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迷你型快速热退火系统RTP-F500/F600 具有多功能，桌面型，占地面积小的一款实验室最受欢迎的系统。
结构精致，样品支架、电源和控制系统集成在一个
紧凑的3U盒中，与一个运转的干泵结合使用，可提供5
毫巴以下的真空。
可以执行各种热处理工艺，例如半导体样品的RTA。集成的微控制器单元允许最多20个步骤自由定义程序。在内存中，可以存储10个用户程序。
加热板的全尺寸示意图如右图所示
| 应用： |
● 快速热退火
● 材料合金工艺
● 欧姆接触退火
● 扩散过程与扩散研究
● 不同温度，气体，真空水平下器件测试效应研究
