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半导体制造解决方案
2019/07/31 10:19
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方案摘要：
产品配置单：
牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra刻蚀和沉积设备
型号： PlasmaPro 100 Cobra
产地： 英国
品牌： 牛津仪器
¥80万 - 100万
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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
型号： ALD OpAL
产地： 英国
品牌： 牛津仪器
¥10万 - 50万
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牛津仪器全功能视频级成像原子力显微镜Cypher VRS
型号： Cypher VRS
产地： 美国
品牌： 牛津仪器
¥300万 - 500万
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牛津仪器Ultim Extreme无窗超级能谱
型号： Ultim Extreme
产地： 英国
品牌： 牛津仪器
¥20万 - 30万
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牛津仪器TritonXL无液氦稀释制冷机
型号： TritonXL
产地： 英国
品牌： 牛津仪器
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方案详情：
Power Semiconductors 制造解决方案
高性能电动汽车等高新技术领域对高效动力转换的需求与日俱增，在这些领域高效动力转换必不可少。SiC 和 GaN 材料的使用降低了能耗。牛津仪器通过原子层沉积（ALD）技术、等离子体辅助蚀刻和沉积技术优化了工艺，提高了器件的能效。ALD 工艺通过出色的钝化减少了 GaN/AlGaN 器件中的阈值电压漂移。
通过牛津仪器 GaN 和 SiC 蚀刻工艺完成的侧壁质量优良、损伤很小、性能优越。
半导体激光器制造解决方案
高性能电动汽车等高新技术领域对高效动力转换的需求与日俱增，在这些领域高效动力转换必不可少。SiC 和 GaN 材料的使用降低了能耗。牛津仪器通过原子层沉积 (ALD) 技术、等离子体辅助蚀刻和沉积技术优化了工艺，提高了器件的能效。 ALD 工艺通过出色的钝化减少了GaN/AlGaN 器件中的阈值电压漂移。
牛津仪器 GaN 和 SiC 蚀刻工艺完成的侧壁质量优良、损伤很小、性能优越。
激光器应用广泛，包括提升通信速度、通过 LiDAR 实现自动驾驶等。长期以来，牛津仪器一直从事激光二极管 III-V 材料的工艺研发，例如：AIGaN 和 InP 等材料。无论何种材料，最终的过程控制都至关重要。
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一文了解 EDS 能谱技术发展历程
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公司名称： 牛津仪器科技（上海）有限公司
公司地址： 上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼 联系人： 牛津仪器 邮编： 200233 联系电话： 400-860-2711
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