Park NX20 原子力显微镜

• NX20型原子力显微镜简介：      

        NX20型原子力显微镜是韩国PARK原子力显微镜公司功能最强大的工业级大尺寸原子力显微镜，这是一款全自动的原子力显微镜系统，最大扫描范围达300mm*300mm，扫描分辨率0.02nm，集成了PARK公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，多种测量模式可选，NX20型原子力显微镜被广泛用于半导体，LCD，LED，OLED，硬盘等工业领域。

• NX20型原子力显微镜技术特色：

  1）采用非接触式工作模式：

  PARK公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。

  

  下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！

  

 2）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm

         Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。

3）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!!

4）操作极其简单：

       - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是PARK公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值

      - 具有中文，英文等多种操作界面

      - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。

    5）具有全球最广泛的原子力显微镜模式：

    6）工业级别的XEA软件：具有自动识别，自动扫描，自动分析功能，大大节约了人工操作的误差及浪费的时间。

          7）导电原子力显微镜：

         Park导电原子力显微镜在市场中竞争力最强，不但有着全行业最低的电流噪声，且增益范围也是最大，并且可实现电流快速扫描功能，是半导体测试电流的标准。

         - 业内最低的电流噪声(50fA)

         - 业内最大的电流(10mA)

• NX20型原子力显微镜主要技术参数：

  - XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm

- Z向闭环扫描范围大：达15μm

- 超高的测量分辨率：可达0.02nm

- 全自动扫描范围：150mm*150mm（200mm*200mm，300mm*300mm）

- 具有快速扫描功能：最高达100Hz

• NX20型原子力显微镜部分测试实例：