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技术参数： | 晶向：<0001>±1° 尺寸：9.9x9.9x0.5±0.05mm 吸收系数：Absorption coefficient< 80 cm-1Etch pit density (EPD)：< 1E5 cm-2 可用面积Usable area：> 80 % 边缘排除edge exclusion：1.0 mm 表面粗糙度：Al 面: CMP polish (RMS < 0.8 nm), N 面: optical polish (RMS < 3 nm) 位错密度dislocation density：< 1E5 cm-2XRD 摇摆曲线图(spot size 10 x 1 mm2)：FWHM (002): < 0.3°，FWHM (102)< 0.5° |
产品规格： | 9.9x9.9x0.5±0.05mm
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标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装盒 |
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