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SVT工艺监控仪 AccuFlux

产地: 美国
型号: AccuFlux
样本: 下载
报价: 面议
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产品介绍


       


       AccuFlux 工艺监控仪是非侵入式在线束流监控仪并配有原子吸收谱仪。利用各元素特定的照射灯,AccuFlux 还可测量固态源及气态源的气相束流密度。此监控仪可同时监控4种材料。独特的光学和电子设计,使速率精度<0.002nm/sAccuFlux 具有自参考和自对准功能,即使仪器出现移位也不会影响监测。


        AccuFlux 工艺监控仪可用在MBEMOCVD上测量绝大多数材料。远程控制装置做为可选部件,是生产型应用的理想选择。此装置可提供挡板及源控制的信息实时反馈。不论生长设备上源(cell)的结构设计是线型还是共焦型,AccuFlux都可以使用。每种材料具有独特的光源,因此该监控仪可在过压环境下使用,例如GaAsCIGS及氧化物的生长。

 

 创新的光学设计,能够检测速率最低为0.002nm/s

 针对各元素的高强度灯源

 可对固态及气态源进行束流监控

 远程控制可选,能够实现闭环控制

 可以同时监控4种材料

 


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SVT Associates外延系统AccuFlux的操作规程有吗?

SVT Associates外延系统AccuFlux报价含票含运吗?

SVT AssociatesAccuFlux有现货吗?

工商信息

企业名称

SVTA

企业信息已认证

企业类型

信用代码

成立日期

1993-09-07

注册资本

100

经营范围

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