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牛津仪器科技（上海）有限公司

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牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备

品牌：牛津仪器

产地：英国

型号： PlasmaPro 100 Cobra

样本：下载

报价： ¥80万 - 100万

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牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra多少钱一台?镀膜机PlasmaPro 100 Cobra可以检测什么？
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核心参数

产地类别：进口

产品介绍

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PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电极，能够在很宽的温度范围内进行工艺，具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力，该工艺模块可提供具有高度均匀，高产量和高精度的工艺。

电极的适用温度范围宽，-150°C至400°C
兼容200mm以下所有尺寸的晶圆
快速更换到不同尺寸的晶圆工艺
购置成本低且易于维护
紧密的设计，布局灵活
实时清洗和终点监测

我们的设备和工艺已通过充分验证，正常运转时间可达90%以上，一旦设备安装完毕，可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广，包括但不限于： MEMS和传感器，光电子，分立元器件和纳米技术。它具有研究和开发需要的灵活性，同时具备量产所需要的质量可靠性。

特征

牛津仪器的PlasmaPro 100系列具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力。该工艺模式可提供出色的均匀性，高产量和高精度的工艺。

通过均匀的高导通路径连接的腔室，将反应粒子输送到衬底 - 在维持低气压的同时，允许使用较高的气体通量
高度可变的下电极 - 充分利用等离子体的三维特性，在适合的高度条件下，衬底厚度最大可达10mm
电极的温度范围宽（-150°C至+ 400°C），可通过液氮，液体循环制冷机或电阻丝加热 - 可选的吹排及液体更换单元可自动进行模式切换
由再循环制冷机单元供给的液体控温的电极 - 出色的衬底温度控制
射频功率加载在喷头上，同时优化气体输送 - 提供具有低频/射频切换功能的均匀的等离子体工艺，可精确控制薄膜应力
ICP源尺寸为65mm，180mm，300mm - 确保最大200mm晶圆的工艺均匀性
高抽气能力 - 提供了更宽的工艺气压窗口
晶圆压盘与背氦制冷 - 更适合的晶片温度控制

应用

III-V族材料的刻蚀工艺
固体激光器InP刻蚀
VCSEL GaAs/AlGaAs刻蚀
射频器件低损伤GaN刻蚀
硅 Bosch和超低温刻蚀工艺
类金刚石（DLC）沉积
二氧化硅和石英刻蚀
用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖工艺，可处理封装好的芯片、裸晶片以及200mm晶圆
沉积高质量的PECVD氮化硅和二氧化硅薄膜，用于光子学、电介质层、钝化等诸多其它用途
用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀

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相关资料

牛津仪器PlasmaPro 100 等离子体刻蚀系统-2017 PlasmaPro-100-Brochure-CN

Delivers reactive species to the substrate, with a uniform high conductance path through the chamber, allowing a high gas flow to be used while maintaining low pressure Electrodes available for temperatures from -150ºC to +400ºC with helium backside cooling and a range mechanical clamp designs ? Optimised hardware and control to deliver processes requiring fast process step switching, e.g. Bosch Variable height electrode can utilise the 3-dimensional characteristics of the plasma and accommodate substrates up to 10mm thick at optimum height Range of ICP source diameters; 65mm, 180mm and 300mm

10279KB

2018/08/08

工商信息

企业名称

牛津仪器科技（上海）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310000400824735

成立日期

2017-03-29

注册资本

经营范围

精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

牛津仪器科技（上海）有限公司

公司地址

上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼

客服电话

400-860-2711

牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备，牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra产地为英国，属于进口镀膜机，除了牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器Etch刻蚀工艺、牛津仪器PECVD等离子体处理系统,牛津仪器客服电话400-860-2711，售前、售后均可联系。

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核磁共振(NMR) CCD相机/影像CCD 高光谱仪/高光谱成像仪扫描电镜（SEM）原子层沉积设备电子背散射衍射系统（EBSD） X射线能谱仪(EDS)

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