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v 应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品
v 样品尺寸:基于所选择的平台而定,圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
v 测量范围:
Ø V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
Ø 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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