¥100万 - 200万
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P-1000 Pro ALD
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欧洲
产地类别： 进口
衬底尺寸： -156 mm x 156 mm
工艺温度： -50 - 500 °C
前驱体数： 。液态、固态、气态、臭氧源 。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 。8根独立源管线，最多加载12个前驱体源
重量： -2000KG
尺寸(W x H x D)： -(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
均匀性： -100%
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保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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