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生长操作器和制备台UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境。
● 磁耦合旋转
● 旋转精度高
● 氧环境下兼容可选
● 氨环境下兼容可选
● 衬底加热温度可达1,400 oC
X-Y方向移动
精度0.001
重复性0.001
反冲 0
移动行程+/-0.5’’
Z方向移动
精度1mm 或1/32比例
重复性1mm 或1/32比例
反冲0
行程4.0’’
水平旋转
精度1.25o
反冲<1 o
持续360 o旋转
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企业名称
SVTA
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
1993-09-07
注册资本
100
经营范围
美国SVTA公司中国办事处
公司地址
北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632
客服电话
公司名称： 美国SVTA公司中国办事处
公司地址： 北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632 联系人： 于耀宇 邮编： 100085 联系电话： 400-860-5168转1311
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