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核心参数
仪器种类： 磁控溅射镀膜机
产地类别： 进口
应用领域： 微电子学
基片尺寸： 2-8英寸
靶材： 各种金属，氧化物靶
基片温度范围： 800度
成膜厚度均匀性： 3%
极限真空： 10E-8Torr
该系统可以作为以下功能装置：
1，研发级R&D镀膜设备，性能优异
2，具备所有研发级别的镀膜要求
3，高效的沉积速率，镀膜时间快
4， 实验室中培训的最佳工具
主要的特点和先进的功能：
1， 台式，小型，快速
2，全自动化程序控制
3，单靶或多靶联合溅射镀膜，多路气体管路
4，共聚焦设计，靶枪尺寸：2英寸，3英寸，4英寸，衬底可做到200mm，旋转1-20RPM，以及Load-lock配置
5，配置干泵+分子泵，可达高真空，适用高品质薄膜沉积。
6， 可做直流溅射，射频溅射，100W射频偏压（用于衬底表面清洗）
性能价格比高！！
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企业名称
科睿设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
私人股份有限公司
信用代码
61153274-000-03-23-9
成立日期
2023-02-01
注册资本
100
经营范围
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )自2013年成立以来，为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大用户提供最先进的仪器、设备，最的专业技术、服务和最真诚的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，更好的将国外高科技技术融入客户需求的解决方案中，见证祖国科技水平的提升，与祖国科技共同飞速成长。
科睿设备有限公司
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上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
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