关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转3281
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
MIDAS SYSTEM公司开发并生产用于半导体、MEMS、LED及纳米技术相关的实验室和工业领域的光罩对准曝光机和甩胶机，是韩国第一家研发并商业化光罩对准曝光机的企业，始终致力于不断完善、增强技术型企业的核心竞争力。
MIDAS SYSTEM公司具有专业化的设计团队，以客户需要为己任，生产、供应满足国内外企业、科研院所不断增长的应用需求，并且提供半导体工艺相关的设备需要。
MDA-12SA型曝光机是一款MIDAS公司新开发的产品，代表了下一代全区域光刻系统。这一新型半自动化对准曝光平台具有更高的重复光刻精度以及更可靠的操作，非常适合陶瓷及其他探针卡应用，同时MDA-12SA型半动化光罩对准曝光机具有更高的生产能力和容易操控。
| 项目 | 参数 |
| 光源能量 | 紫外曝光光源光强2000～5000W，输出能量可控 |
| 光束范围 | 14.25″× 14.25″ |
| 均匀光束范围 | 13.25″× 13.25″ |
| 光束均匀性 | ＜3%～5% |
| 365nm输出光束强度 | 5KW 25～60mW/cm2，2 KW 15～30mW/cm2 |
| 400nm输出光束强度 | 5KW 50～100mW/cm2，2 KW30～50mW/cm2 |
| 可调节曝光时间 | 0.1～999.9s |
| 范围观察 | 显微镜/CCD相机安装（480～1000倍可变放大,1600倍可选） |
| 电动观察范围移动 | 显微镜x、y、z电动操作（手柄控制） |
| 电动样品台 | 样品台x、y、z、Theta电动操作 |
| 卡盘移动 | 大范围。静态对准工具模块进行x、y、z、Theta移动 |
| 卡盘水平 | 楔形误差补偿（楔形位置自动感应，压力传感器，警报） |
| 基片尺寸 | 直至14″× 14″ |
| 掩模板规格 | 可替换的直至15″× 15″ |
| 真空卡盘移动 | x、y：10mm；Theta：4× |
| Z向移动距离 | 10mm |
| 接触模式 | 接近式、软接触式、硬接触式、真空接触式（真空接触力可调节） |
| 接近调节 | 1μm步进可调节程序化控制系统 |
| 对准精度 | 1μm |
| 显示器 | 17″触屏 |
| 气动控制 | 基片、掩膜、接触、接触调节、卡盘锁、N2、N2调节 |
| 分辨率 | 1μm（真空接触下近紫外） |
| 摆放 | 防震桌 |
| 选件 | CCD BSA、DUV、紫外强度计 |
Midas有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)的工作原理介绍
有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)的使用方法?
MidasMDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)多少钱一台?
有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)可以检测什么？
有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)使用的注意事项？
MidasMDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)的说明书有吗？
Midas有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)的操作规程有吗？
Midas有掩模光刻机MDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)报价含票含运吗？
MidasMDA-12SA, MDA-20SA(370mm X 470mm)有现货吗？
企业名称
科睿设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
私人股份有限公司
信用代码
61153274-000-03-23-9
成立日期
2023-02-01
注册资本
100
经营范围
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )自2013年成立以来，为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的独家代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化，为广大用户提供最先进的仪器、设备，最的专业技术、服务和最真诚的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国，纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域，都需要与欧美发达国家完全接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代，我们愿意化为一座桥梁，更好的将国外高科技技术融入客户需求的解决方案中，见证祖国科技水平的提升，与祖国科技共同飞速成长。
科睿设备有限公司
公司地址
上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
客服电话
