特点
* 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。
* 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。
* 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从
10μm X 10μm 到 500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm(或更大)。
* 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
* 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率（最小０.１nm ）
* 软件设置恒定微力接触。
* 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面。
应用
—三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
—薄膜和厚膜的台阶高度测量。
—划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量。
—空间分析和表面纹理表征。
—平面度和曲率测量。
—二维薄膜应力测量。
—微电子表面分析和MEMS表征。
—
表面质量和缺陷检测。
