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涂层光学晶片的自动分光光度空间分析
2018/06/29 13:46
阅读：289
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方案摘要：
产品配置单：
Agilent Cary 7000 全能型分光光度计（UMS）
型号： Cary 7000
产地： 马来西亚
品牌： 安捷伦
¥150万 - 200万
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方案详情：
前言
频繁且经济有效的光谱表征对于开发具有竞争力的光学薄膜涂层非常重要。完全自动化且无人值守的光谱测量有助于降低每次分析的成本、提高分析效率，还有助于扩展质保程序。在生产过程中，满负荷运转的沉积室中常会涂覆大面积、通常呈圆形的衬底晶片。高效的光学表征工具必须能够在晶片被切割之前从用户指定的晶片表面的特征点获得准确且有意义的信息。
专为 Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 和全能型测量附件包 (UMA) 设计的安捷伦固体自动进样器可容纳直径达 200 mm (8"") 的样品，并提供 UV-Vis 和NIR 光谱范围内的角度绝对反射率和透射率数据。
此前的研究已经证明，将 Cary 7000 UMS 与自动进样器相结合，能够对 32x 样品支架上的多个样品进行自动化、无人值守的分析，并对氧化锌锡 (ZTO) 涂层的线性能带隙梯度进行空间测绘。本研究使用配备自动进样器的 Cary 7000 UMS 对直径 200 mm 晶片上的涂层均匀性进行了自动化的角度分辨测绘。
结论
在本研究中，我们使用 Agilent Cary 7000 UMS 和固体自动进样器成功分析了直径 200 mm 的预切割晶片的涂层均匀性。该系统被设置为按照用户自定义的测绘特征在以 1064 nm 为中心的波长下对晶片表面进行 %R 测量。所得的曲线表明晶片中心到边缘的涂层质量有所下降。该信息可用于找出并克服涂层工艺中潜在的变异性。
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