关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-2711
仪器信息网认证电话，请放心拨打
我们的设备和工艺已通过充分验证，正常运转时间可达90%以上，一旦设备安装完毕，可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广，包括但不限于： MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。它具有足够的灵活性，可用于研究和开发，通过打造质量满足生产需求。
PlasmaPro 100 ALE 的特点:
准确的刻蚀深度控制；
光滑的刻蚀表面
低损伤工艺
数字化/循环式刻蚀工艺——刻蚀相当于ALD
高选择比
能加工最大200mm的晶圆
高深宽比（HAR）刻蚀工艺
非常适于刻蚀纳米级薄层
III-V族材料刻蚀工艺
固体激光器InP刻蚀
VCSEL GaAs/AlGaAs刻蚀
射频器件低损伤GaN刻蚀
硅Bosch和超低温刻蚀工艺
类金刚石（DLC）沉积
二氧化硅和石英刻蚀
用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖逆工艺，可处理封装好的芯片, 裸晶片，以及200mm晶圆
高质量PECVD沉积的氮化硅和二氧化硅，用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途
用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE的工作原理介绍
其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE的使用方法?
牛津仪器PlasmaPro100 ALE多少钱一台?
其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE可以检测什么？
其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE使用的注意事项？
牛津仪器PlasmaPro100 ALE的说明书有吗？
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE的操作规程有吗？
牛津仪器其他半导体检测仪PlasmaPro100 ALE报价含票含运吗？
牛津仪器PlasmaPro100 ALE有现货吗？
更多
更多
等离子体原子层刻蚀实现无损伤刻蚀
提供等离子体原子层刻蚀实现无损伤刻蚀。原子层蚀刻（ALE）是一种技术允许每次精确除去一个原子层，是使用常规刻蚀无法达到的控制水平。 牛津仪器的设备和工艺已通过充分验证，正常运转时间可达90%以上，一旦设备安装完毕，可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广，包括但不限于： MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。它具有足够的灵活性，可用于研究和开发，通过打造质量满足生产需求。
半导体
2019/08/07
企业名称
牛津仪器科技（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400824735
成立日期
2017-03-29
注册资本
50
经营范围
精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
牛津仪器科技（上海）有限公司
公司地址
上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼
客服电话
公司名称： 牛津仪器科技（上海）有限公司
公司地址： 上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼 联系人： 牛津仪器 邮编： 200233 联系电话： 400-860-2711
仪器信息网APP
展位手机站