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§ General Description
§ The Loadstation
§ The Furnace
§ PC-MUX Controller
§ Gas Source Cabinet
§ Scavenger
§Robotics/Automation
§ Thermco5000 Series
•5000series was developed for 150mm wafer processing
•Up to1016 mm flat zone (5200 model)
•Typically4 tubes per stack
•Normallyconfigured for semi-automatic loading
§ Thermco8000 Series
•8000Series is Thermco’s largest furnace system
•Developedfor 200mm wafers
•Usedin PV production for 156x156mm cells
•Up to5 tubes in one stack
•Canbe configured for full automation
•Up to1100 mm flat zone (8200 model)
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| GE | 2009-11-09 |
| Amprius | 2010-04-09 |
| Wacker/Siltronic | 2009-08-09 |
| Dynex Semi | 2011-02-03 |
| Infineon | 2010-12-03 |
| TSMC | 2009-12-03 |
| Vishay(台北) | 2009-12-08 |
| Rectron | 2010-12-09 |
| Sooner Semi | 2010-09-19 |
| Sino America | 2010-02-01 |
| Seefull(上海) | 2009-09-18 |
| EVERWELL（天津） | 2010-08-03 |
| SXHF（山西） | 2011-01-08 |
| 敦南科技 | 2009-03-09 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人
免费仪器保养: 2次一年
保内维修承诺: 非易耗品不收费
报修承诺: 24工作小时到现场
瞬态光电流（TPC）/瞬态光电压（TPV）测量系统
HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
Thermofisher ELITE
光学表面缺陷分析仪
北京正通远恒科技有限公司
德国UniTemp 回流焊炉RSS-160,RSS-210
上海麦科威半导体技术有限公司
Laser Annealing,激光快速退火炉
南通宏腾微电子技术有限公司
DAGE X-Ray
北京锐峰先科技术有限公司
