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SVT HL 系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度，以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆。
SVT CL 系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏源。源接口可以是2.75’’法兰或更大。
SVT HT 系列蒸发源用于沉积低蒸汽压材料。源的温度可达2,000 oC。源接口可以是2.75’’法兰或更大。源在运往客户前都经过全面检测和标征。对于4.5’’或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板可选。
SVT也提供可用于UHV氨环境下的冷口源。此源在坩埚口带有冷却水。源接口可以是2.75’’法兰或更大。
对于4.5’’或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板可选。
型 号 | 法兰尺寸 | 坩埚容量（CC） |
SVTA-SF-16-275 | 2.75’’ | 16 |
SVTA-SF-16-450 | 4.5’’ | 16 |
SVTA-SF-20-275 | 2.75’’ | 20 |
SVTA-SF-20-450 | 4.5’’ | 20 |
SVTA-SF-22-275 | 2.75’’ | 22 |
SVTA-SF-22-450 | 4.5’’ | 22 |
SVTA-SF-40-275 | 2.75’’ | 40 |
SVTA-SF-40-450 | 4.5’’ | 40 |
SVTA-SF-60-450 | 4.5’’ | 60 |
SVTA-SF-80-450 | 4.5’’ | 80 |
温度范围 | 0 oC-1,400 oC |
功率 | 600W或1KW |
温度稳定性 | +/-0.1oC |
温度重复性 | +/-0.1oC |
热偶 | C型(D型可选) |
坩埚容量 | *16cc，20cc，22cc，40cc， 50cc，60cc，85cc， (16cc，22cc锥形壁坩埚均一性更高) |
标准长度 | *12’’(762.5px) |
法兰接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
电接插件 | 灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
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企业名称
SVTA
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
1993-09-07
注册资本
100
经营范围
美国SVTA公司中国办事处
公司地址
北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632
客服电话
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