单点硅片寿命测试 MDPpro 晶圆片/晶锭寿命检测仪
单点硅片寿命测试 MDPpro 晶圆片/晶锭寿命检测仪

¥80万 - 100万

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Freiberg Instruments

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MDPpro- 晶圆片/晶锭寿命检测仪

--

欧洲

  • 金牌
  • 第7年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

弗莱贝格的MDPpro(晶圆片/晶锭寿命检测仪)系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等,其非接触式检测和无损成像(μPCD /MDP(QSS))的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说,MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商的标准仪器。


特性&优势▼

无接触和无破坏的半导体检测;

特殊underneath the surface”寿命测量技术;

对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度;

自动设置硅錠切割标准;

空间分辨p/n电导型变换检测;

多项数据同时自动检测扫描,5幅测量图形同时绘制;

坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装,仅需要电源。

 

应用实例▼

1.日常寿命测量,质量控制和检验

图片 3.png

高产量:>240块/天或>720片/天
测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%
可重复性:> 99.5%
电阻率:可做面扫描,不需经常校准


2. 精密材料研发

a.铁浓度测定
b.陷阱浓度测定
c.硼氧测定
d.依赖于注入的测量等
图片 4.png


售后服务承诺

保修期: 面议

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 面议

免费仪器保养: 面议

保内维修承诺: 面议

报修承诺: 面议

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