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SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和roll to roll制程工艺。
线源和体蒸发源相比，蒸发温度更高（>1,500oC）。
线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖。
独创的分流口设计避免了材料飞溅和缺陷生长。
此源还可以通过调节光阑来调出最佳束流。
特点
分流口式生长提高大面积移动衬底的薄膜均一性
独立的加热区域，便于精确控制
差分喷口可更换，便于调整束流形状
源容量大，适于长期生长
加热温度高，因此沉积速率高
型 号 | 沉积宽度 | 容量 | 法兰尺寸 |
SVTA-LES-300 | 300mm | 500cc | 6’’(DN100)CF法兰，其他尺寸可选 |
SVTA-LES-600 | 600mm | 1,000cc, 2,000cc, 或5,000cc | 10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选 |
SVTA-LES-1200 | 1,200mm | 2,000cc, 或5,000cc | 10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选 |
最大体蒸发温度 | 1,500oC |
分流口最大温度 | 1,600oC |
源温度稳定性 | +/- 0.1 oC |
束流稳定性 | <1% |
最大操作环境压强 | 5X10-5Torr |
沉积均一性 | +/-4%(源与衬底距离300mm) |
热偶类型 | C型 (K型可选) |
冷却时间 | 100oC<120分钟 |
电接插件 | 灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
烘烤温度 | 200oC |
冷却水接头 | 2 X 1/4’’ VCR (一进一出) |
最大水压 | 80psi |
水流速率 | 500ml/min |
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企业名称
SVTA
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
1993-09-07
注册资本
100
经营范围
美国SVTA公司中国办事处
公司地址
北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632
客服电话
公司名称： 美国SVTA公司中国办事处
公司地址： 北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632 联系人： 于耀宇 邮编： 100085 联系电话： 400-860-5168转1311
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