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技术规格
• 适用于直径
达 200 毫米(8 英寸)的单个晶圆 • 集成气体入口和出口
• 最高温度:1000 °C
• 升温速率:高达 50 K/秒(可选:100 K/秒)
• 通过热电偶
控制温度 • 无石英室、铝室(可选配石英室)
• 尺寸:约 578 mm x 496 mm x 570 mm(宽 x 深 x 高)
• 重量: 约 70 公斤
部件支架
• 石英托盘,固定集成在门
中 • 用于直径为 200 mm 的单晶圆和石墨基座的石英支架
加热
• 由 2 x 12 个红外灯加热(红外加热器的标称电压/功率:230 V/2 kW)
• 顶部和底部加热(可选)
真空
• 压力刻度 10exp-3 hPa 或 RTP-200-HV 10exp-6 hPa
过程控制
• SPS 过程控制器,带 50 个程序,每个
程序最多 50 个步骤(以太网接口),SIMATIC
• 触摸面板
上可存储 50 个程序,每个程序最多 50 个步骤 • USB 2.0 接口,用于存储过程数据(CSV 文件格式)
• 包括 7 英寸触摸屏,操作直观舒适
水冷
• 需要水冷(入口压力:5 bar,进水温度:16...20 °C,低水硬度 (< 5° dH),
不含铜颗粒)
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
尤尼坦退火炉RTP-200的工作原理介绍
退火炉RTP-200的使用方法?
尤尼坦RTP-200多少钱一台?
退火炉RTP-200可以检测什么?
退火炉RTP-200使用的注意事项?
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尤尼坦退火炉RTP-200的操作规程有吗?
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