看了退火炉的用户又看了
技术规格
• 适用于直径
达 200 毫米（8 英寸）的单个晶圆 • 集成气体入口和出口
• 最高温度：1000 °C
• 升温速率：高达 50 K/秒（可选：100 K/秒）
• 通过热电偶
控制温度 • 无石英室、铝室（可选配石英室）
• 尺寸：约 578 mm x 496 mm x 570 mm（宽 x 深 x 高）
• 重量： 约 70 公斤
部件支架
• 石英托盘，固定集成在门
中 • 用于直径为 200 mm 的单晶圆和石墨基座的石英支架
加热
• 由 2 x 12 个红外灯加热（红外加热器的标称电压/功率：230 V/2 kW）
• 顶部和底部加热（可选）
真空
• 压力刻度 10exp-3 hPa 或 RTP-200-HV 10exp-6 hPa
过程控制
• SPS 过程控制器，带 50 个程序，每个
程序最多 50 个步骤（以太网接口），SIMATIC
• 触摸面板
上可存储 50 个程序，每个程序最多 50 个步骤 • USB 2.0 接口，用于存储过程数据（CSV 文件格式）
• 包括 7 英寸触摸屏，操作直观舒适
水冷
• 需要水冷（入口压力：5 bar，进水温度：16...20 °C，低水硬度 （< 5° dH），
不含铜颗粒）
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
尤尼坦退火炉RTP-200的工作原理介绍
退火炉RTP-200的使用方法?
尤尼坦RTP-200多少钱一台?
退火炉RTP-200可以检测什么？
退火炉RTP-200使用的注意事项？
尤尼坦RTP-200的说明书有吗？
尤尼坦退火炉RTP-200的操作规程有吗？
尤尼坦退火炉RTP-200报价含票含运吗？
尤尼坦RTP-200有现货吗？
