仪器种类: 普通真空快速退火炉
产地类别: 国产
样品尺寸: 6英寸
温度范围: 室温~1250℃
最高升温速率: ≤100℃/s
退火温度均匀性: ±5℃≤500℃
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晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6,使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热内部石英腔体保温隔热,腔体外壳为水冷铝合金,使得制品加热均匀,且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制,系统能快速调节红外卤素灯管的输出功率,控温更加精准。
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
清华大学 | 2023-12-22 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可享受3次免费电话培训
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 免费更换小型配件,免费测试样品
报修承诺: 全国24小时内电话响应
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