桌面型纳米压印机CNI v3.0

桌面纳米压印机，易于复制微米和纳米级结构。

纳米压印（热和紫外线）

直径高达210mm圆形模板，带紫外线

150 * 150mm方片模板，采用热处理工艺

热压印

操作简单直观

用途广泛

即插即用

专为研发而设计

CNI v3.0 PV是用于纳米压印和热压印的小型桌面工具，可完成微米和纳米结构从模板复制到基质。

CNI v3.0 PV纳米压印机可以执行热压印以及紫外压印，CNI纳米压印机是纳米复制的完美起点，同时也支持成熟和高级的开发工作，纳米压印机操作简单，坚固耐用，便于非标准流程和新实验。

易于安装    即插即用（不到20分钟的时间内就可运行工作）

优势        凭借其热压印和紫外压印的功能，如果需要，在真空中，CNI v3.0 PV纳米压印机在其产品中是独一无二的，并支持许多不同的技术和工艺。

使用方便    无需查看使用手册，每个人都能使用；

紧凑尺寸    26*30*14cm(120mm腔室的尺寸)；

            42*44*14cm(210mm腔室的尺寸)；

安装        CNI结构紧凑，无需固定安装；

高质量压印  能够将小于40nm的结构复制到大于100μm的结构；

多功能      可使用任何尺寸的印章和模板，直径最大210mm(8英寸)圆形的模板；

技术支持    提供个性化支持，专注于您的加工需求；

特征：桌面大小的纳米压印工具

    热压印温度高达250℃

  紫外纳米压印，365nm曝光(or 405nm–自定义选项)

压印压力从0.3到11bar

      在真空压印1mbar

      印章和基材尺寸：直径可达210mm

      印章和基材没有固定的样式

坚固且易于使用

手动装卸印章和模板

自动程控

软件操作界面简单

可记录所有步骤和流程

CNI V3.0支持许多不同的技术：

热纳米压印

UV纳米压印

热压印

微米结构压印

聚合物粘合

举例：

纳米结构压印

微结构压印

硅片上纳米间距的光栅压印

在软性的基材上压印（如III-V材料，InP）

印章生产

高纵横比结构的热压印

聚合物热压印

热聚合物粘合

要求：

现场安装的技术要求

压缩干燥空气或氮气压力6-11bar，外径6mm连接器，流量至少应该1/2标准L/min；

在10mm外径连接器中，真空度优于0.1mbar（如果有真空选项）；

功率：110-240V (50-60HZ， 大于200W)；

环境

应安装在干净、无尘和无颗粒的环境，以达到最佳效果；

工作温度范围10-35℃；

工作湿度范围30-70%；

其他

增压器：如果你的实验室不能提供高于6 bar的压缩空气压力，NILT可以提供一个增压器，可以将3-5 bar加到6-10 bar；

真空泵选项：NILT建议使用Edwards nXDS6i干式涡旋真空泵。任何其他相似或更好规格的泵也可正常工作；

规格：

压力：0.3-11bar

温度：高达200℃，精度+/-1℃，可选高温模块，适用于250℃

紫外线曝光:在120mm腔室中，波长为365mm或405 nm的紫外线LED灯，光功率为12 W，在210 mm腔室中为~100mW/cm2或~165mW/cm2的光功率为57W

真空：可将腔室抽真空至低于1mbar的压力

腔室尺寸：- 直径120毫米，高度20毫米(最大可扩展到45毫米)

          - 直径为210毫米，高度最大为20毫米(无法扩展)

自动复制过程：手动装载印章和基材;通过CNI软件控制，整个复制过程完全自动化软件：全程控制和灵活性  除了装载和卸载之外的所有东西都由软件处理

CNI定制： 可根据您的需求定制

在线视频说明：在线安装视频和操作提示

可选项： 增压器可将实验室压缩空气供应从3-5bar提升至6-10bar，由NLT人员进行培训和/或安装