自动化度: 半自动
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美国Four Dimensions,Inc, 简称“4D”,成立于1978年,位于美国加州硅谷的Hayward, 4D公司专注于四探针设备和CV仪的生产和销售,累计销量达800台以上,遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业,大学及科研机构。
美国4D公司的四探针/方块电阻/电阻率测试设备:280SI (4D品牌中最普及的型号)
测量尺寸:晶圆尺寸:2-8寸(333系列可测量大至12寸晶圆,1100系列可测量大至2160mmX2400mm平板系列)
方形片:大至156mm X 156mm;
测量范围: 0.001欧姆/平方 至 800000欧姆/平方(标准型);
可往下扩展至:0.0001欧姆/平方,往上扩展至8e9或8e11欧姆/平方。相对应的电阻率,薄膜厚度根据不同材料不同应用而不同,但都是以方块电阻作为基础设备自动计算得出,注意这是选项价格要高不少,建议客户按实际需求选择购买。
测量方式: 电脑程序自动测量,或不连电脑单测量主机也可实现测量和数据显示,此时非常适合测试不规整样片单点测量,适合实际研究需要。
测量的数据: 方块电阻/电阻率/薄膜厚度,根据具体应用可以设置不同测量程序。
测量的点数: 程序编排任意测量点位置及测量点数量,对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。
测量的精确度:<0.1% (标准模阻);
测量重复性:<0.2% (特定片子);
测量速度:>45点/分钟;
测量数据处理:根据需要显示2D,3D数值图,或按要求统计并输出Excel格式文件;
边缘修正:具有边缘修正功能,即片子边缘3mm以内区域都能测量;
探针材料:钨钢与硅片的接触电阻最小,且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料,以确保长时间使用后间距的一致性;
探针压力可调范围:90-200克之间可调;
可供选择的探头类型:根据测试不同工艺要求有A, B,K, M, N等相关型号探头选择,另外还可提供专门为客户定制的应用特殊要求的探针,比如测试薄至30A的薄膜时需要使用MR型探头,这是四探针设备供应商少有能做到的。
设备应用:
IC FAB/FP dispaly/LED:扩散,离子注入等掺杂工艺监控调试,薄膜电阻率或厚度测量等工序,如Intel,IBM,Motorola,TSMC,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...
材料类研究:杜邦(中国),电力科学院,中科院,山东科学院,清华大学,北京大学,复旦大学,华师大,电子科大,国家标准化所,质检所,光伏科学与技术国家重点实验室,Applied Materials, Materials Research...
新能源:尚德,晶澳,英利,阿特斯,天合,LDK,海润,腾晖,鑫辉,东磁,向日葵,奥特斯维,尖山,晶科,力诺,韩华,神舟,光为,艾力克,吉阳,东营,中盛,First solar,Solar world...
客户群广:国内已经卖出近300台之多,全世界累计各种型号四探针设备近千台,四探针设备的优质品牌。
使用成本
4D公司所提供的探针质保次数是25万次,而实际从客户反馈的信息是寿命达到100万次以上,甚至150万次以上。同时4D还为客户提供探头的探针更换服务,大大降低客户的使用成本。
市场占有率高
国内行业内有几百台的占有率,公司品牌4D已经成为四探针的代名词;
服务有保证
本地化的齐全的备件储备(北京,上海分别设有服务中心),样机应急供给服务,及优质的售后服务团队;
根据应用不同工艺要求对应的探针类型详细说明:
测量数据电脑图(2D/3D)
各类型四探针设备说明:
根据客户不同使用要求有更多选择
* 使用液体金属汞探针替代传统硬探针的四探针设备,如:M4PP 3093;
* 针对III IV族化合物材料,应用“dynamic AC waveform”克服测量的接触电阻问题,该型号为:680I;
* 根据不同应用要求,可增加的功能有:温度控制/补偿,边缘修正,样品台定制,自动化要求定制,探头自动切换,通讯接口扩展,测量范围扩展等。
* 具体更详细的资料请浏览4D官网: 或来电咨询(联系信息如下)。
吴惟雨/Caven Wu
美国赛伦科技上海办事处/Saratoga Technology International
4D产品中国总代理服务商
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
韩华新能源 | 2010-06-18 |
腾晖电力 | 2011-08-09 |
横店东磁 | 2010-09-12 |
神舟新能源 | 2010-10-12 |
山东科学院 | 2012-10-31 |
电力研究院 | 2012-10-25 |
赛维LDK | 2011-07-08 |
利昂半导体 | 2010-05-06 |
阿特斯 | 2010-06-09 |
天合光伏 | 2010-03-09 |
电子科大 | 2010-03-02 |
新进半导体 | 2012-04-10 |
华南师范大学 | 2011-10-19 |
上海集成电路研发中心(ICRD) | 2009-09-01 |
杜邦中国 | 2012-07-21 |
北京大学 | 2009-08-12 |
英利能源 | 2011-03-19 |
晶澳太阳能 | 2010-08-19 |
尚德电力 | 2012-05-18 |
中科院 | 2010-06-16 |
华润微电子 | 2010-05-16 |
复旦大学 | 2011-03-30 |
国家质检所 | 2012-07-18 |
国家标准化所 | 2010-07-12 |
清华大学 | 2010-05-16 |
保修期: 根据合约
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 根据合约
免费仪器保养: 根据合约
保内维修承诺: 根据合约
报修承诺: 根据合约
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
型号:4D-CV-92ab 10万 - 30万WEP,ECV PN结深度测试仪/扩散浓度分布)
型号:CVP21 9.18万美国Mactronix硅片倒片机(半导体FAB专用)
型号:MCL-x50 30万 - 50万MTI 硅片几何参数(厚度,TTV,Bow,Warp)
型号:MTI 300i/300SA 10万 - 30万280系列:最大8英寸晶圆,或测试平整表面样品,根据应用不同有PI,PCI,SI,TSI,TCI,DI,HCI等不同型号,其中SI为最普及型(大概占280系列销量的95%以上); 120系列:测试大尺寸棒状或块状样品; 1100系列:测量最大到2130mm X 2400mm,平板行业专用; 680系列:III IV族化合物专用; M4PP 3093系列:采用液体金属汞替代传统金属探针的四探针设备; 233/333系列:针对最大8寸或12寸的全自动型设备;
四维四探针测试仪280SI的工作原理介绍
四探针测试仪280SI的使用方法?
四维280SI多少钱一台?
四探针测试仪280SI可以检测什么?
四探针测试仪280SI使用的注意事项?
四维280SI的说明书有吗?
四维四探针测试仪280SI的操作规程有吗?
四维四探针测试仪280SI报价含票含运吗?
四维280SI有现货吗?
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