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集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制。
SVTA-CLM-6
最大8''样品
含6个12'' CF法兰端口
6'' CF观察窗
2.75'' CF法兰离子规端口
SVTA-CLM-4
最大5''样品
含4个8''CF法兰端口
4.5''CF观察窗
2.75''CF法兰离子规端口
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企业名称
SVTA
企业信息已认证
企业类型
信用代码
成立日期
1993-09-07
注册资本
100
经营范围
美国SVTA公司中国办事处
公司地址
北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632
客服电话
公司名称： 美国SVTA公司中国办事处
公司地址： 北京海淀区上地四街1号院2号楼3层632 联系人： 于耀宇 邮编： 100085 联系电话： 400-860-5168转1311
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