2012-04-16 10:07
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ALD原子层沉积设备-SVT
型号: ALD-05
产地:
品牌: SVT Associates
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化学机械抛光设备 CP-4是世界最通用和最先进的台式化学机械抛光设备(CMP),可以很好的满足您的研发需求。完全软件控制,可以对直径4英寸的晶圆和磁盘进行抛光。 CETR-CP-4可检测原位摩擦力,摩擦系数,温度,下压力,磨损,声发射等,可以模拟所有的参数,如速度,负载和流量,来模仿一个大的CMP系统。
本资料主要介绍Smart PVD系统,此系统可以集成多种沉积技术于一体。实现电子束蒸发、磁控溅射、热蒸发等同时使用一个腔室。方面科研工作人员的薄膜研究。
可实现功能 超高真空磁控溅射 UHV-Sputtering 脉冲激光沉积系统 PLD 电子束镀膜系统 Ebeam 热蒸镀 Effusion 灵活,多功能,高品质给予一身的试验室级SMART超高真空镀膜系统,是SVTA公司2009年推出的最新产品。
简单介绍SVT Associates, Inc.公司的 PLD/L-MBE 脉冲激光沉积系统。 可用于生长ZnO,STO等薄膜,金属薄膜,磁性材料薄膜等。