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bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP
——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射
InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合,可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。
·0.3纳米长期稳定
提供NIST可追踪的参考计量,并在一年内保持测量的稳定性
·260-340个站点/小时
内联应用程序的*高生产效率
减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量
·高达36000微米/秒
仿形速度
通过热点识别提供高分辨率3D特征
·*高分辨率,尖-端寿命长
InSight AFP的TrueSense®技术,具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控,具有无与伦比的可重复性,无需依赖测试键或模型。
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蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制
Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新,包括Bruker的专有CDMode,用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量,实现了显著的成本节约。此外,AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。
自动缺陷审查和分类
当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小,需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息,使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。
100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm,确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。
3D模具映射和HyperMap™
分析速度高达36000μm/sec,能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动,实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。
在本例中,在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 现场操作培训
免费仪器保养: 1年1次
保内维修承诺: 免费更换部件,玻璃制品和耗材除外
报修承诺: 24~48小时到达现场进行维修
德国BRUKER 原子力显微镜AFM Dimension FastScan
型号: Dimension FastScan 200万 - 250万布鲁克原子力显微镜Dimension Icon
型号:Dimension Icon 100万 - 150万bruker布鲁克原子力显微镜MultiMode 8-尔迪
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型号:NanoWizard 4 XP 150万 - 200万【rtesp - 300探针】bruker 原子力显微镜探针
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面议bruker MultiMode 8 SPM 中文操作手册 原子力显微镜-有需要可以联系上海尔迪仪器科技有限公司
原子力显微镜是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。
上海尔迪仪器科技有限公司最近上新,新产品有售,下面一起来看看吧!布鲁克傅立叶、X射线衍射仪、全自动afm
傅立叶变换红外光谱仪是基于对干涉后的红外光进行傅里叶变换的原理而开发的红外光谱仪,可以对样品进行定性和定量分析,广泛应用于医药化工、地矿、石油、煤炭、环保、海关、宝石鉴定、刑侦鉴定等领域。
布鲁克扫描探针 InSight AFP的工作原理介绍
扫描探针 InSight AFP的使用方法?
布鲁克 InSight AFP多少钱一台?
扫描探针 InSight AFP可以检测什么?
扫描探针 InSight AFP使用的注意事项?
布鲁克 InSight AFP的说明书有吗?
布鲁克扫描探针 InSight AFP的操作规程有吗?
布鲁克扫描探针 InSight AFP报价含票含运吗?
布鲁克 InSight AFP有现货吗?
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