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使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析
2020/12/11 17:54
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方案摘要：
产品配置单：
Agilent Cary 7000 全能型分光光度计（UMS）
型号： Cary 7000
产地： 马来西亚
品牌： 安捷伦
¥150万 - 200万
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方案详情：
配备固体进样器的 Agilent Cary 7000 UMS 已成功用于薄膜基底的大样品表征。自动进样器以空间映射模式运行，适用于 ZTO 研究。通过采集透射光谱，将 ZTO 基底的带隙能量映射在晶圆的整个直径范围上。数据显示出一些差异，例如晶圆顶部由沉积过程造成了最高的 Zn 浓度，因而频率较低。
在寻找昂贵基底（如氧化铟锡 (ITO)）的合适替代品时，可以使用这一方法来表征光学带隙能量相近的材料。
Cary 7000 UMS 和固体进样器有望成为用于光学材料、涂层以及工业和实验室各种应用中组分表征的重要工具。
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