产地类别: 进口
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1、产品简介
荷兰TeraNova公司的光栅尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理,可以无损、快速检测被测光栅的周期(pitch)、线高(Height)、占空比(DC)、边缘角(Side-wall Angle)、残余层厚度(RLT)、折射率(Diffractive index)等数据。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。
2、检测原理
光源的入射光线在物镜(Objective lens)的后焦平面(Back-focal plane)聚焦,通过物镜后产生准直平行光(Collimated light)照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置(Δ)来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射,形成不同光强的衍射级(Diffracted orders),收集不同入射角度(Incidence angle)对应产生的不同衍射级信号,与数据库信息进行拟合,就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。
3、主要技术参数
n 关键尺寸灵敏度:<2nm;
n 空间分辨率:50μm;
n 每个点扫描时间:15s-30s;
n 照射角度范围:-40°-40°;
n 仪器尺寸(高度-长度-宽度):1.8mÍ0.9mÍ0.5m;
n 最小晶圆厚度:0.3mm;
n 晶圆尺寸(直径):最大300mm;
n 基底兼容性:透明或不透明;
n 晶圆装载方式:手动或自动;
4、与扫描电镜(SEM)检测方法对比
待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印系统加工,使用SCIL公司的NanoGlass™无机光刻胶,光栅周期(Pitch)约为380nm,残余层厚度(RLT)约为47nm,线高(Height)约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合,得到样品几何参数。
测试结果对比:
检测方法 | 样品几何参数 | |||
周期 (Pitch) | 线高 (Height) | 残余层厚度(RLT) | 占空比(DC) | |
TeroNova 光栅尺寸无损检测仪 | 385nm | 102nm | 47nm | 42.5% |
SEM | 382nm | 97nm | 42nm | 43% |
结论:通过两种不同检测方法测得的样品几何参数的对比可以看出,采用TeroNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异,但由于TeroNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点,使其更适合应用于工业领域。
5、应用案例-光栅关键尺寸(CD)空间点阵扫描
样品尺寸:25mmÍ25mm
光栅周期(Pitch):380nm
线高(Height):96nm
光栅制备方法:基底保形纳米压印(SCIL)
1) 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品
2) 同一测量点,入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果
3) 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 培训人数不限
免费仪器保养: 半年1次
保内维修承诺: 免费维修更换零配件
报修承诺: 接到用户产品维修需求,3小时内做出反应。
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