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芬兰Chipmetrics公司PillarHall高深宽比测试片
适用范围：
1、ALD/CVD制程的一致性分析
2、高深宽比结构侧壁上薄膜特性的分析
3、等离子增强ALD/CVD制程开发
4、ALD/ALE制程的动力学模型仿真
5、品质控制与保证
6、不同制程性能对比
7、晶圆级一致性测量
产品优势：
1、精确、快速且易于测量
2、针对关键指标设计的多种测试结构
3、使用简单的实验室设备即可进行测量
4、广泛兼容各种测量条件（温度、压力）
5、无需横切面，非破坏性取样
6、快速晶圆级三维分析
7、超高深宽比（>1000:1）
PillarHall测试片的分析流程
Pillar Hall
PillarHall LHAR4晶圆测试片用于ALC和CVD薄膜表征的横向高深宽比（LHAR）测试结构
它用作高深宽比沟槽中薄膜一致性和侧壁覆盖率的测量工具
PillarHall的创新方法消除了需要破坏样本、特殊分析工具、必须专业用户和特殊昂贵服务的需求，从而降低了测量成本。
Pocket Wafer
Chipmetrics测试晶圆的目的是为了让Chipmetrics的测试片在晶圆级制程中更易于使用。具有测试片槽位的测试晶圆设计用于承载多个15*15mm的测试片。可供选择的测试晶圆尺寸有150mm、200mm和300mm。
测量服务
成像椭偏仪Accurion EP4测量超薄膜厚度
光谱范围：UV-Vis-NIR
业内最高的横向分辨率：1um
快速PD测量
高精度显微镜椭偏成像
膜厚测量范围：0.1nm~20um
PD测量时间小于1min
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 6月1次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 48小时内响应
Accurion原子层沉积PillarHall的工作原理介绍
原子层沉积PillarHall的使用方法?
AccurionPillarHall多少钱一台?
原子层沉积PillarHall可以检测什么？
原子层沉积PillarHall使用的注意事项？
AccurionPillarHall的说明书有吗？
Accurion原子层沉积PillarHall的操作规程有吗？
Accurion原子层沉积PillarHall报价含票含运吗？
AccurionPillarHall有现货吗？
