科院化学所共同承办，会议主席由国家纳米科学中心赵宇亮院士、北京科技大学张跃教授、中科院化学所李玉良院士担任。

Park Systems作为新兴纳米显微镜和计量技术的革新引领创新者，致力于为各个领域用户提供高精度易操作的测量工具，并被广泛运用于材料科学，电子技术，生命科学，纳米技术等研究和工业领域。帕克的产品遍及全球范围内最知名的研究所和企业。我们力求提供最精确、最便于操作的纳米显微镜来满足客户的需求。 ·         时间: 2018年7月22日-27日·         地点: 天津大学第二十教学楼西配楼、教职工文化活动中心·         主办方：天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际中心·         我们的位置: 展位A16 关于天津国际外延石墨烯论坛（TISEG） ：天津大学天津纳米颗粒与纳米系统国际研究中心（以下简称“纳米中心”），是2015年10月由天津大学批准成立的天津大学直属科研单位。作为天津大学倾力扶持的新型国际化教学与科研机构，纳米中心由美国佐治亚理工学院董事会教授、世界顶尖科学家、石墨烯电子学的开拓者和奠基人Walter A. de Heer教授领衔，依托天津大学深厚学术底蕴和多学科综合优势，着力于建设国际一流的高端科技人才培养和科学研究平台，打造国际化的学术创新环境和人才队伍。纳米中心拥有一支由来自6个国家的15名专家组成的科学研究团队，其中全职固定成员包括Walt A. de Heer 教授、马雷教授和Ramiro Moro教授，国际合作成员11名，能够为研究生培养和科研工作提供强有力的理论指导和技术支持。到目前为止，中心成员共发表43篇Science、66篇Nature本刊及系列期刊、159篇Physics Review Letters和超过100篇JACS等相关领域国际一流学术论文。天津国际外延石墨烯论坛TISEG1将会有20位发言人以及多大120名的参会者，届时石墨烯领域的国内外知名学者将齐聚一堂，共同探讨石墨烯纳米电子学的最新进展和科学发现，同时庆祝天津大学纳米中心的顺利建成！ 

日期和时间：6月28日 上午10点-11点整主讲人： 帕克公司资深售后服务工程师&应用专家，AFM从业经验>8年针尖-样品相互作用的力值量测 力-距离(F-D)曲线是一种分光镜检查技术，在Z轴扫描仪伸缩的同时，测量针尖与样品表面间的垂直相互作用。直接测量针尖与样品间的相互作用力时，对比悬臂偏转功能与压电扫描仪延伸，反映表面的力学性能。原子力显微镜包含各种各样的扫描模式可以到样品的形貌图或其他对应的特性分析图， 而这其中的力和距离曲线在表面科学，纳米技术，生物科学和许多其他研究领域中也扮演了非常重要角色。 在帕克的每一台设备的基本配置中都包含力和距离光谱分析。它不需要一些特殊的辅助模块进行操作，只是在探针和样品接触后分离的状态下，去获得相应点的力曲线。但是看似简单地操作， 却也涉及到了很多难点，想探针的选择，参数的设定，悬臂的校准等等。并且，液下力曲线，力曲线成像，更如PinPoint模式也都是这个领域的延伸。 而对于特殊材料进行力曲线分析，如细胞等，探针的改良也是一种保护样品不被破坏的途径，并能够让测量变成更容易的几何运算。它也是一种力曲线分析的难点之一。 这些信息都会在本次研讨会上进行讨论和分析。请参考友情链接，进入官网免费申请听取网络讲堂！

想成为下一个帕克AFM奖学金获得者吗?帕克AFM奖学金项目已开放到世界各个地区! 如果您是在纳米级研究领域中工作学习的学生或者博士后学者，请来帕克科学仪器有限公司申请最新的奖学金项目!奖学金获得者将会获得最高达500美元的奖学金奖励，凡是在纳米科学领域使用帕克原子力显微镜进行单独研究或者共同研究都可申请。奖学金金额将由陪审团评估，主要取决于影响因子，论文期刊质量与期刊影响力。如果您需要帕克原子力显微镜来进行您的研究，我们将为您寻找离您最近可进行研究的机台，请发邮件或者致电我们。请填写下面的在线申请表进行申请，请确保准备好演讲文稿标题和摘要。获奖者将会被单独通知。Park Systems(帕克科学仪器有限公司)是全球领先的纳米研究科学仪器制造生产厂商。我们这个奖学金项目的目标是通过鼓励年轻一代的研究人员通过分享讨论研究成果从而推进下一代学者们在纳米科学领域的发展创新研究。 千载难逢机遇，现在就快来填写申请表吧!如果您有问题？或者需要寻找离您最近的帕克AFM机台? 联系我们:中国: scholarship@parksystems.cn 注意: 每个研究所只限一位获奖者。请点击友情链接申请AFM奖学金！

帕克（Park Systems）作为原子力显微镜制造厂商近日宣布在墨西哥成立 Park Systems Microscopy （帕克原子力显微镜）SA de CV以便更好地服务于墨西哥和拉丁美洲的纳米技术市场。新办事处位于墨西哥城改革大道华雷斯296街道，这里将成为AFM研究中心枢纽，为该地区提供技术支付和服务。 图为帕克墨西哥应用科学家在墨西哥分公司帕克原子力显微镜SA de CV使用Park NX-Hivac原子力显微镜的照片 帕克美国分部总裁Keibock Lee先生评论道：“帕克公司很高兴可以将事业扩展到墨西哥，在墨西哥的分公司配有经验丰富的工程师和应用科学家，有毕业于重点大学的博士生还有销售经验丰富的。”他还指出：“随着墨西哥和拉丁美洲对原子力显微镜需求的日益增长，帕克在墨西哥成立分公司的愿望才得以实现，我们将在墨西哥分公司通过世界先进的原子力显微镜设备来推荐纳米技术的发展。”从2016年在KOSDAQ上市以来，帕克公司的股价涨了至少两倍，这也恰恰说明了帕克公司在全球不断增长的原子力显微镜市场中所占据的主导地位。在墨西哥，帕克将和在巴西，哥伦比亚厄瓜多尔等地的代理商一起为客户提供最先进的AFM设备以及最高水平的服务和技术支持。墨西哥国立大学（UNAM）物理研究所研究员兼墨西哥显微镜协会前任主席Jesus Arenas Alatorre博士评论道，“我对帕克（Park）显微镜公司非常有信心，通过借助帕克公司最尖端的AFM技术将进一步推动墨西哥学术和研究科学界的发展进步。在UNAM,我们主要是以扫描探针显微镜作为我们物理系研究的基础工具，因此我们非常期待与帕克原子力显微镜公司今后的更亲密的研发合作。”随着各国家各地区对AFM需求的不断增长，帕克公司清楚了解到客户对提供技术支持和销售服务的需求，因此会计划对墨西哥分公司提供大量资源从而为广大拉丁美洲科学界提供更多使用帕克AFM的机会。例如，帕克将于8月19日至8月24日参加在墨西哥举行的XXVII国际材料研究大会并在大会上向大家展示帕克公司的原子力显微镜产品，帕克的应用科学家也将现场展示领先的原子力显微镜系统。此外，帕克还计划在明年年初举办拉丁美洲纳米科学研讨会，届时用户可以现场听取纳米技术领域领先演讲者的发言，并可参加AFM短期培训课程扩大人际关系认识更多相关领域的研究人士。帕克墨西哥分公司的开幕式将于2018年6月7日举行，帕克欢迎学术界和工业界的各界人士光临！Alejandro Giménez博士说道：“帕克墨西哥的成立是一个历史性的时刻，因为它构建了大学研究界和工业界之间更有效的合作关系，尤其是在当今纳米科学新技术和知识快速发展的时代，在科学技术急剧扩大发展的领域。”原子力显微镜生产厂商帕克（Park Systems）在全球核心城市都设有办事处，其中包括加州的圣克拉拉，日本东京，新加坡，德国曼海姆，中国北京，韩国水源和墨西哥。自2016年公开发行股票以来，帕克原子力显微镜的业务强劲增长，并在全球范围内取得了前所未有的成功。Park Systems的介绍Park Systems是全球市场领先的原子力显微镜（AFM)和新型纳米显微镜系统的制造商，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储行业的研究人员以及工程师提供全配套产品。Park的显微镜被全球上千家公司和机构使用，并凭借独有的创新工程技术，提供高纳米分辨率，在最低运营成本前提下保证最佳效率而海内外闻名。我们的总部遍及韩国，美国，日本和新加坡，在欧洲，亚洲，美洲拥有无数经销商，我们为研究领域和工业界提供世界上最精确, 最高效的原子力显微镜。可进入公司网页详细了解。 

　　2018年3月14日到16日，2018年中国半导体展在上海新国际博览中心举行。Park Systems作为中国半导体展(Semicon China)观众手册中唯一展示工业型原子力显微镜的原子力显微镜制造商参加了这次半导体展。　　这次参加2018年上海半导体展会的是Park公司大中华区的总经理张家荣(Mark Chang)，他就Park在未来中国半导体的地位以及作用做了详细介绍。他指出：“随着半导体工艺的3D化趋势，传统的检测技术已不能满足需求，原子力显微镜的3D量测技术已成为满足现代工业量测需求的新兴工具。Park致力于原子力显微镜研究30余年，可以帮助新的半导体工艺提供更合适贴切的解决方案。”在与同业产品相比较时他指出Park产品的优势在于:“原子力显微镜除了可以观察纳米级微小事物它还具有计量(metrology)的概念, 尤其在半导体工艺，我们不仅仅要看得清还要量得准，Park原子力显微镜是以准为概念来满足客户对计量(metrology)的需求，这与其他同业是不一样的。 在AFM市场里面，Park是唯一能提供给客户最准且最低噪声3D metrology解决方案的。”　　谈及参加2018年中国半导体展的心得时，Mark表示目前全世界的半导体都在为提供更好的晶片做准备，中国作为最大的消费市场，有政府提供庞大的资金支持，他认为中国半导体的市场是非常乐观的，Park也会设置更多据点、投资更多工程人员来满足服务客户快速增长的需求。2019年的半导体展Park China会扩大投资谋求更广阔的发展空间。　　Park Systems是业内历史悠久的原子力显微镜制造商，产品共分为研究型原子力显微镜和工业型原子力显微镜，其中研究型占比40%，而工业型占比42%。Park的研究型原子力显微镜被美国哈佛大学、斯坦福大学等使用;工业型原子力显微镜则在更大范围被广泛使用，如苹果制造的IT产品、精密机器的品质管理和半导体生产工厂，IBM、 苹果、Micron、三星电子、SK等都是Park的主要用户。　　Park Systems拥有17年积累而来的原子力显微镜相关的原创技术，在国内外获得的原子力显微镜专利足有32项!Park Systems的CEO朴尚一强调：“Park公司拥有其他任何一家竞争公司都无法比拟的纳米计量技术。”朴尚一是斯坦福大学的博士出身，作为最初斯坦福大学原子力显微镜技术开发团队的一员，他从1980年到现在28年间专注只做原子力显微镜技术的研究，是经验十分丰富的原子力显微镜专家。原子力显微镜可实现纳米尺度定量物性测量，不仅可探测癌细胞、干细胞、聚合物、石墨烯等，还可应用于电池、材料、化学、IT、半导体等领域。

SEMICON China作为中国首要的半导体行业盛事之一，将于2018年3月14日到3月16日在上海新国际博览中心隆重举行，Park Systems原子力显微镜公司将会亮相此次半导体的行业盛典。日期 : 2018年3月14-16日时间 : 3月14,15日: 上午9点~下午5点 / 3月16日：上午9点~下午4点 地点 : 上海新国际博览中心（SNIEC）展位号 : E7馆 7657关于SEMICON China :自1988年首次在上海举办以来，SEMICON China已成为中国首要的半导体行业盛事之一，囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商。SEMICON China见证了中国半导体制造业茁壮成长，加速发展的历史，也必将为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出贡献。关于SEMI:SEMI是一家服务于集成电路制造、平板显示、纳米技术、微电机系统（MEMS）、太阳能光伏和相关技术行业的非营利性国际行业协会，在全球拥有2300多家会员公司。SEMI 在全世界微电子及显示器主要生产地区都设有代表处，并定期举办项目和活动。SEMI的主要宗旨是协助会员公司开拓世界市场机会，加强与客户、工业界、政府和企业领导人之间的联系，进而推动全球产业的发展。通过其提供的产品和服务SEMI帮助推动了微电子及显示行业的发展，增加会员公司间的商业往来，进而起到鼓励行业公平竞争加大市场开放程度的目的。

2018年2月13日，德国曼海姆  世界领先的原子力显微镜制造商Park Systems于2018年2月6日在德国曼海姆庆祝欧洲总部隆重开幕。 新办事处将成为中欧原子力显微镜研究机构，并提供设备齐全的原子力显微镜纳米科学实验室的技术销售和服务。来自德国的德意志银行，Schaefer South-East Europe SRL（罗马尼亚），Milexia SAS（法国），ST Instruments BV（荷兰），Gambetti Kenologia Srl（意大利），Promenergolab LLC（俄罗斯），Teknotip Analitik Sistemler Ltd.（土耳其）以及来自欧洲，美国和亚洲的Park Systems代表参加了开幕式。  “欧洲科学界在许多行业领域中扩展尖端科学和研究方面发挥着关键作用，特别是在纳米领域，”Park Systems欧洲分公司公司的总经理Ludger Weisser在剪彩仪式上评论道。 “欧洲新的Park Systems纳米科学实验室的成立意味着可以为我们的欧洲业务合作伙伴提供最优质的AFM技术服务，这也是一个可以推动科学研究开发的一个里程碑式的难得机遇。”新办事处将为所有欧洲客户提供技术，应用以及销售支持。 随着欧洲对AFM技术需求的持续增长，Park Systems认识到需要为欧洲主要科学实验室和研究机构提供更强大的技术支持。  “Park Systems已计划投入大量资源到欧洲新的Park 纳米科学实验室，为欧洲科学界提供更多使用我们AFM产品的机会，我们很期待与欧洲原子力显微镜进行技术上的切磋，相信我们的原子力显微镜将在欧洲展示它在北美和亚洲研发生产设施所具有的无与伦比的高性能和成本效益”，Park Systems全球销售经理James Woo表示。“我们邀请欧洲客户到我们新的Park纳米科学实验工厂亲自使用设备并见证Park自成立以来作为AFM技术领域的全球领导者的实力。”位于德国曼海姆欧洲总部的Park 纳米科学实验室是Park Systems的一个新分支，也是Park全球纳米科学实验室不断扩大的一部分，其中包括纽约州奥尔巴尼市纽约州立大学新开放的Park纳米科学中心。Park 纳米科学实验室将展示先进的原子力显微镜（AFM）系统，演示各种尖端应用 - 从材料科学到化学、生物学，再到半导体和数据存储设备，并分享经验提供培训服务。 这里将配备最新的Park AFM系统，包括Park NX20，Park NX10和Park NX-Hivac，在为欧洲用户提供最佳和直接的技术应用以及销售支持方面发挥着至关重要的作用。  “半年前我们选择Park Systems时， 除了它拥有优秀的原子力显微镜技术，Park快速的售后服务以及认真负责解决问题的态度也是我们决定合作的最重要因素之一，”Park NX10原子力显微镜用户来自英国剑桥大学的Francesco Simone Ruggeri说道。全球原子力显微镜制造商Park Systems在全球主要城市都设有办事处，其中包括加利福尼亚州圣克拉拉市，日本东京， 新加坡， 德国曼海姆和韩国的水原。 自2015年成为AFM行业唯一公开发行股票的公司以来，其股票增长了超过300％，反映了其业务的强劲增长，Park与全球许多公司的业务合作也铺垫了它在未来世界范围的成功。                            Park Systems的介绍 Park Systems是全球市场领先的原子力显微镜（AFM)和新型纳米显微镜系统的制造商，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储行业的研究人员以及工程师提供全配套产品。Park的显微镜被全球上千家公司和机构使用，并凭借独有的创新工程技术，提供高纳米分辨率，在最低运营成本前提下保证最佳效率而海内外闻名。我们的总部遍及韩国，美国，日本和新加坡，在欧洲，亚洲，美洲拥有无数经销商，我们为研究领域和工业界提供世界上最精确, 最高效的原子力显微镜。 

Park Systems成为首个为原子力显微镜（AFM）提供SICM功能显微镜模块的纳米技术创新公司   “Park SICM具有非常先进的功能，可帮助识别纳米级精度液体环境中的形态，帮助研究人员了解材料的生理现象”印第安纳大学化学系副教授Lane A. Baker说道。   世界领先的原子力显微镜（AFM）制造公司Park Systems在2015年开发了Park NX10 SICM模块，这是将一个扫描离子电导显微镜模块附加到NX10，这也是目前唯一一个可以轻松将SICM的功能集成到AFM的产品。Park SICM可以使几乎所有材料表征受益，由于样品对水合作用的敏感特性，需在液体中进行测量，如水凝胶，活细胞，电化学反应和液体表面电荷检测。   “Park NX10 SICM模块是业界唯一一款通过原子力显微镜提供SICM功能的产品，这在纳米技术研究领域起到了重大的意义。”Park Systems的董事长说道。“Park SICM极大地推动了纳米科学研究的进步，其中表现在可以让生命科学家对神经元细胞等进行成像，并在不会造成干扰的条件下测量其在水环境中最微小的特征，提供的分辨率也是在之前的解决方案中被认为是完全不可能实现的。”  Park NX10 SICM模块可准确地获取液体条件下样品的形态，并不会造成物理接触导致的样品变形。它使用纳米吸液管作为离子电流敏感探针，在水合状态下进行材料可视化的液体重复成像。   Park SICM被设计用于广泛的科学研究以研究水合状态或液体环境中的材料，其中包括可视化生理材料生理状态的生物学和生命科学研究，以及表征表面电化学反应的电化学研究，在液体环境中进行成像研究。。  Park SICM也适用于和吸液管相关的应用研究，例如纳米注射和活检，膜片钳，扫描电化学显微镜（SECM），电位测量和表面电荷检测。Park SICM的另一个应用是允许电化学研究查看和表征电化学反应，如电池研究。   “Park SICM具有非常先进的功能，可帮助识别纳米级精度的液体环境中的形态，并帮助研究人员了解材料的生理现象。”美国印第安纳大学化学系副教授Jmaes A. Baker说道，Park SICM的液体成像是纳米科学研究的重要进展，将在分析和材料化学领域广泛用于我们的研究。Park Systems 的介绍  Park Systems是全球市场领先的原子力显微镜（AFM)和新型纳米显微镜系统的制造商，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储行业的研究人员以及工程师提供全配套产品。Park的显微镜被全球上千家公司和机构使用，并凭借独有的创新工程技术，提供高纳米分辨率，在最低运营成本前提下保证最佳效率而海内外闻名。我们的总部遍及韩国，美国，日本和新加坡，在欧洲，亚洲，美洲拥有无数经销商，我们为研究领域和工业界提供世界上最精确, 最高效的原子力显微镜。 

世界领先AA级原子力显微镜制造商Park Systems宣布在韩国KOSDAQ（科斯达克）市场申请IPO挂牌上市Park Systems的首席执行官和创始人Sang-il Park博士 “基于强大的技术竞争力和独特的产品线，我们作为首屈一指的纳米测量公司迈出了重大一步，这次IPO展示了我们的雄心。”  作为全球领先的原子力显微镜公司，Park Systems于2015年12月17日正式宣布100万股首次公开发行股票。KOSDAQ（科斯达克）是韩国纳斯达克股票交易所，成立于1996年。Park Systems获得两家独立的先进技术评级机构的“AA”认证，成为首家通过特殊技术IPO在科斯达克（KOSDAQ）上市的公司。Park Sang-il博士是Park Systems的首席执行官和创始人，他作为斯坦福大学首先开发了原子力显微镜技术的研究员之一，在1988年创建了第一个商业原子力显微镜公司。  “Park Systems是一家专注于研发的知识密集型企业，” Sang-il Park博士说道，“ 基于强大的技术竞争力和独特的产品线，我们作为首屈一指的纳米测量公司迈出了重大一步，这次IPO展示了我们的雄心。”Park博士表示，“我们的AFM技术不仅有着悠久的历史还具有无与伦比的优势和准确性，这也一直是我们持续发展的标志。”Park Systems作为世界领先的AFM制造商成立于1997年，拥有32项与原子力显微镜技术有关的专利，包括使用解耦的XY和Z扫描仪的True Non-Contact Mode™, HDD应用的PTR测量，使用活细胞扫描离子电导显微镜（SICM）的NX-Bio技术，3D AFM, 全自动化AFM操作软件（ SmartScan™）。Park Systems的主要客户包括全球数千家知名大学和国际研究机构，是所有领先的半导体和硬盘制造商（包括美国希捷和IBM）首要的AFM供应商。   Park的独家产品线已经从研究型发展成尖端技术公司的工业系统，无与伦比的性能使得Park成为世界各地制造商用户的定制产品线。Park Systems还和全球纳米电子研究中心IMEC合作进一步加速了收入增长，为原子力显微镜技术的发展提供了便利。这种合作关系将会为Park Systems带来全球半导体和相关主要机构的广泛客户群。 Park Systems 的介绍Park Systems是全球市场领先的原子力显微镜（AFM)和新型纳米显微镜系统的制造商，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储行业的研究人员以及工程师提供全配套产品。Park的显微镜被全球上千家公司和机构使用，并凭借独有的创新工程技术，提供高纳米分辨率，在最低运营成本前提下保证最佳效率而海内外闻名。我们的总部遍及韩国，美国，日本和新加坡，在欧洲，亚洲，美洲拥有无数经销商，我们为研究领域和工业界提供世界上最精确, 最高效的原子力显微镜。 关于KRX韩国交易所（KRX）是“金融投资服务和资本市场法案（FSCMA）”下韩国证券和衍生产品市场的运营商。 KRX经营四个市场; KOSPI市场为主场，KOSDAQ市场为中小企业的场所，KONEX市场为新兴创业公司和世界上流动性最高的产品衍生品市场。 在其综合交易平台内，KRX提供包括股票，债券，ETF，ETN，ELW，商品，期货和期权在内的大量产品。