Heron全自动化等离子清洗系统

Heron系列全自动化等离子表面处理系统应用于小型生产以及研发实验室使用。Heron 80是一款独立式等离子系统，专为表面清洁，改性，活化和蚀刻而设计。它可以在不同的材料上运行，如金属，塑料，陶瓷，纸张等。用户友好的图形界面与高效的射频系统相结合，使Heron 80成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。

系统的技术描述

Heron 80是一款大尺寸独立等离子系统，专为表面清洁，改装和激活而设计。 它可以在不同的材料上运行，如金属，塑料，陶瓷，纸张等。 下面描述的特性使Heron 80成为小型生产或研发环境的简单通用解决方案。

主机由不锈钢制成，带有可拆卸的后面板和侧面板，便于维护或故障排除。 外部装饰是“轻刷”。它也可以安装在带有“穿墙”配置的洁净室中。

Heron 80的控制系统基于配备触摸屏HMI操作面板的先进PLC。 由于用户友好的图形界面，可以直接操作系统组件或让PLC根据用户可编辑的配方执行过程。 PLC具有快速扫描时间，可连续测量所有系统参数，以确保均匀可靠的过程。 无法避免的手动处理是装载/卸载样品的步骤。

   Heron 80是等离子体反应器[1]电容耦合并且包括圆柱形处理室，其内部具有几个同心笼电极。

   他的处理室由铝制成。 由于表面上形成了天然的氧化铝，铝可以在许多工艺气体（包括氟化蚀刻气体）的存在下使用，这一特性使这些反应器适用于大多数反应等离子体环境（即蚀刻，灰化...）。 没有焊接可确保更好的密封，从而防止过程中的外部污染

产品特点

?成本低
?触摸屏显示提供实时的所有主要信息，出色的过程控制和快速分析

?能够处理多达十种不同的可编辑配方
?一致结果的一致性
?数据记录功能，频率<0.5 Hz，用于过程的历史条件
?出色的过程控制和长期可靠性和稳定性
?使用的主要品牌组件，如真空计和质量流量控制器（MKS仪器）
?射频功率可在1W至600W范围内调节

技术规格

尺寸        宽 x 长 x 高     700 x 600 x 1750 mm

净重             130 Kg （不含真空泵）

净空             右，左，前 -  600mm，后 -  254mm