Agilent Cary 7000 全能型分光光度计（UMS）

Cary 7000 UMS 结合标准软件方法和报告工具，可用于计算三种不同的汽车和建筑玻璃制品的光学特性。分别根据地区和国际玻璃标准 ISO 9050、ISO 13837 和 EN 410 报告了样品的光学特性。Cary 7000 UMS 是一种用于玻璃和玻璃制品的常规 QA/QC 检测以及研发并可提供强大、高效和理想的全套解决方案的工具。

玻璃和玻璃制品已被使用了上千年，形状功能多种多样。上个世纪以来，随着汽车、摩天大楼、家庭住宅和消费品包装大量使用玻璃制品，玻璃的生产和用途多样性得到显著提高。二十世纪五十年代开始，高容量商业化浮法玻璃的开发和精细化使得激增的需求得到满足。 复合制品和特殊涂料技术的最新发展已经实现可以针对具体的功能需要、环境条件以及采光需求定制玻璃制品。此外，现如今开发者和用户同样专注于产品的能量效率以及切合目的的通用要求，以达到屏蔽紫外辐射、透过可见光、夏日抑制热辐射（隔热）以及冬日保持热量等功能。

作为全球半导体领域的先锋，安捷伦积累了大量创新技术和卓越的服务能力。在半导体产业链 的制程监测、原材料质控、无机杂质、纳米颗粒、有机杂质检测、符合环境健康和安全法规需 求以及真空检漏等方面，都能够为您提供优异的分析仪器、软件、服务和支持，助您取得成功。

Cary 7000 UMS 在表征立体分光镜性能方面已显示出巨大的潜力。该系统实现了样品旋转和检测器位置的独立和自动化控制。这种无需移动样品即可测量 T 和 R 的独特能力，可保持样品的入射光不变，同时可获得分光镜吸光度的详细光谱信息。Cary 7000 UMS 可实现快捷、简便且全自动化的数据采集，是 QA/QC 环境的理想选择。

Cary 7000 UMS 可使用 s 和 p 偏振光，在较宽AOI 范围内自动采集大涂层样品的高质量光谱图。测试过程完全由软件控制，一旦样品安装完毕，便可进行完全自动的数据采集。以宽的波长范围，宽 AOI 范围和不同偏振光对样品进行完整表征，使我们能更深入的了解光学涂层的角度关系。此外，使用三维和二维等高线图对数据进行可视化，可深入了解光学涂层性能。这些有价值的信息有助于涂层的设计和优化。

配备固体进样器的 Agilent Cary 7000 UMS 已成功用于薄膜基底的大样品表征。自动进样器以空间映射模式运行，适用于 ZTO 研究。通过采集透射光谱，将 ZTO 基底的带隙能量映射在晶圆的整个直径范围上。数据显示出一些差异，例如晶圆顶部由沉积过程造成了最高的 Zn 浓度，因而频率较低。 在寻找昂贵基底（如氧化铟锡 (ITO)）的合适替代品时，可以使用这一方法来表征光学带隙能量相近的材料。 Cary 7000 UMS 和固体进样器有望成为用于光学材料、涂层以及工业和实验室各种应用中组分表征的重要工具。

积分球是适用于各种类型样品和各种测量模式的多功能附件。球体为一空心球，其内壁是一层会发生漫反射的涂层。积分球形状的设计是为了收集没有方向特异性的反射线或透视线，并为检测器提供积分信号。安捷伦有一系列适用于 Cary 4000/5000/6000i 仪器的外置和内置 DRA 附件，包括测量漫反射、镜面反射或混合样品反射率、透射率和吸光度的三种外置和三种内置 DRA 。

由于仪器的光度线性范围限制，仪器随着光密度或浓度的增加测量吸光度的准确度会受到影响。光度线性度差会使仪器产生不正确的结果，并导致校准曲线变得非线性。滤光片技术的加入提供了一种简单而价廉的方法来证明大多数分光光度计的光度线性范围。本文主要介绍通过测试证明了新一代Cary4000/5000/6000i分光光度计在高吸收度水平下的光度线性范围。该系列仪器的光度现行范围均在8A以上，对于测试高吸光度样品的用户是最佳的选择。

三氧化二铝，俗称氧化铝，是一种广泛存在的天然化合物，同时在工业上也有广泛的应用。氧化铝除了用作颜料或磨料外，在脱硫或加氢反应中也起着重要的催化剂载体作用。当其作为催化剂载体时，催化剂上的活性通常由镍金属纳米粒子组成的。在Ni/Al2O3催化剂制备的第一步中，镍盐与氧化铝表面的相互作用最终决定了催化剂的活性相分散和活性。因此，为了改进催化剂的制备，跟踪热处理过程中镍形态的变化至关重要。 本文使用Cary5000 UV-Vis-NIR分光光度计搭配漫反射附件可以实现对在较宽的温度范围内发生的化学转变进行更加深入研究，实现催化剂性能的表征。

前言 反射率 (R) 和透射率 (T) 是用于表征材料和光学涂层光学特性的基本测量指标。多角度光度光谱 (MPS) 可对样品从接近垂直到倾斜入射角 (AOI) 之间各种角度 (Θi ) 的反射率和/或透射率进行测量。近期,由安捷伦科技公司开发的 MPS 领域新产品 Cary 7000 通用型分光光度计 (UMS)，可在样品表面的同一点完成反射率和透射率测量，多 次测量间无需移动样品。减少了对多个附件和附件更换/重新配置的需求，可确保获得无与伦比的数据质量，避免一次测量中采用多种分析技术时，产生样品不均匀效应或光谱图不一致的情况。

前言 频繁且经济有效的光谱表征对于开发具有竞争力的光学薄膜涂层非常重要。完全自动化且无人值守的光谱测量有助于降低每次分析的成本、提高分析效率，还有助于扩展质保程序。在生产过程中，满负荷运转的沉积室中常会涂覆大面积、通常呈圆形的衬底晶片。高效的光学表征工具必须能够在晶片被切割之前从用户指定的晶片表面的特征点获得准确且有意义的信息。

使用 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS)

使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS)

光学镀膜和镀膜技术经过多年发展，在设计、生产和表征工艺方面已非常成熟。现在，光学镀膜已非常普及，从研究和空间光学到消费品和工业的应用中都能找到它的身影。光学镀膜应用广泛，包括眼镜、建筑和汽车玻璃、照明和灯光系统、显示器、滤光片、专业反射镜、光纤和通信，以及医用光学。光学镀膜的性能取决于镀膜的规格和基底材料。 设计和制造高质量多层光学镀膜不仅需要精确测量最终生产组件，还需要精确测量薄膜层中材料的光学常数。这些测量结果能够用于（有时）非常复杂的多层镀膜的详细设计。在生产结束时和生产过程中的测量结果也可以用于光学镀膜的逆向工程，提供有关设计制造工艺的反馈[1]。逆向工程的主要目的是检测单层参数中的系统误差和随机误差，有助于改善层控制，优化光学镀膜沉积。

关于此项工作的更多详细信息首次发表于 Optics Express 16129，2012 年 7 月 2 日，第 20 卷，14 号[1]。 高质量多层光学镀膜的设计师和制造商需要使用可靠的方法来准确测量薄膜材料的光学常数。他们通常使用紫外-可见-红外分光光度计测得样品在标准入射和接近标准入射情况下的透射率 (T) 和反射率 (R)。了解所生成数据的准确度和任何误差的来源（随机或系统）将可以得到更可靠的样品表征数据[2,3]。

通过滤光片叠加实验成功证明了 Cary 7000 全能型分光光度计在紫外-可见-近红外区域的光度测量范围、准确度和线性。使用同样的仪器，可轻松获得 NIR 区域超过 8 Abs范围内的样品光谱，还能获得可见光区域超过 10 Abs 范围内的样品光谱。

无论是对涂层、薄膜、太阳能或玻璃等高端材料进行研究、开发或是 QA/QC 分析，安捷伦均能提供最快速和最精确的光谱解决方案。安捷伦不久将发布一款独特的具有全面测量能力的分光光度计，能够测量各个角度的绝对反射率和透射率并能完全实现自动测量。

VW 镜面反射附件专用于测量平滑固体材料对近垂直入射角光束的镜面反射。“VW”一词描述了穿过附件参比和样品测量位置的光路。“VW”附件设计了一个可以灵活移动安装的用于校正及样品测量的球形镜面。除样品外，两次测量时光路内的光学部件均相同，因而可完成真正的绝对反射测量。绝对测量不需要用标准物质对结果进行校正。

带通滤光片可以做为光栅单色器的廉价替代品，用于分离窄波长区域。许多商用的带通滤光片的最大半峰宽为10nm。本文主要使用安捷伦Cary系列高端分光光度计对亚纳米带通滤光片的半峰宽进行了表征。测试的三个样品中，其中一个样品的半峰宽为3.1埃，而另外两个样品的半峰宽仅为1.2埃。即使在极限的操作条件下，安捷伦Cary系列高端紫外依然能获得准确的测试结果。

多色性是一种透明晶体从不同角度观察会产生不同颜色的光学现象。有时颜色的变化仅限于阴影的变化，如从浅粉色变成深粉色。晶体可分为光学各向异性（立方晶体体系）、光学各向异性单轴（六角、三角晶体体系）和光学各项异性双轴（斜方、单斜、三斜晶体体系）几类。最大的变化仅限于三种颜色变化，这种现象一般可在双轴晶体中观察到，成为三色晶体。在单轴晶体中可以观察到双色变化，称为二色性。多色性经常被用来形容以上两种现象。多色性是由晶体的光学各向异性引起的。在光学各向异性晶体中，光的吸收取决于光波的频率和它的偏振。 为研究晶体的二色性，可使用安捷伦的Cary5000 UV-Vis-NIR分光光度计搭配全能测量附件（UMA）进行测试。UMA系统标配软件自动控制的偏振器，可自动发射出测试需要的P光和S光，满足实验测量的需求。

Cary VASRA 具有自动测量入射光角度在 20 到 70 度范围内样品表面镜面反射率的能力。可方便地安装在 Cary 4000/5000/6000i的样品仓中，具有以下几个特点：1)移动平台可随角度的改变来移动样品。无论入射角度如何变化，都能确保光束的中心照到同一位置。2)将样品固定在狭缝镜像位置，因此，只要选择适当的光谱带宽 (SBW)，即可改变镜像宽度，从而可用于分析不同种类的样品。3)附件配备几种不同尺寸的光阑挡板，分别为 2、10 和 20 mm，其中还包括一个圆形样品支架，确保改变镜像尺寸或掩屏尺寸以适合不同大小样品的分析。4)该附件通过 Cary WinUV 软件驱动，无需用户介入改变角度，实现了完全自动化测量。 •Cary VASRA 附件可精确测量透镜涂层、玻璃上的抗反射涂层、涂层薄膜以及镜面的折光率 (RI)。

Agilent Cary 7000 UMS 是测量光学显示器所使用新一代材料光学性质的有力工具。可以使用线性偏振入射光和检测前反射光去偏振方法，精确测量经过样品上特定聚合物镀膜后发生偏转的反射光。

频繁且经济有效的光谱表征对于开发具有竞争力的光学薄膜涂层非常重要。完全自动化且无人值守的光谱测量有助于降低每次分析的成本、提高分析效率，还有助于扩展质保程序。在生产过程中，满负荷运转的沉积室中常会涂覆大面积、通常呈圆形的衬底晶片。高效的光学表征工具必须能够在晶片被切割之前从用户指定的晶片表面的特征 点获得准确且有意义的信息。专为 Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 和全能型测量附件包 (UMA) 设计的安捷伦固体自动进样器可容纳直径达 200 mm (8"") 的样品，并提供 UV-Vis 和NIR 光谱范围内的角度绝对反射率和透射率数据。此前的研究已经证明，将 Cary 7000 UMS 与自动进样器相结合，能够对 32x 样品支架上的多个样品进行自动化、无人值守的分析，并对氧化锌锡 (ZTO) 涂层的线性能带隙梯度进行空间测绘。本研究使用配备自动进样器的 Cary 7000 UMS 对直径 200 mm 晶片上的涂层均匀性进行了自动化的角度分辨测绘。