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6000 型建立在经过验证的 OAI 模块化平台上,具有完全自动化的正面和背面对准,具有亚微米印刷功能以及亚微米从上到下的正面对准精度,可提供任何价格都无法比拟的性能。选择顶部或可选的背面对齐,使用 OAI 定制的高级识别模式软件。这些掩模对准器采用 OAI 的先进光束光学器件,均匀性优于 ±3%,在第一掩模模式下每小时可处理 200 片晶圆,从而实现更高的良率。6000 系列可以处理各种晶圆,包括厚的粘合基板(最大 7000 微米)、翘曲晶圆(最大 7 毫米 - 10 毫米)、薄基板(最小 100 微米厚)和厚光刻胶。OAI 的增强型模式识别软件具有 +/- 0.5 微米的顶部对准,可提供可靠的可重复结果。对于背面对准,6000 型掩模对准机具有稳定的光学系统、长距离显微镜和先进的自动对准软件,可提供最可重复的正面到背面对准精度。6000 系列具有卓越的工艺重复性,是所有生产环境的完美解决方案。对于整个光刻工艺,Model 6000 可以与集群工具和 OAI 的自动掩模更换器无缝集成。OAI 的生产掩模对准器是完整的套件,也可配备 UV LED 光源。
标准正面功能:
双100万像素分辨率CCD相机
最大8英寸的基板,掩膜尺寸9' X 9''
Windows PC 控制,带配方储存功能
调整和定位的电动操纵杆
曝光模式:真空、硬软接触和接近模式
自动楔形效应补偿
标准背面功能:
包含正面所有功能
另外2个CCD相机
数码变焦
电动背面光学对焦
产品货期: 7天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
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