MDPmap 晶圆片寿命检测仪
MDPmap 晶圆片寿命检测仪

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Freiberg Instruments

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MDPmap

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欧洲

  • 金牌
  • 第7年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

应用范围用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量

 

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特性

●灵敏度:外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视化
●测量速度:6英寸硅晶圆片,1mm分辨率 ,小于5分钟
●使用寿命: 20纳秒到几毫秒
●污染测定:源自炉和设备的金属(Fe)污染
●测量能力:从初始切割的晶圆片到完全加工的样品
●灵活性:固定测量头允许外部激光与触发器耦合
●可靠性: 模块化和紧凑的台式仪器,更高的可靠性和正常运行时间> 99%
●重现性: > 99.5%
●电阻率:不需要频繁校准

用于研发或生产监控的灵活检测工具

   MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品,包括在不同的制备阶段,从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。。 
   MDPmap的主要优点是其高度的灵活性,它允许集成最多4个激光器,用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量,或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及μ-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算,也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务,可用一个预定义的标准,使常规测量只需按一个按钮。
 


相关方案

  • 少数载流子寿命是影响半导体器件性能的基本参数之一,特别是对于应用在高压器件中的SiC来说。对于外延层来说,载流子寿命的主要影响因素是相当复杂的,因为外延层表面、外延层-衬底界面、外延层和衬底这都有助于载流子复合行为。

    半导体 2023-06-28

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售后服务承诺

保修期: 面议

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 面议

免费仪器保养: 面议

保内维修承诺: 面议

报修承诺: 面议

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Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPmap的工作原理介绍

其他半导体检测仪MDPmap的使用方法?

Freiberg InstrumentsMDPmap多少钱一台?

其他半导体检测仪MDPmap可以检测什么?

其他半导体检测仪MDPmap使用的注意事项?

Freiberg InstrumentsMDPmap的说明书有吗?

Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPmap的操作规程有吗?

Freiberg Instruments其他半导体检测仪MDPmap报价含票含运吗?

Freiberg InstrumentsMDPmap有现货吗?

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