旋转速度: 10000
旋转精度: 1
最大加速度: 4000
基片直径: 200 mm
腔体直径: 0
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n产品简介
BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统,性价比高,具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能,样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片,广泛用于大学,研究所等科研实验室。
n产品特色
÷ 桌面版本的紧凑型设计
÷ 手动装载/卸载
÷ 衬底最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 软件提供用户友好的操作
÷ 直驱旋涂电机
÷ 全轴电机驱动且完全可编程
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环,方便清洁。
÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)
÷ 包含 0.5 升废液瓶
n技术数据
÷ 衬底尺寸: 最大可达 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
÷ 电机转速: 最大 10.000 rpm,步长 1 rpm
÷ 电机加速: 最大 4.000 rpm/s
÷ 步进时间: 1 至 999.9 s,步长为 0.1 s
÷ 工作腔材料: PP
÷ 系统架构材料: PP
÷ 液体线路:
3线 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
5线: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
n选项
÷ 自动液体输送臂 ÷ 液体罐 ÷ 防溅环
÷ 废液池 ÷ DI水冲洗 ÷ N2吹扫
÷ 热板 ÷ 不同类型的夹具 ÷ 中心定位模块
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 培训人数不限
免费仪器保养: 半年1次
保内维修承诺: 免费维修更换零配件
报修承诺: 接到用户产品维修需求,3小时内做出反应。
Osiris匀胶机BASIXX ST20+的工作原理介绍
匀胶机BASIXX ST20+的使用方法?
OsirisBASIXX ST20+多少钱一台?
匀胶机BASIXX ST20+可以检测什么?
匀胶机BASIXX ST20+使用的注意事项?
OsirisBASIXX ST20+的说明书有吗?
Osiris匀胶机BASIXX ST20+的操作规程有吗?
Osiris匀胶机BASIXX ST20+报价含票含运吗?
OsirisBASIXX ST20+有现货吗?
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