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在研究和试制品使用
宽度:< 600mm
特点:
最先进的流程KIT为了缩短气周期
聚合物薄膜的高阻隔性能
可以使用多种物质在ALD系统
很容易的控制流程
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次现场培训
免费仪器保养: 根据需要,可协商
保内维修承诺: 24小时响应
报修承诺: 24小时响应
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