仪器种类: 飞行时间
原始束流或速能量: 30 kV
质量分析范围: 1-2500
质量分辨率: >800
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TESCAN 电镜质谱 FIB-SEM-TOF-SIMS 联用系统
电子显微分析是材料和生命科学微观分析中最重要的一环,而元素分析是其中最重要的表征手段之一,但标准的分析手段如能谱仪和波谱仪存在很多不足,例如因灵敏度不足、空间分辨率较差,无法进行轻元素、微量元素的分析,无法分辨同位素等等,普通的分析手段已不能满足现阶段应用的需求。
TESCAN 提供的解决方案是将飞行时间二次离子质谱与 FIB-SEM 系统集成。这种组合能够为用户提供固体材料的 3D 化学表征和分子信息,高离子质量分辨率和高空间分辨率成像等,并可以进行原位 FIB 深度分析。
飞行时间-二次离子质谱(TOF-SIMS)
TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有极高分辨率的质谱仪,工作原理是用聚焦离子束照射样品表面,从而在样品最上层的原子层激发出二次离子 (SI),再根据不同质量的二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。
与 EDX 相比,TOF-SIMS 可以实现更好的横向和纵向分辨率,还可以识别并定量样品表面层中存在的元素和分子物质,以及具有类似标称质量的同位素和其他物质等。
系统主要优势:
ü 高灵敏度,Be,B和Li之类的轻元素检出限可达ppm级
ü 优异的空间分辨率,横向分辨<40nm,纵向分辨率<15 nm
ü 正负离子均可检测,离子质量分辨率>800
ü 2维和3维快速、高离子质量分辨率和高空间分辨率成像,进行原位FIB深度分析
ü 通过坐标转移,保证不同仪器分析位置的重合
应用案例:
1. 轻元素及微量元素分析:Li 离子电池中 LI+ 面分布分析
2. 通过低电压和小束流 FIB 逐层减薄,成功区分出厚度为 2.5 nm 的掺有 0~15% 的 In 元素的 GaN 层
3. 金属复合材料中微量元素的晶界偏析测定,检出限可达 ppm 级
4. 对铀矿石进行初期的同位素分析,快速得到 238U 和 235U 的分布信息
关于TESCAN
TESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno,是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司,有超过60年的电子显微镜研发和制造历史,是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者,也是行业领域的技术领导者。
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
太原理工大学 | 2018-11-15 |
南京航空航天大学 | 2017-05-15 |
核工业北京地质研究院 | 2017-01-15 |
华南理工大学 | 2018-12-15 |
上海交通大学分析测试中心 | 2017-01-15 |
清华大学材料科学与工程研究院中心实验室 | 2018-10-18 |
双束电镜是在普通扫描电镜的基础上增加了离子枪,除了可以实现普通扫描电镜的功能外,还可以进行特定区域的加工。尤其在高校和科研院所,双束电镜最大的作用是给TEM进行高质量的样品制备。 利用双束电镜,用户可以根据需要在特定的区域进行可控的样品制备,这相对于传统的TEM样品制备方法有了很大的进步。但是一般双束电镜在特定的区域进行样品加工或TEM样品制备仍然是根据形貌图像来进行定位,现在随着科研水平的不断提高,仅通过形貌来进行定位已经越来越不能满足有些科研的要求。很多用户需要在特定的取向,或者相(相界)、晶粒(晶界)、应力部分、满足特定织构条件等区域进行样品的加工或者TEM样品制备,而这些要求用传统的双束电镜根据形貌定位则难以实现。用户只能随机的进行多个区域的加工,然后在TEM中进行倾转来满足一些需要。这样既费时费力,而且时常也达不到预期的效果。
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二次离子质谱FIB-SEM-TOF-SIMS的使用方法?
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泰思肯FIB-SEM-TOF-SIMS的说明书有吗?
泰思肯二次离子质谱FIB-SEM-TOF-SIMS的操作规程有吗?
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泰思肯FIB-SEM-TOF-SIMS有现货吗?
最多添加5台
TESCAN FIB-SEM-TOF-SIMS系统可按照我的需求进行定制配置,很方便。