TOF-SIMS飞行时间二次离子质谱仪

Kore SurfaceSeer I是一款高灵敏度的TOF-SIMS飞行时间二次离子质谱仪，具有高通量分析功能，可用于绝缘、导电表面的成像分析与化学成分分析。SurfaceSeer I 是研究表面化学的理想选择，适用于研发和工业质量控制应用。

TOF-SIMS飞行时间二次离子质谱仪主要通过离子源发射离子束溅射样品表面进行分析。离子束作为一次离子源，经过一次离子光学系统的聚焦和传输，到达样品表面。样品表面经过溅射，产生二次离子，系统将产生的二次离子提取和聚焦，并将二次离子送入离子飞行系统。在离子飞行系统中，不同种类的二次离子由于质荷比不同，飞行速度也不同，在飞行系统分离，通过检测这些离子进行相关分析。

SurfaceSeer I 使用与 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技术，但配备了高亮度、高空 间分辨率的 25kV 液态金属离子枪（LMIG）作为主要离子源。LMIG 的探头尺寸≤ 0.5µm，可实现高分析空间分辨率。全自动计算机控制，允许在质谱采集期间扫描离子枪，从而可以收集到化学图像或图谱。另外还提供了一个二次电子探测器（SED），用 于调谐初级电子束和 SED 图像捕获。

带有12.7µm重复单元的铜格栅

SurfaceSeer I 仪器特点：

• 配备25KV液态金属离子枪（LMIG）作为主要离子源，检测能力更强，质量分辨率更高；
  

• 具备表面成像和深度剖析功能；

• 提供的SIMS材料谱库包含上千种材料的质谱数据，可识别未知的化合物和材料；

• 可同时分析所有元素及有机物，可消除有机物和元素干扰，使谱图更清晰，检测限更低，能更有效地分析材料样品。

• 专用数据处理软件允许分析数据和样品的化学构成信息进行全面的交互提取，其所有储存的数据都能用于溯源性分析。

• 表面分析灵敏度高达 1x109 atoms/cm2

SurfaceSeer I 应用领域:

• 表面涂层和处理
  

• 电子元件和半导体
  

• 电极与传感器
  

• 润滑剂
  

• 催化剂
  

• 粘合剂
  

• 薄膜等包装材料
  

• 腐蚀研究
  

• 大学教学与科研