扫描俄歇纳米探针

1. 使用CMA通州分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下，都可轻松的进行分析。

2. 以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达≤8nm

3. 在保有所有CMA的优点同时，并加上了获得AVS（美国真空协会）设计奖的高能量分辨率功能，可以AES进行各种纳米级区域的化学态分析

4. Windows兼容软件

同轴筒镜分析高灵敏度和高通量分析仪CMA

1.同轴筒镜分析仪

同轴CMA是PHI公司在其电子光谱仪的中心轴上放置电子枪。CMA能各方面360度收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点，下图显示同轴CMA和非同轴谱仪SCA的灵敏度特点。CMA从垂直入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点，角度依赖性低，从而采用各种入射角度，分析各种形貌的样品均可得到好的定量结果。

     △同轴CMA及非同轴分析器SCA灵敏度的比较

2.比较分析形态复杂的样本

下图比较CMA和SCA所采集的铜锡球SEM成像，以及俄歇成分像，SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显，而CMA所获得的SEM像和俄歇成分像可准确地反映真实结果。

        △球状样品中CMA和SCA数据的比较

SEM空间分辨率≤3nm

AES成分像空间分辨率≤8nm

俄歇分析通过SEM观察确定分析位置，再进行采谱，成分分布成像和深度剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑，同时进行俄歇分析，需要非常稳定的电子束。

SEM成像分辨率可达3纳米左右，AES710使用低噪声电源（图1），采用隔音罩以减小震动、声音和温度的影响，AES分析时分辨率可达到8nm（20kV  1nA）

图2案例：球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。

图2所示：二次电子像，Ca（蓝色）Mg（绿色）Ti（红色）俄歇成分像，以及S的俄歇成分分布像，表明了AES纳米级微区的化学分析能力。

AES化学态分析图谱和分布像

PHI710 AES成分像，每个像素点对应的图谱可对元素存在的化学态进行解析，进而化学态成像。

高能量分辨率

下图显示半导体芯片电极Si KLL的高能量分辨率成分分布图。由Si KLL谱进行 小二乘法拟合（LLS）得出三个主要成分：硅、氮氧化硅、金属硅化物，可得到这三种硅的化学态在同一表面的分布像。

                 △半导体芯片电极分析实例

基于Windows系统的操作软件和数据处理软件

SmartSoftTM-AES（操作软件）

SmartSoft AES是在Windows系统上运行的PHI710控制软件。软件设置的AES分析操作流程显示在屏幕上，即便是初学者也可以轻松掌握。为提高分析效率，实时测量位置，SEM图、俄歇分布图及谱图等都能同事呈现。Zalar旋转功能使深度剖析灵活实现，烘烤和真空控制自动化。下图是操作屏幕画面。

PHI MultiPakTM（数据分析软件）

提供分析软件PHI MultiPak使俄歇分析更完善。支持快速创建报告，并提供了基于WINDOWS

系统的易于使用的数据处理功能和数据分析能力。