仪器种类: 无真空快速退火炉
产地类别: 国产
样品尺寸: 20 x 20 x 2,单位mm(最大)
温度范围: RT~1150℃
最高升温速率: 45℃/s (真空),40℃/s (氮气)
降温速率: 200℃/min(1000℃-->400℃)
退火温度准确性: ±0.1℃
退火温度均匀性: ±0.1℃
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红外退火炉产品特点
采用国外知名品牌部件:循环水路设计,带过滤部件,延长清洗炉体水路;红外灯管寿命高达5000小时,峰值波长约为1.25微米,炉体工艺镜面抛光。
高精度控温:模糊逻辑PID控温,控温精度可达±0.1℃。
快速控温:高能流密度红外灯设计,24秒内仪器可快速升温至1150℃;同时,炉体的热容小,配合先进的冷却系统,可实现快速降温。
异常报警保护:超温和流量异常时均会自动切断加热,保护炉膛,达到报警的效果。
洁净控温:非电阻炉加热,无绝热保温材料,更适合在洁净环境中使用。
可扩展性:带观察窗,可配CCD,采集光学信号;预留接口,可加载电学测量模块等。
红外退火炉应用功能
● 强诱导体薄膜的结晶化退火
● 注入离子后的扩散退火
● 半导体材料的烧成与退火条件研究
● 快速热退火、热氧化和热氮化
● 电极合金化
● 晶向化和坚化
● 石墨烯等气相沉积
● 碳纳米管等外延生长
● 单晶基板热处理
温升曲线图(1150℃)
红外退火炉技术参数
型号 | IRLA-1200 |
温度范围 | RT~1150℃ |
温控精度 | ±0.1℃ |
最大升温速率 | 45℃/s (真空),40℃/s (氮气) |
测试气氛 | 真空, N2 ,惰性气体 |
最大样品尺寸 | 20 x 20 x 2,单位mm(最大) |
处理材料类型 | 薄膜、粉体、块体、液体 |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
额定功率 | 4x(1KW-110V/根) |
温度程序模式 | 温度-时间设置,最高256步,32个程序,循环、保温等功能模糊PID逻辑控温,手动/自动开始,USB485连接 |
外观尺寸 | 420X320X220,单位mm |
重量 | 20.5kg
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最多添加5台