自动化度： 全自动
方块电阻测量范围： 1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq
方阻测量精度： ≤0.5%
电阻率测量范围： 10.0 μΩ·cm ～ 200.0 KΩ·cm
电阻率测量精度： ≤0.5%
基板尺寸： Φ200或140*140mm
测试电流范围： 5nA~160mA
测试电流精度： ±0.5%
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仪器简介：
SR2000N 是一款量测面电阻、电阻率的全自动款测试系统。本系统可D立运行，并可通过 PC 和Z用软件进行完善的远程控制，提供多种数据分析功能。
广泛应用于半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏......
技术参数：
- Z大可测样品尺寸：Φ200mm 或 140×140mm
面电阻测量：1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq
- 测量模式 : 接触式 4-探针
电阻率测量：10.0 μΩ·cm ～ 200.0 KΩ·cm
- 测量模式 : 接触式 4-探针 (需输入厚度)
软件系统：
- Recipe 测试：根据使用者设定的 Recipe 直接测试
- 标准测试：ASTM、SEMI
- Pattern 测试：49，81，121，225 点等
- 数据分析：2D、3D、数据图谱、统计等
- 数据 & mapping 可打印
主要特点：
- X,R,Z轴全自动控制系统
- 自动& 手动范围可选
- 通过PC进行控制
- 样品台尺寸大小可订制
典型客户：中科院上海物理所，中电47所，西安交大，北京大学，西安微电子技术研究所，
REC Solar，BP Solar......
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次，根据需要可再协商
免费仪器保养: 根据需要可协商
保内维修承诺: 24小时响应
报修承诺: 24小时响应
