扫描电子显微分析装置【EmCrafts电镜附件】

概述

    先进材料在微纳米尺度物理缺陷和化学成分差异将对宏观性能产生重大影响，材料科技工作者需要从微纳米尺度掌握材料物理缺陷形成、成分差异演变、晶体结构组成的一般规律。针对这样的课题，使用扫描电镜（SEM）平台配套EDS/WDS/EBSD观察分析是最科学的解决方案。

    EDS作为SEM最常用的分析附件，使用Si半导体晶体对元素特征X射线展谱，自1970年代商品化以来，技术性能不断进步，当前技术，可在分秒间对微纳米尺度成分差异做出准确判断。分析报告包括材料微观图像和不同微观区域化学成分，全元素构成，元素百分比以及测量方差。
    WDS作为最早配合电子束探测材料微区元素组成的X射线分光仪器，特征X射线能量分辨率5-10电子伏，对微量成分定性定量精度比EDS提高一个数量级，目前在半导体，电子材料，地质矿物和特殊合金研究中广泛使用，但波谱分析逐个元素进行定量，比较耗时，对电子束束流稳定性提出更高要求。

    EBSD，采用高能背散射电子，对样品剖面做晶体衍射，从而获得微区晶体结构，取向，分布定性定量结果。在金属、陶瓷和地质学分析显微结构及织构中使用越来越广泛。

【EMCRAFTS】钨灯丝系列扫描电子显微镜

Emcrafts第二代钨丝枪系列扫描电镜，均采用专业级电子显微成像技术，专业设计电子显微分析附件探测器接口，优化探测器几何探测效率，是优良的扫描电子显微分析平台。

Cube-200桌面台式电镜，可拓展简单易用的台式电镜专用能谱仪（EDS） ；

Genesis-I型分析电镜，可拓展专业级X-ray能谱仪，定量更精确；    

Genesis-II型分析电镜，可拓展专业EDS、WDS、EBSD装置、CL等多种电子显微分析附件。

Veritas-300型分析电镜，具有大型样品观察分析仓，可装备更多电子显微分析附件和微操作样品台。

OXFORD INSTRUMENT 牛津仪器电子显微分析装置 （EDS/WDS/EBSD）

1、 简单易用台式电镜专用能谱EDS：
      无需专业培训即可使用的产品。    

      Cube台式电镜专用。

2、 专业能谱EDS：
探测器具有伸缩机制， 可优化探测器采集效率；

经专业培训，可获得更准确元素定性定量测试结果；

常规使用无标样定律分析和简易EDS一样方便。             

Genesis-I型/ Genesis-II型/ Veritas  均配置专业能谱仪EDS。

Overview 综述

• Detects elements from Be to Pu  
  元素探测范围 Be铍-Pu钚（4-94）

• Premium resolution of 125 eV available, guaranteed on your SEM
  可获得125ev极限分辨率

• Resolution measured in compliance with ISO 15632:2012

• 检测标准服从 ISO 15632:2012
  

• Compatible with INCA® and AZtec® EDS analysis software
  兼容INCA和Aztec能谱分析软件

Feature特征 

• Reliable AutoID for element identification可靠地自动元素定性

• Accurate quant – all count rates所有计数率的精确定量

• Stability guaranteed from 1,000 to 100,000 cps – peak shift and resolution change <1 eV

  保证计数率1000~10万 cps谱峰能力稳定性- 峰漂移和分辨率变化小于1ev

• Full software correction at very high count rates including pile-up correction

  极高计数率全软件自动死时间校准
  

• Excellent low energy analysis with detection from Be to Pu

  更好的低能x射线分析

• Resolution guaranteed on SEM at MnKa, FKa, and CKa

  采用 锰Ka，氟Ka，碳Ka X射线线系保证在SEM上EDS分辨率

• In compliance with ISO 15632:2012

• Fully integrated analytical hardware chain for fast, reliable analytical performance

  完全一体化信号处理硬件，保证快速、可靠地分析性能

X- Act   Advantage优势

• A high quality SDD for routine EDS applications where the performance of the X-MaxN is not need
    高质量的硅漂移电制冷EDS探测器用于无需 X-Max大面积晶体的日常常规EDS分析应用

• Up to 10x count rates of Si(Li) detectors, for increased productivity and no loss of analytical performance
    比锂漂移硅探测器提高十倍探测效率，而不损失分析性能

• LN2-free operation

•   无需液氮

3、波谱仪WDS:

 WDS是扫描电子探针标配，不同于能谱仪同时展谱方式，而是一个谱峰接着一个谱峰进行信号收集展谱，全元素谱采集需要逐个更换多个衍射晶体，因此扫描探针一般装备四道不同波段波谱探测器同时采集，提高了采集速度。而扫描电镜一般只能设计一道波谱的安装空间。

      波谱具有极高的谱峰能量分辨率，更高峰背比，元素定量精度和灵敏度比能谱高1~2个数量级。

      Genesis-II中型扫描电镜，和Veritas大型扫描电镜，可支持安装波谱。

     牛津仪器X射线波谱仪依然使用传统罗兰园对X射线进行衍射对焦，按照特征波长顺序逐个元素进行定量。波谱能量分辨率极高，极低的谱峰背底，从而可探测到EDS无法探测的痕量元素，并且定量精度大幅度提高。

WDS-波长色散谱仪, 简称波谱仪-相较能谱仪来说，波谱仪的能量分辨率更高，痕量元素准确定量更准，无论高能或低能X射线皆可在优化的条件下采集……

“令SEM的元素分析达到电子探针的准确度”

Overview

• 低于500pppm下准确定量分析

• 分辨率小于10eV，有效区分EDS中重叠峰，如S/Mo等

• 即使出现重叠峰，WDS也可以快速准确的辨别样品中所有元素

• 分析痕量元素比EDS灵敏100倍

• SEM最准确的元素定量分析工具

• 可以同时结合XPP算法支持的主元素使用ED分析，痕量元素WD分析，从而达到EPMA的准确度。

 INCA WAVE WDS是使用于有如EPMA完全相同的全聚焦几何条件的SEM上的谱仪。意味着分辨率提高2倍、更稳定、更高效的测量。

WAVE是全聚焦谱仪，以其精度及准确著称于世。谱仪内部组件（晶体、探测器及测角仪）功能完全协调优化，具有超高精度，准确衍射条件保证测量精度的高重复性。样品的垂直定位精度并不十分关键，因为谱仪安装于倾斜的罗兰圆上。易于所有操作人员获得好重复性的结果。同时也不需要像平行光谱仪所需要的光学显微镜的样品定位的繁琐。

• 能量分辨率低至2eV，有效分辨各种重叠峰

• 极低的检测限，某些元素可测低于100ppm的含量

• 标配能量范围高至10.8eV（15keV为选配）

• 依据XPP算法的准确定量分析

• 长达25年的发展造就可靠且强大的机械设计

• 多种电镜皆适用，商业的，可变真空的，环境的，场发射的等等多种

• 多种样品皆可获得准确结果，包括轻元素，低束流下（<5nA)获得高空间分辨率等

• 
  

4、 电子背散射衍射装置EBSD：

    对材料中的相鉴定，晶体取向分布进行研究的装置。晶格散射入射电子，其中背散射电子大部分保持良好相干性（波长相近），形成衍射花样照射在荧光屏上，荧光屏后的高速数字相机及时抓取获得数字化衍射花样图像，经过对花样分析获得该处像素的晶体结构和取向数据。     

    一副电镜图像的所有像素，逐个采集花样，形成面分布。需要相当长采集时间。

    Genesis-II中型扫描电镜和Veritas大型扫描电镜，可支持安装EBSD.

NordlysNano EBSD探测器以高空间分辨率及角分辨率著称。更加适合纳米尺度特征的检测：对菊池花样的细微变化更加灵敏，实现的光学畸变及高的分辨率。

 综述

• 有效区分晶格参数非常接近的晶体

• CCD分辨率达到1344 x 1024

• 0.5nA的束流下进行正常数据采集

AZtec EBSD系统集 AZtecHKL采集、分析软件以及Nordlys EBSD探测器于一体，实现最全面的EBSD分析。

是显微结构表征的有力工具，它可以检测：

• 晶体取向

• 晶粒尺寸

• 织构

• 再结晶/变形分布

• 亚结构分析

• 应变分析

• 晶界特性

• CSL边界分布

• 滑移系统分析

• 相鉴定，分布及相变

• 断裂分析...

AZtecHKL是目前最强大最灵活的EBSD系统，全面改观EBSD数据采集的新思路。无论初学者或EBSD专家，均保证采集到同样准确的数据，速度更快，精度更高。

AZtecHKL综述
 

• 高级EBSD软件可以实现采集及分析数据，完全同步进行

• 推出新一代EBSD探测器，NordlysMax2 （快速型）以及NordlysNano (灵敏型）

• 真正实现同步采集EDS及EBSD数据及分析

• 基于现代多任务系统，可以实现采集、分析及出报告同步完成

• 4k的图像分辨率

• 专为不同用户的环境设计——用户可以根据个人喜好更换导航模式或自定义模式

5、EDS/WDS/EBSD 一体化操作软件   

      形貌成分和晶体结构原位分析，可同时进行。
    AZtecSynergy 操作软件可全面控制电子显微分析装置。