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牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备

品牌: 牛津仪器
产地: 英国
型号: Ionfab300
样本: 下载
报价: 面议
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产品介绍

Ionfab 300 IBD

客户选择我们的离子束沉积产品是因为它们能够生产具有高质量,致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法,并可在同一设备上实现, 因而提高系统的利用率。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统规格与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

  • 多模式功能

  • 能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

  • 单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

  • 双束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均匀性和工艺重复性

  • 精确终点监测 —— SIMS,发射光谱

Ionfab 300 IBE

离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

  • 多模式功能

  • 能够与其它等离子体刻蚀和沉积设备相集成

  • 单晶圆传送模式或集群式晶圆操作

  • 双束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均匀性和工艺重复性

  • 精确终点监测 —— SIMS,发射光谱

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牛津仪器其他半导体检测仪Ionfab300的工作原理介绍

其他半导体检测仪Ionfab300的使用方法?

牛津仪器Ionfab300多少钱一台?

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牛津仪器其他半导体检测仪Ionfab300报价含票含运吗?

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工商信息

企业名称

牛津仪器科技(上海)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310000400824735

成立日期

2017-03-29

注册资本

50

经营范围

精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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