200nm超速高精度无掩模光刻直写系统
200nm超速高精度无掩模光刻直写系统

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S600

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中国大陆

核心参数

超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统-----国家级实验室的技术

型号S600
典型加工线宽200nm
最小加工分辨率200nm
特征结构加工均匀度10nm
最高加工产率60mm2/min
加工尺寸标配100×100mm
可选配最大300×300mm
电力要求220V AC 50HZ


超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统应用领域:
工业:无掩膜版制造、医疗器械、晶圆级微纳加工、光子封装、快速原型制作、小批量系列生产

生物医学应用:细胞支架、皮肤/组织模型、智能/活体材料、微针阵列、药物输送载体、纳米/柔性机器人、血管模型、细胞力学和迁移的拓扑结构、生物传感器、亚微米级图案设计
科研:生命科学、材料工程、微流控技术、微纳力学及MEMS、折射微光学、衍射为光学、集成光子学、光学传感、量子技术

 
 
超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统材料:
光刻胶:生命科学用光刻胶、石英玻璃光刻胶、光刻负胶、无机固态光刻胶、有机无机杂化光刻胶、功能性光刻胶等

联系人:平生          


售后服务承诺

产品货期: 120天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

安装调试时间: 到货后10天内

电话支持响应时间: 24小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 1天内

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