主要应用
薄膜/厚膜台阶的精准量测
· 蚀刻深度星测
· 柔性薄膜
· 表面粗糙度/平整度表征
· 薄膜2D应力量测
· 表面起伏度/弯曲度
· 表面3D结构分析与表征(D-600)
· 其他多种表面分析功能
KLA是全球半导体在线检测设备市场最大的供应商, 在半导体 数据存储 MEMS 太阳能 光电子以及其他领域中有着极高的市占率。 Alpha-Step"探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D(D-600)轮廓扫描, 以及翘曲度和应力的2D测呈。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测呈,大垂直范围和低触力测量功能。
探针测猛技术的 个优点是它是 种直接测猛, 与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构
和材料进行精确测噩。 通过测昼粗糙度和应力, 可以对工艺进行星化, 确定添加或去除的材料噩, 以及结构的任何变化。
D-500/D-600提供最高12DOµm垂直星测距离, 亚埃分辨率以及0.03-15毫克的针压控制范围。 具有广泛的应用范围, 包括从纳米级到毫米级的台阶高度, 高分辨率的粗糙度, 软材料和薄膜应力等, 使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。
D-500配有740毫米的手动载台。 D-600配有200毫米的自动载台,有手动deskew对齐和多达7000个昼测位置的可编写序列软件功能。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修(各种消耗品除外),仪器提供全面维护,使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应(除节假日外),以最快的速度派遣
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