中科微电子 单片晶圆清洗机QSG-150-2Y
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中科微电子 单片晶圆清洗机QSG-150-2Y

¥2万 - 4万

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Hinds Instruments

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QSG-150-2Y

--

中国大陆

  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

一、设备概况
1.1应用领域:单片清洗甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有药液腐蚀,纯水清洗,高速甩干,氮气烘干等特点。不同晶圆尺寸,可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备,体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的清洗干燥工艺。具有成本低,快速应用生产等优点。
1.2名称:单片清洗甩干机
1.3型号:QSG-150-2Y

二、主要结构特征
单片清洗甩干机主要伺服电机,PLC控制器,人机界面,高洁净阀门,PFA管,氮气加热器,防腐蚀外壳,以及甩干头等部分组成。
2.1材质:进口PP板,能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机,可实现每分钟10-3000转,低速均匀清洗,高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面,稳定可靠控制各个部件,直观可视化操作模式。
2.4大功率氮气加热器,快速加热氮气,提高烘干效率。
2.5甩干头详情 可根据客户需要定制适用不同规格尺寸的甩干头。
2.6可配置多组药液冲洗,并有药液回吸功能。


三、主要技术参数

项目

主要性能指标和参数

加工硅片尺寸

2-8 英寸圆片

单次甩干数量

1片

工位数量(个)

1个

药液槽

2个

药液加热

药液喷嘴

2个

纯水喷嘴

1个

氮气喷嘴

1个

旋转速度 RPM/MIN

10-3000

清洗甩干时间

2-5min

腔室及氮气加热方式

电加热器

氮气压力

0.25Mpa,氮气管接口6mm

纯水压力

0.15Mpa, 管接口6mm

排水管

12mm卡套接头

控制系统

PLC可编程控制器

显示

4.3寸触摸屏

电源

220V

整机功率

2KW

外型尺寸(深*宽*高)mm

长420mm*宽420mm*高535mm


四、售后服务及培训

4.1技术培训

设备试生产运行前,卖方负责培训买方相关操作和维修人员,内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。

4.2售后服务

质保期内设备如发生故障,在得到买方通知后 4 个小时给答复,24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。

卖方对设备提供终生的免费技术支持,随时处理、解答买方提出的技术问题。

质保期内每年派出 1~2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。

技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。


五、设备验收

5.1设备交货期见商务合同

5.2交货方式

设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后,验收合格整体交货。

设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方,由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。

卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收,经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料,但不作为设备的结束验收。


售后服务承诺

产品货期: 30天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后30天内

是否提供预防性维护计划:

是否提供期间核查方案:

是否提供免费应用支持:

是否提供线上售后平台:

维修付款方式: 先维修后付款

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