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产品名称: | |
薄膜参数: | Si参数:P型,R;5-10ohm.cm SiO2参数:300nm Ti参数:10nm Pt <111>参数:150nm Pt薄膜最大热预算:< 700~750 degree C / 1 hr (Maximum Thermal Budget of Pt film)
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常规尺寸: | dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、单抛; |
数据图: | ![]() |
标准包装: | 1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装 |
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