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美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源

产地: 美国
型号: SVTA-APH3-GCS
报价: 面议
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产品介绍
简介
SVT公司的SVTA-APH3-GCS气体入射源专为GSMBE设计,用于裂解砷化氢和磷化氢以实现高质量III-V材料生长。采用单灯丝加热和双气体管炉设计,并使用高纯PBN和钽材料确保高温下的超高纯环境。该系统包括气体传输系统,并可定制源长度以提高束流分布均一性,适用于温度范围150 oC至1,300 oC的III-V材料生长。

        



        SVT公司的气体入射源是为气体源分子束外延(GSMBE)设计的。


        SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氢和磷化氢以进行高质量的III-V材料生长。


    源采用单灯丝加热,双气体管炉提高气体裂解的效率。


    它还采用一系列光阑板(aperture plates)满足客户对裂解性能的要求。


    热裂解区由高纯PBN材料和钽材料制作的。其在最高温度下也可提供超高纯环境。


    完整的气体入射源系统还包括具有较大压力的气体传输系统。


    为提高束流分布均一性,可定制源长度。


典型应用

 用于III-V材料系统

 具有很高的气体裂解能力

 先进的气体操作系统

 温度150 oC-1,300 oC

  MFC/自动束流控制

 



    

 


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SVT Associates外延系统SVTA-APH3-GCS的工作原理介绍

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工商信息

企业名称

SVTA

企业信息已认证

企业类型

信用代码

成立日期

1993-09-07

注册资本

100

经营范围

联系方式
美国SVTA公司中国办事处为您提供SVT Associates美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源SVTA-APH3-GCS,SVT AssociatesSVTA-APH3-GCS产地为美国,属于外延系统,除了美国SVT气体入射源/气体喷射源/气体源的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多外延系统,美国SVTA公司客服电话400-860-5168转1311,售前、售后均可联系。
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